Майсел Л. - Справочник - Технология тонких плёнок (1051257), страница 150
Текст из файла (страница 150)
о, Подложка длк тонких планок о о .о 4' н;,О >о 7. Стонность н прнгодноеть подложек 18' оΠΠ—.8 ~д; с жс о.с б;, ЬДО ос рд ~с й о с ос с с.с сэс с 'с ел Д -ч М тес со ЙЗ -э 'М ~щ ос .~да И с с щ 9 с ;У) М ору с. З О о р со 4'а с-с в3у с. с. ю. \~ 4 . сс о ее с м с ь с с~ й 7, Стоимость и пригодность подлоистл а а и.' и ..ир $ и„., ма$и 4 и.л-" от Д гй -" Е и ° -М Е- о ю ~ пт о о ,О,О оп ХХ М и т й и"пт и и О.
.М 'и и Ю» ь йВ $ о,в 'О З-и Е и З~р ьт с1 о. и3 и и и и ь ьт "' и ° Ль'- 3 63 М и и и В и3 Лй= ,„Е О $ Е О. ЬО эд] Ев ВЕЯЕ М 'Список лнтературы матервала с хорошей адгеэней, который придает ей желаемые свойства без потери требуемых свойств исходной подложки. Хорошо известным примером (оя рассмотрен ранее) является глазурованне керамики. Другнв типы улучшаюшнх процессоа наряду с нежелательнымн признаками поверхности, которые необходимо маскировать, перечислены в табл. 11.
Нет необходимости упомивзть, что все зти методы должны быть использованы применительно к каждому случаю. Пленки моиоокнов кремния, например, сильно напряжены и имеют тенденцию отслаиваться. Эта опасность увелнчиваетсв с увеличением толшины пленки и становится особенно острой применительно к металлическим подложкам. Прн реотаксиальном осаждении кремния дла активных компонентов необходимо предупреждать попадание в амаль злементов, которые могут быть электраяно активными в полупроводнике. В таблице !2 приведены изготовители подложек, а так же назввны компании, которые доводят эти подложки до требований потребителей, Список компаний приводится с целью информации, однако ои не является исчерпываюшнм, СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ 1. $Ьапд, Е.
В„"О!азз Епййпеег!пй НапдЬоой", 26., Мсбгам.НИ1 Воо!г Сошрапу, Хетт Уогй, !958 2. К(пйегу, %. О., "1п1годпсИоп (о Сегаш!сз", доЬп %6еу А $опз, )пс„Хегт УогМ, 1960, 3. Ноте, Л Е. апд %. С, И!1е у (едв.), "Сегаппсз 1ог Абтапсеб ТесЬ- по!ой!ез", ЗоЬп %Иеу й $опз, 1пс., Хем Уог(с 1965. 4. О!взз )пб., 48, 309 ()ппе, !967). 5 Ра гК й Ь., уг., азз!рюг 1о Ашепсап Еатв Согрога(юп. ().$. Ра(еп( 2, 966, 7!9, Зап. 3, 1961.
6. 31 е 1 з о п, Н. апд В. $ с Ь гт а г 1 х, ргезеп1еб а1 Е1ес(гоп!сз ПХмюп МееИпй, Ашег!сап Сегаппс $ос!е!у, $ап Ргапс!зсо, Ос!оЬег, 1961. АЬз(г. Апг. Сегал. $ос„ВцИ„40, 584 (!961), 7, Е 11 г е, К„Н. (). () о о ! 111 ! ц Р. Р. У а г а д 1 апб И, Р, $ р и г г, Ргос.
Е!ес(гоп. Сошпопеп(з Соп1., %азЫпй(оп, )7. С., Мау 7 — 9, 1963. 8. Втаб!еу, Р. М., 3. ВгИ.!пей Е!ес, Епйгз, 20, 765 (!960). 9. РгоеЬз(ег, %., Ргос. 1п!егп. $о110 С1гспИз Соп(., р, 28, А!ЕЕ, 1962. 1О. Ра1е1, 7. И., И. $. %вйпег апб $. Мозз, Ас!а Ме1., 10, 759 (1962). 11, $(е(воп, А. %. апб %. Л. Оупгй, ргезеп(ед а( (Ье 69(Ь Апина) Меейпй АшеИсап Сегага!с $ос(е!у, Арг. 29, !967, Хетт УогК, АЬз(г, 2э9-Е-67, Апь Сегаш. $ос.
Впй„46, 387 (1967). 12 $сймаг(х, Х. апб И. Вготгп, Тгапз. 8!Ь АУ$ $ушр., !961, р, 836, Регйашоп Ргезз, 1,опбоп, 1962. 13. М а п а з е э!1, Н., А. М 1 ! !с г Р. 1.. М о г г ! 1 з апд И. Х о ! 0 е г, ТгапзрМе(. $ос. А1МЕ, р. 233, !965. !4. Ва(К Р С. Р. А1!о1(а впб 1 У. Сгейог, Тгапз. Ме!. $оц А1МЕ, р. 563, !965. 15. Мепде!зоп, $., !п М. Н. РгапзошЬе апй Н. 3а1о (едз), "$)па1е Сгтз!а! РИшз", ТЬе Масш(Иап Сотрапу Хегт уогК 1964. 16 Ьаз)го, %, И., апд Н.
А. Ио!Ь, 1ИЕ Тгапз. Сошропеп! Р(з., Ср-й, 160 (()есешЬег, !961). 17. () ей е п Ь а г Ц Н. з. апб 1. Н. Р г в 1 1, Ргос. 1ЕЕЕ 1п1егп. Сопч „р1. 6, р. 59, 1963, 663 Гл. б. Подлохгкгг длк чокккх пленок 18. 5 ! 6 д а ! 1, Сг. апб В. А. Р г о Ь у п, Вгй, Л. Арр!. Рйуз., $2, 668 (1961). 19. Со(1!пе, Р. М., А5Т!А 239282, 1960. 20.
В г о а п, К., Агп. Сегат. 5ос. ВиП., 45, 720 (1966). 2!. С о1(т а и, В. спд Н, Т и г п а и е г, Тгапв. 91Ь АУ5 5угпр., 1969, о. 89, ТЬе Мает!!!ап Сотрапу, Ь)ек Уогй, !963. 22. О е 8 е п й а г 1, Н. Л. апг) !. Н. Р г а 1$, Тгапв. 10$Ь АЧ5 Зутр., !963, р. 480, Тйе МаспиИап Сотрапу, Ь(ею Уогй, !964. 23. С! агЫ, К.
5., Тгапв. Ме1. 5ос. А)МЕ, 233(3), 592 (1965). 24. СЬа!)г(п, 5, ЪЧ. апг) Сг. А. 55 Лойп, Е!ес1госйет Тесйпо1., 1, 291 !9 †! (1963). 25. О е и е п Ь а г $. Н. Л. апг(1. Н. Р г а 1 $, Тгаив. 8! Ь АЧ5 5 утр., ! 96 1, р. 859, Регбагпоп Ргевв, Ь)ек Уогй, !962. 26. Ма г11п, Л. Н., 1ЕЕЕ Тгапв Рагйй Ма1ег. Расйаб., РМР-1, 267 (!965). 27. Мс1.сап, О. А, апд Р.
Е. Коза!оса у. Е$ес$госЬет. ТесЬпо1., 4, 523 (1966). 28. Мооге, А. С. апд А, 5. Уонип, Л Арр! Рйув., 31, вирр! 287 — 85 (!960). 29. 5111!к е11, О К. апб О. В Ооче, Л. Арр1, РЬуз., 34, 1941 (19631. 30. Айп, К. У. апд Л. Ргее6 гпа п, 1ЕЕЕ Тгапв. Маб., МАО-З, !67 (1967). 31.
1.)о у д, Л. С. аид К. 5, 5 т 1 1Ь, Л. Арр!. Рйув., 30, вирр!. 274 †(!959). 32. (.етЫе, Л. 5., !ЕЕЕ 1п1егпайопа! Соп1егеисе, Ь)оп-Ипеаг Мабпе(!св, $(газй!па1оп, О. С., Арг. !7, !963. ЗЗ. Ме1ЬГевве1, 5„5 М16 бе!йоеЫ апг) Н. ТЬотав, Л. Арр!. Рйуз,, 31, вирр!, 302-45 (!960). 34. Рговеп, К.
Л., В, Е, Сггап, Л. К)че!, С. $(Г. 5еаг)е ап.! А. Н. М о г г(з й, Л Арр!. Рйуз., 34 (2), 1147 (1963). 35. К1че1, Л., Р. С. А1Ьегз, О, А. 01веп апд К. Е, ЛоЬпвоп, Л. Рйув. Сйегп., 67, 1235 (1963). 36. КоЬа!е, М. аиг) \Ч, Кипу, 2. Аидегч, РЬуз., 16, 39 (1963). 37. $Ч! е Ь 1, Н. Е., 2. Аибекг. РЬув., 18, 541, 5/6 (1965). 38. 5т!1Ь, О. О., Л.
Арр!. РЬув., 30, вирр!. 264 — 55 (1959). 39. С 1 г а г г$, К., Л. Арр1. Рйув., 38, 1423 (1967). 40. О и 4 г1 з, М,, 1и К, Ь)! е 4 е г т а у е г апг( Н. М а у е г (ег(в,), "Рго" сее61идз о1 1йе !п1егпаИопа! 5утроз(ит оп Ваз!с РгоЫетз !п ТМи Р11т РЬувгсз", Чанг(епйоесй апб КиргесЫ, Осе)1(пбеп, 1966. 4!. О а г1е, 5. М., Р1а1!пб, 63, 1335 (1966). 42. К ! Ь е и, А. К., 5. $.. 5 Ь е г т а п, $0. Ч, Е а и 6 а об К.
О е !в !с г, 1и Т. 5. 5 сЬ11!1г) а у апд Л, Ча ссаго (едз.), "Рйув(св о1 РаИпге 1п Е1ес1гоп!св", чо1. 5, р. 534, 1967. 43. %!!11атв, Л. О, апд $,. Е. Теггу, Л, Е1ес(госйет, 5ос., 114, 168 (1967). 44. Н а п в о п, М, М,, Р. Е, О Ь е г 8 ав1 С. Н. Т о! т а п, Л, Часиит 5с(. Тесйпо!., 3, 277 (1966). 45.
КоЬЬ|е, С. Л. апг) С, Т. 51оббаг$, Л. 5с!. !пз1., 1, вег, 2, 56 (1968). 46. бе!1сй1Ы, Л. А, апд В. Р. 51е(и, Кеч. 5с1, 1пз1г., 39, !062 (1968). 47. Си!чег, Н Е. апг) У$г. Т. Ьау1оп, ргезеп1ед а1 (йе 69(Ь Апина! Мее(!пб, Атег!сап Сегат1с 5ос)е(у, Арг. 29, !967, Ь)ечг Уогй, АЬз$г.
ЗЗ-Е-67, Ат. Сегаиз. 5ос ВиИ., 46, 387 (!967). 48. О!апК, К., апб Р. М. 5 ей а(Ь!е, Тй!п 5о!Ы РИтз, 1, 309 (1967/1968). Список литературм 49. 50 б! 52 53 54 55 56 57 58 59 60. 61 62. 63. 64 65. 66. 67. 66. 69. 70 71 72 73 74 75 76. 77. 78 79 80. О иге п, А. Е. ъпд П. %. О оп 6!аз, Л. Зос. О)взз ТесЬпо1., 43, 159Т (1959). Кгв из, Н.
апд В. !) а гЬу, "ТЬе Ргорегбез о! Е1ес!НсаПу Сопдис. Ппб Яуз(евз", Апгег!сап СЬепйсв) Зос(е1у МопобгарЬ Бепез, !922, О г г, %. Н., в пд А, Л. М в з е з з а, ргезеп1ед в1 !Ье ВиИа!о Мее!!пав о1 П~е Е)ес1госЬеиисв) Зос)е!у, Ос1, 13, 1965, АЬз(г. 95, Л. Е!ес1госпегп. Бос., 112 (8), 183С (1965). Сох, 3. М., РЬуз. СЬет. О)аззез, 5 (6),!61 (1964). Зпочг, Е Н,, А. Я. Огоче, В, Е. ))еа1 апд С.
Т, ЗвЬ, Л, Арр!. РЬуз., 36, !664 (1965). Ри!!ег, %. О., НЕС Ргос., 17, 32 (1961). Ка(зег, Н П., впд Р. 3. Саз1го, Ргос. 1ИЕ, 50, 2142 (!962). Н а р р, %. %., Е!ес!гоп 1пд., чо!. Е4 — 7, Липе, 1962. О и у е г, Е. М., Ргос. ! ПЕ, 32, 743 (1944). НоП а п д, 1., "ТЬе Ргорегбез о( О1азз Зиг1асев", СЬаргпап 3 НаП, Ь!й., 1.опдоп, 1964. В егг у, П, %, апд О, Л, 51ов и. Ргос. 1ПЕ, 47, 1070 (1959). Ье! ее г, С. Р„О!азз 1пд., 44, 509 (1963). О) М а г с е ! !о, Р. Ч., А.
%, Т г е р !о и апй 1.. А. В а Ь е г. Агп. Се- гвпз. Зос. ВиП., 47, 5!1 (1968). А!йегзоп, ((. Н. впд Р, АзЬиог!Ь, ВгИ. Л. Арр!. РЬуз., 6, 205 (1957). 5е((то, П. Л., Е)ес(гоп. ЙеПаЫП!у М)сгогп)п)а!иг(вабоп, 1, 347 962), Регбагпоп Ргезз, Хе(ч УогЬ. геепо и 6 Ь, К. Р., (п М. Г. О о! й Ьег6 апй Л. Ч а с с а го (ейз ), "РЬуясз о1 РеПиге (й Е!ес(гоп!сз", чо!. 3, р. 20, Браг(ап ВооЬз ВаП1- пюге, !963, Ве! зег, П. В, впд %. Н. Н1сЬ1! п, Л.
Арр. РЬув., 30, 313 (!959) Н а! 1, Р. М„Арр1. РЬуз. 1.е!!егз", 12(б), 212 (1968). ТвЬаЬазЬЬ М., Л. Арр!. РЬуз., 30, зирр1, !101 (!962). П(61ег)пК М. О, апд Л. С. %!11гв гав, Агп Сегаиг, Зос. ВиП., 43, 894 (1964). Мс (.ев и, О. А., И. ЗсЬюаг(з впй Е, Р, Т(дд, Ргос, 1ЕЕЕ, 52, !450 (1964). МсЬеап, %.
Е., Л. А. ТЬогп!оп апд Н. П. Азсбап, Ргос. !963 Е!ес!гоп. Согпропеп(з Соп!., %ввЫпб(оп, О. С., 1963. % в)Пег, М, Л. По в сЬеп апд Е. 3 с Ь)е бе 1, 1ЕЕЕ Тгапз. Е!ес!гоп Оеч1сез, ЕВ-10(4), 263 (!963). %1п!г!его а пи, А. апд О. ЗсЬо11, Апп, РЬузВе СЬегп., 61, 730 (!894). К!п бегу, %. О., А. Апс Сегзп!. Зос., Э8, 3 (1955), Ное па, М. Р. А. впд Л. С. К ге и1ег, 1п О. Н. 51ечг в г( (ей.), "Яс(епсе о1 Сегапйсз", чо). 2, р. 383.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
