лист3 (1058537)
Текст из файла
Технологический маршрут изготовления ГИС СВЧ1 Этап:создание реперных знаков1.Формирование реперных знаковSU-84 этап: формирование выводов1.Нанесение фотополимера SU-86. Планаризацияh2Оборудование:лазерная установкаТехнические параметры: глубинапрожига-0,2 ммd=2 ммAlN5. МетализацияОборудование: установка ультразвукового нанесенияполимера, установка лазерного экспонирования,установка напыления медиСушка: вакуумная печьТехнические характеристики: h2=25 мкмd2.Сушка3. Экспонирование4.Задубливание2.Повышение контрастности реперных знаковМатериал: черная паяльная маска7 Этап: формирование контактных площадок для поверхностномонтируемых компонентовCu5.Нанесение меди6.Планаризация1.Нанесение фотополимера SU-8 2.Сушка3.
Экспонирование4.Задубливание3.Нанесение защитных стикеровМатериал: стикер технологический5 этап. Формирование разводки1.Нанесение фотополимера SU-8h32 этап: формирование окон для монтажа кристаллов5. Метализация6. ПланаризацияSU-81.Нанесение фотополимера SU-8Оборудование: установка лазерногоэкспонирования, установка ультразвуковогонанесения полимера,вакуумная печьТехнические характеристики: h3=10 мкмh12.СушкаAlN2.Сушка3. Экспонирование4.Задубливание3. Экспонирование4.Задубливание6.Планаризация8 этап: нанесение защитного слоя5.Нанесение меди1.
Покрытие платы паяльноймаскойОборудование: установка лазерного экспонированияустановка ультразвукового нанесения полимераСушка: вакуумная печьТехнические характеристики: h1=hад+hкр+5мкмhад=5 мкмhкр=25 мкм2.Вскрытие окон в местах SMTкомпонентов6 Этап: формирование верхних слоев метализации3 этап: монтаж кристаллов1.Дозирование адгезиваSU-81.
Нанесение SU-82. Сушка полимера3. Экспонирование оконмежуровневых соединений4. Задубливание3. Нанесение финишного покрытия Au,SnhадAlN2.Монтаж кристаллов3.Сушка адгезиваОборудование: установка лазерногоэкспонирования установка ультразвуковогонанесения полимера,вакуумная печьhкрПаяльная маска: пленочная, толщина 25-75 мкм.
Характеристики
Тип файла PDF
PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.
Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.