Майсел Л. - Справочник - Технология тонких плёнок (1051257), страница 128
Текст из файла (страница 128)
Т., Ло з Ь|, Б. Л., РЬуя|са, 30, 1746 (1964). 42. А11т а п, С., Тгапв, 9 |Ь Ма1!. Часииш Бушр., 1962, р, 174. 43 йод! 1, й. й., О ге! |гоги, й, Е., Ргос. 28 Апп Бри((ег(пд Бупгр„ йосЬейег, ЬЬ У.. р. 8!. 44. Н и гп р Ь г ! е в, й. Б., йеч. Бс|. |пв1г., 37, 1734 (|966). 45 М а |ь в е |, !.. 1., (Л.Б. Ра1еп1 3.294.661. ОесегпЬег, 1966. 46 Магяве|, !., 1,, ЧаидЬп, Л, Н., Часшпп, 13, 421 (1963), 47 5 с Ь гч а г1а, Е., Вгй|в|г Ра1еп1 685.288, !952. 48 51 е г п, Е., в печати. 49 6)а лб, й., Но|тгчоои, й.
А., Риго|ь, Р. С., Тгапв, Зг) !п1егп Часоиш Сопбг., Б1пйбаг| 1965, Регбашоп Ргеьв, чо|. 2, р. 643, Негч УОГЫ967. 50 Ь а е д г ! е д, ~Ч., )Ч е Ь п е г, Сг. К., Л. Арр!. РЬув., 32, 365 (!961), 5!. 8|ос Ьег, В. Л., Л. Арр|. РЬув., 32, 465 (196Ц. 52. Б1егп, Е., Савьче11, Н. 1, Л. Часппгп Бс|. ТесЬпо|., 4, |28 (!967). 53. Лоиев, К. Е., 1Ч!п1егз, Н, Р., Нагззе|, 1.. !., Л. Часишп Зс|.
ТесЬпо1., 5, 84 (1968). 54. О а ч 1 6 в е, Р. О., М г |в в е 1, !.. 1., Л. Арр|. РЬув., 37, 574 (! 966). 55 М(сЬегьоп, Л., БСР Бойб Б(а(е ТесЬпо|., 8, 30 (1965), 56 ТоошЬв, Р. А., Ех1епдед АЬь1гас|., 14 1Ь Ха|К Часииш Бушр., !967, р. !3'7. 57. 6|и с ! а! г, %. К.„Ре1е ге, Р. Сг., Л. Часишп Бс!. Тес1гпо|., 2, 1 (1965), 58.
Сг а у г( о и, Р., ЧМе, 126, 454 (! 966). 59. О и 8 д а ! е, й. А., Ро г г(, Б. О., Вгй. Сегаш. Бос. Тгапь., 65, 165 (1966). 60. С Ь о р г а, К. Ь., й а п д 1 е 1 1, М. К., Кеч. Бс|. (пв(г., 38, 1 147 ( 1967). 61. О а у г) о и, Р., ЧаЬппп-ТесЬ., 15, 161 (|966). 62. Х ее г) и а ш, Л О., Тгапв. 10 !Ь Ха!1. Часишп Бугпр., 1963, р. 402. 63 БЬос)г|еу, !Ч. 1, Сге|ьв|пдег, Е.
1, |КЕ Тгапв. Согпропеи1 Р|в. !1, 34 (1964). 64. СЬ а гв а п, Б. Б., % с ь|8 а а г г(, Н., О,Б. Ра1еп| 3.294.670, ОесешЬег, 1966. 65 Н ап|гпа ил, А, М., Е!ес1гоп Рас1сад Ргог|., 7, Брес!а! ТМп Р!!ш Бпрр|ешеп1, р. ТГ 3, !967, бб. Б о з п г а |г, Л., Л. Часишп Бс|, ТесЬло|., 4, 87 (1967). 67 Сои Ь е, Н.
С., С о ч! и 8!о и, С !Ч., Е! Ь в с Ь, Л, Р., Тгапв. Ме| Б, А!МЕ, 236, 314 (!966). 68 ВегбЬаив, В., В огЬЬагд(, )Ч., 13.3. Ра1еп1, А|!еп Ргорег1у Спв!об!ап 283.312, МагсЬ, 1943. 69 Т Ь е и е г е г, Н. С., Н а и я е г, Л. Л., Л. Арр1, РЬув., 35, 554 (! 964) 70 ТЬе пег сг, Н. С., Н з иве г, Л. Л., Тгапв. Ме|. Бос. А!МЕ, 233, 588 (!965). 71. Магвве|.
1.. !., БсЬа|Ые, Р. М., Л. Арр!. РЬув., Зб, 237 (1964). 72. Чга|пу. Р., Бспчгаг1г, Н., Л. Часиит Бс!. ТесЬпо1., 1, 79 (!964). 73, ВегбЬа ив, В., ВпгЬЬагг)1, %., О.Б. Ра1еп1 2.305.758, Оесеш. Ьег, 1942. 74. М агаве|, Ы.., 5сЬа|Ыс, Р. М, Л. Арр!. РЬув., 35, 237 (1965). 75 Чга1пу, Г., Чгоигеп, В Н., НагеидааНзг1пхша, А Л., Е1ес1госЬепг, ТесЬио!., 5, 283 (1967). 457 Гл. 4.
Получение пленок методом намного распмленнн 76, тГНеиг(е, Г, М., Тгапв. Ме1, Зос. А!МЕ, 236, 312 (1966). 77. Кедие ад, Р. А., Сап. Л. РЬув., 42, 886 (1964). 78, Г)и г, В. 1., Ргос. !п1егп. Маб. Соп!., 24-1 %азМин(оп, В. С., 1965. 79. Ст г т е в 1, А. Л., Г1о г, В. 1., Л. Арр1. РЬуз., 38, !431 (1967). 80.
Г г е г ! с Ь в, й., Л, Арр!. РЬув., 33, 1898 (1962). 81. %тп1егв, Н. Г., Ног пе, Е. Е., Поп а1д зон, Е. Е., д СЬеш. РЬуь., 41, 2766 (1964). 82. %1п1егв, Н. Г., К ау, Е., Л. Арр). РЬув., 38, 3928 (1967) 83. 3 о п е в, К. Е., 3 с Ь тч а г 1 в, Ст. С., Х о е бе 1, М., Тгапв. 4 тб 1п!егп. Часциит Сопбг., МапсЬешег, 1968.
84. 3 с Ь чч а г1 в, Ьт., Тгаив. 10 1Ь Ма!!. Часишп. Зутпр„1963, р, 235, 85. Н о !1 а п д, 1, Б ! д д а 11, С., Часшпп, 3, 245 (1953). 86. М с Н и 8 Ь, Л. А., 3 Ь е ! 1(е1 д, Л. С., ). Арр!. РЬув., 35, 512 (1964). 87. Реги у, Ст., (.ач! !1е, В,, Затп1 Маг1!и, Ргос. 1п1егп Бушр., С(аив. Ита1, 1965, ЧапдепЬоес1т апд КиргесМ, Стое!1)п8еп, 1966, 88.
Реги у, 6., ).ач(1)е, В., За!п! Мзгбп, Бати!гап1 М., Совр!. Кепд., 263, 265 (1966). 89. Реги у, Ст., Чгде, Ос(оЬег, 1966, р. 106. 90. К гт )то г! а и, Е., Б нее д, К. Л., Тесбп. Кер1., АГА1.-ТК 67-139, Аибият, !067, Атг Гогсе Ачтоитсь Ьаб., %г18М Рамегзои Вазе, Обдо. 91 'Ре1егв, Г. Ст., Мап!е!1, С.
Ь., Тгапв. 9 !Ь ХаИ, Часииа. Зубр., !962, р. 184. 92. Рот ре), Я., Ргос. 2д Апп. Зрп1!ег(п2 Бутпр,, 1967, р 127, йосбез1ег, Х. У. 93. Ч а 11е11 а, й. !ч!., Р е г г т', Л. А., й ! в е ш а и, д., Е1ес1госиепт. Тесн по!., 4, 402 (1966). 94. Чга1пу, Г., 3. Е1ес(гигиен. Зос., 114, 505 (1967) 95. Л а с Ь ь о и, Ьт. Г., Н о 1 ! а и д в, Е. Л., С а ги р Ь е 1 1, В З., Ргос до(п1 1ЕКЕ(1ЕЕ Сои!.
АррИса1гопв о! ТМи Гйтпв ти Е!ес!гои!с Еп81пееПпб, 1треНа! Сойе8е, ди)у, 1966, р. 13 — !. 96 Ча11е11а, й. М., Р1!ьЬ! и, % А., 3. Е!ес(госЬетп, Зос., !14, 944 (1967) . 97. Н(аз!и бег, 1, Коепт9, Н., Гев1всЬгтй 100 ЛаЬге Негаепв Р!о. ИпвсЬпте!ьс, р. 376, Напаи, 1951. 98. З! п с!а1г, %. К., Р е1е гв, Г. Ст., 5111! ! п бег, (У. %ч К о оп. с е, 3. Е., 3, Е!ес1госЬет. Зос., 112, 1 (!965).
99. Ре1егв, Г. 6, Ат. Сегвт. Зос. ВиИ., 43,!017 (1966). 100. Ги(в, Е. М., Неив)ег, Е. Н., Ковв, А. й., Арр1. РЬув. (.еНегв, 10, !99 (!967). 101. 3 ! п с ! а 1 г, %. й., Р е 1 е г в, Г. Ст., Л, Атп. Сегапт. Зос., 46, 1 (!963). 102. %т)!1а пт в, Л. С., Б)пс! а(г, %. К., Соапв, Л. Апт Сегати, Бос., 46, !61 (1963). 103. Н о!! а и т), 1., 614 д а !1, Ст., Часишп, 3, 375 (1953), 104. Зги!1Ь, Е. Е, Кеппеду, (). К., Ргос.
!пв1. Е!ес. Епбгв, Ьопдоп. 109, 504 (1962). 106. б о1д в1 е ! и, й, М,, Ь ео иЬ а гд, Г. %., Ргос. Е!ес1гоп. Сотпропеп!з Сои!., !967, р. 312, 106. Се гв1епЬег8, )У., Са!ЫсЬ, С. Л., Л. Аор). РЬчв., 35, 402 (1964). (07. Кг)1тог! ап, Е., 3 пеед, й, Л., Л, АррЬ РЬув., 37, 3674 (!966). 108. С)егв1епЬегд, ()., Апп. РЬув!Ь, !1, 354 (1963). 109. да поз, А. К., ЗЬ! гп, Ст, 3., Л.
Часишп Зс!. Тесбпо1., 4, 57 (1967), 110. Ни, Б. М., Стгебог, 1,. Ч., Л. Е!ес!госЬетп. Зос., 114, 826 (1967). 11!.. 3 Ь а Ь то, М. М., Л. СЬетп, РЬув., 43, 1798 (1965). 112. Согдев, 1 Г., Арр!, РЬув. ).еПегв,!1,383 (1967). 463 Спасен,ангературм 113. В н г ЬЬ а г 6 1, Р. 3., Сг г е 8 о г, (.. Ч., Ех(епдед АЬз1|ас1, 14 ГЬ На!1., Часцшп $у|ир., 1967, р, 3! Н4. Нн, $. М., Сгге8ог, 1.. У Ма|вве1, 1.. 1., 1ВМ ТесЬп. ОВс).
Вой„ 10, 100 (1967). 115. Ьа)гвЬ|иапи, Т, К,, М!(сЬе! 1, А М., Тгапз, 10 ГЬ Хай. Часцнш $угпр., 1963, р. ЗЗо. 116. 51 а г Ь, 3., гчЧ е п 61, Сг.. Апп. РЬуз)Ь, 3, 921 (1912). 117. Н(лев, й, 1., УЧа!1ог, й., 3, Арр(. РЬув., 32, 202 (1961). 1! 8. О н д г( а 1 е, й. А., Р о г 6, $. О., Вг! !. Сегаш. $ос. Тгаив., 65, 165 (1966). 119. Спивак Г. В., Крохаца А. Н., Лазарева Л. В., Дока. АН СССР, 104, 579 (1965). 120.
йоЬег1воп, Л К., С! а рр, С УЧ, На!цге, 132, 479 (!933). 121. На у, й. Н., Саи. 3. $ев., А16, 191 (!938). 122. $.ог) Зе, д. !., $1еге аг(, й. Чгг., Сап. ц. йев., А26, 205 (!948), ! 23. Л е в л т с к к й| С. М., ЖТФ, 27, 1001 (1957) . 124. А п и' е г в о л, Сг. $., М а у е г, \Ч. Н„!Ч е Ь и е г, Сг К., ) Арр!, РЬуз„ 33, 2991 (1962). 125 (ЧсЬ пег, Сг.
К., Адчап Е!ес!гоп, Е)ес!гоп РЬув., 7, 239 (1955), 126. О а ч | г) зе, Р. О., Ма ! ь ье!, 1., 1., Тгаиз. 30 1п1егп. Час|югп Сопряг., $!цй8аг|, 1965. 127. Н а в в е 1 1! п е, Е. Н., Н н г 1 Ь ц 1, Р, С., О! в о п, Х. Т., $ и| 11 Ь, Н, Р., ). Арр!. РЬуз., 38, 43! 3 (1967). 128 Т в н 1, й. Т. С., РЬув. йеч., 168, Арп! (1968). 129. Оа ч | 6 ее, Р. О., $СР $о!гг) $!а(е Тесппо1, ОесегпЬег, !966, р. 36. 130 В н!)ег, Н.
$., К! по, Сг, $., Рпуь. Е)ц!г)ь, 6, !346 (!963) 131 "йаб)о Апнпа|ецг Напг)нооЬ", р. 49, Агпейсап йао!о йе!ау 3.евине, 1966. 132. Н о! !в п г) в, Е., С а ш р Ь е) 1, О. $., 3. Ма!ег. $с!, 3, 544 (1968), 133 О а ч(д ь е, Р, О., М а(з в е 1, 1.. 1., 3 Часцши $с|. ТесЬио)., 4, 33 (1967) !34. Рц1 пег, Т., ТЫп $ойг) Г!)юь, 1, 165 (1967). !35 К1оьь, Р., Нсг1е, 1, $СР $о)!6 $!а(е ТесЬио1., Оессп|Ьег, 1967, р. 45. 136. Сг а чае Ь п, Н., Х.
Аи8еч. РЬуь., 14, 458 (1962). 137. Р!!в(г!п, ((г. А., Оач)йье, Р О., (.еЬ~пап, Н $., Ма(за е 1, 1.. 1., 1ВЛ! Х йеь. Оече!ор., !1, 461 (!967). 138. Р!вЬег, Т. Г., ТуеЬег, С. Е., ). Арр!. РЬуь., 23, 18! (1952), 139. Н а п а ц, й., РЬуь. йеч„76, 153 (1949). 140.
С!!!ай, Е., РЬув. СЬепн $о!Ыв, 11, 55 (!959). 14!. '|Ч | и | е г в, Й. Р., й а | ю о и г) |, О. 1, Н о г и е, О. Е., А Арр). РЬуз., 40, 2996, 1969 И2 чЧ о)ь !|у, $. Р.. $ Ь о о1е |, О., 2 г) а п н К Е. 3., Тгапв. 9 ГЬ НаГЬ Часнот $угир, !962, р. !64 143. $(ис! а |г, чЧ. й., Ре1егз, Г. Сг., йеч. $с!, !пв!г., ЗЗ, 744 (1962). !44. В(с 81е у, !У Р., С а яр Ье ! 1, О $., У10е, 99, 214 (!962).
145. (.вериге(г), )4., 'чреЬ'пег, Сг. К., у Арр!. РЬув., 32, 365 (1961) И6. А!|пел, О., В го се, б., Кцс1. !пз(г. Ме(Ьодз, 2, 257 (196!). 147. С в г ! в 1 о и, С. Е., М а 3 п ц ь о и, Сг, О., С о гп е а н х, А . М а Ь а д еч а п Р., РЬуь. йеч., 138, А759 (1965). И8, йо!Никол, М. Т., $ои|Ьегп, А.
1., 3. Арр1. РЬуз., 38, 2969 (1967), 149 йовепЬегд, О., (УеЬ пег, б. К., 3. Арр1. Рпуз., ЗЗ, 1842 (1962). ! 50 $ о н 1 Ь е г л, А. 1, чЧ 11! ! в, 'чЧ. й., й о Ь | п в и п, М, Т., 3, Арр!, РЬув., 34, 153 (1963). Гл. 4. Получение пленок методом ионного расиыленна 151. % е1! в е п 1 е! б, С. Н., Н о о 8 е п б о о г п, А,, К о е д а пз, М., Рйу. ыса, 27, 963 (196!).
!52. У о п1 в, О. С., Н о г га а п д, С, Е., Н а г г1 в о п, О. Е., д. Арр(. РЬув., 31, 447 (!960). !53. Ео), Р. К., Р! и!1, Л, М., Кгв(его а йег, 3,, а кн. "Е)ес(гов1а11с Ргор а!в(оп", 1. а п 8 йг и 1 г, О. В., 5 1 и Ь 11 п 8 е г, Е., 8 е 11 е п, Я. М., ебв., Асадейис Ргевв., Меч Уог1г, !961, р. 203. !54. Р1!(с! п, Е.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
