Майсел Л. - Справочник - Технология тонких плёнок (1051257), страница 111
Текст из файла (страница 111)
Репи(пб, Р. М., Мои Ь1в, А !4. А., Кои~иЫ, Мед. АЬаб. %с!си. зсЬвр. Ргос„43, 41 (1940). РЬ $1в г Ь, 3„2. Е)ейгосЬею., 14, 752 (!908); 15, 509 (1909). 1б. Ре!з, !4. 2. РЬузй, 119, 590 (1942). 15. % е Ь п е г, О. К„А Арр1. РЬув., 25, 270 (1954) . 17.
$ ! а г )г, 3„% а и 6 4, О„Апп. РЬувй, 38, 921 (! 91 2) . !6. % е Ь пег, О. К., 3. Арр!. РЬуэ., 26, !056 (1955). !9. Р! н11, 3. М„Со1!о9. !иимп. Сеп!ге Ха!!. ЙесЬ. Зс!., В«Вечие, 196!. 20. А!шеи, О„В г псе, О„Ннс1. !Из(г. Ме!Ьодз, 11, 279 (1961). 2!. А! юегк О„Вг псе, О„Нис!. 1па1г. Ме!Ьог!з, 11, 257 (1961). 22. Павии. В. В„ЖЭТФ, 42, 313 (1962). 23. Ва(а, З„ЗпосЬ С„РЬуц Йеч., 134, А347 (!964). 4.
Т Ь о пг р з о п, М. %., РЬП. Маб., 4, 139 (!959). $1пЬа, М. К„Мне!! ег, Е. %., «, Арр!. РЬуз., 36, !256 (!964). й Ке у«ге!1, Р„РЬуз. Йеч., 87, !60 (!952). О1Ьзоп, 3. В„Оо1апн, А. И., М !16г в ш, М., Ч(иеуа г 4, О, Н„ РЬуз. Йеч 120, 1229 (1960). 28. Н а гг)вогд !), Е„(.ее у, Н, $., «оЬи э си, А Р., Е(гоп, Н, М„ А Арф РЬув„39, 3742 (1968). 29. ).еЬюап, С., $19шнпд, Р„РЬув, 3!а!. Зо!!62 16, 507 (1966).
30. $1нигии«(, Р„РЬуз. Йеч., 184, 383 (!969). 3!. В'а г г1 и 8!о й А. Е„Н е г з о д, Й. Р. К., Р о з с Ь е и г ! е 4 е г, %, Р., А Часспю. Зск ТесЬпо1.. 3, 239 (1969). 32. %г!КЬ$, Аш.Ю. Зс)., !8, 49 (1877). 33. й о г«( юа п, Л. Е А Арр!. РЬуз., 40, 21!! (!969). 34. 7 о Ь п в о п, А В б г а у Ь е а 1, А. О., Ашег!сап Чзсииш Зос!е!у ЙосЬу Моин(а)п ЗесВоп Зугпрозйнп, Мау, 15, 1969. 35. 1.оеЬ, 1 В., "Вав(с Ргосеззев о! Сзвеоив Е!ес!гои!сз", р.
329, Оп!. еаквйу о! Са)!!оги)а Риив, Ва«Ыеу, !955. (Русский перевод: Л еб Л. «О«ионные процессы злекчрическкх разрвдов в газаке, М.— Л„1950). 36. Ч. АГнеппе, М„."ТаЬе11еи зог зи9егчапг(!еп РЬузй", чо!. 1, р. 316, ЧЕЕ Чег)ан дог %!5эепзсЬа!!еи, Вег!!и, !962. 37. Так), Й. Т. С., Рпув. Йеч., !68, !07 (!968). в ()зч!дзе, Р.
)!., Ма!эве1, 1.. !., А Арр1. РЬув., 37, 574 (!966). Ч о э э е и, А 1., О'М е ! 11, Г. А. ЙСА Йеч. 29, !49 (!968), 40. То ошЬа, Р. А. В., ВН!. 3. Арр!. РЬуэ. ((. РЬув. Р), зег. 2, 1, 662 ( 1968). 41. Но1(апй 1, Ри!пег, Т., «асЬэои, б. Н„А Зс(, )из!г.
(А РЬу4. Й), зег. 2, 1, 32 (1968). 49. Ре(г, 'гг., ОесЬз пег, Н., 2. Ап9етч. РЬуз., 12, 250 (1960). 43. боей!ЬегзсЬи!ге, А., То!!гп!еп, %., Е. РЬувй, 119, 685 (1942). 44. %!и!егз, Н. Р., Кау, Е., А Арр!. РЬуз., 38, 3928 (!967), 45. ч. А г 4 е р ив, М., "ТаЬе!!еи зог аи9еаэпбгеп РЬуз!!г", ЧЕВ Чег!а9 бег %!ээепзсиа!!еп, ВегИп, 1962. 46. ч. Аг4е0 ив, М., 3 сЬ!! )ег 3., Н е)в!2 ()., НасЬг(сйвп!есЬ., 16, 306 (1965). 47. С 5 о р г а, К. 1...
Й а п6!е 1 1, М. Й„Йеч. Зс!. !из!г., 38, 1147 (!967). 48. г(4Ь1оз.Э. Ч„К!иВ %, «., !ЕЕЕ Соп(егеиса Рарег 64, р. 484, 1964.' Список литературы 49. Г1ед 1ег, О., Йе(в ее, О., Бсбоепе1сЬ, В. %е1ззиз а п(е ! С„ Ргьс. 41Ь !п1егп, Часишп Соп3г„!968, р. 569. 50. %еб пег, О. К., Аписа! Йерог1 оп Зри((ег(и9 Э(е!4в, ОНЙ Сои!гас( Моиг 1589 (15), 1959. 51.
О а гч(и, Н. 1., Г(па! Йерог(, НАБА Соп1гас( НАБ 3-6273, !968. 52. ТЬо го р зол, М. %., Хе! вой, й. Б., РЫЬ Ма9., 7, 84, 2015 (1962). 53. В а бег, М., %111еЬогп, Р., Б поп ве Т. %., НАБА йер(. Тй-й-!05. 196!. 54. КепКп!9Ь1, С. В., %еЬ пег, О. К., Л.
Арр(. РЬуз., 35, 322, (1964). 55. Мабаг!ечап, Р., !.ау1оп, Л, 1,, Сотлев их, А, й., Лтеб. ч е д, О. В., Л. Арр!. РЬув., 34, 2810 (1963). 56. Не)воп, й. Б., Веечегв, С. Л., РЫ1, Мз8., 9, 343 (!964), 58. 7. О и е п 1 Ь е г в с Ь и!в е, А., Е. Раув(Ь, 118, 145 (1941). М о р г у л и с, Н. Д., Т и иг е и к о, В. Д., Изз. АН СССР. сер, 0аз„ 20, 1190 (1956). 59.
Б!и аг1, Й. Ч.. %еЬиег, О. К., 7. Арр!. РЬув„33, 2345 (1962). 60. Логкепзоп, О. Ч., %еЬ пег, О. К., А Арр1. РЬув.. 36, 3572 (1965) . 6!. Б! 2 иг и п 4, Р., Сяпаб, Л. РЬув., 46, 731 (1968). 62. %еЬ пег, О. К., КепКп(9Ь1, С„й от ел Ьег8, В. 1., Р1апе(. Брасе Бс!., 11, 885 (1963). 63.
%сии ег, О. К., Аз1гопаи(. Ас(а, 14, 65 (!968). 64. %еЬиег, О, К., Л, Арр!. РЬуз., 31, 1392 (!960). 65. В е п и! и 2 Ь о ч с п, А., Апп Рабус(Ь, 15, !!3 (1965). 66. ТЬо гор воп, М. %., Рагаегу, В, %., Ыегчвои, Р. А., РЫ. Ма8., 18. 361 (1968). 67. ТЬоп!рвоп, М.%., РЫ1. Май., 18,377 (1968). 68. Рагпгегу, В.%., ТЬогпрвоп, М. %., РЫ!.
Мв8., 18, 377 (1968). 69. Вес всЬег, Н., Кор!1з)с(, К., Е. РЬув(К 184, 382 (1965); 70. Мауег, Н., РЫ!. Ма2., 16, 594 (!933~. 71. Бр ого, Н., Е. РЬуз(К 1!2, 278 '(1939). 72. %еЬ пег, О. К., РЬув. Йеч., 114, 1270 (1959). 73. Кор((к1с1, К., 811ег, Н.
В., Е, Ха(иг(огвсЬ., 17а, 346 (1962). 74, %е!1веп 1е!д, С. Н., РЬуз. (е((егз, 2, 295 (1962). 76. ОесЙв пег, Н., Йе(сЬег(, 1, РЬув, Ьейегв, 23, 90 (1966! 76. 5 1 и а г 1, й. Ч., % е Ь и е г, О. К., Э. Арр!. РЬув„36, 18!9 (3964). 77. Б(и а г(, й. Ч., %еЬ пег, О. К., А'обе)кои, О. 3, Л. Арф РЬув., 40, 803 (!969). 78. Векслер, В. И., ЖЭГФ,38 324 (1960). 79. Вен ья маковке М, В., Векслер В. И., Изв. АН УЗССР, серка фнз.-мат. наук, 3, 29 П963). 60 Ро1г11ек, Х„йо(, Р. К„1.ов, Э., 1ке! аат, Р. О., йеч, ЗсЬ 1пв1г., 39, !!47 (1968).
1. Бее1(пег, Й., Богитпеггпеуег, К., Е. РЬуз!Ь, 93, 602 (1936). 2. %си пег, О. К., йовепЬег8, О., Э, Арр!. РЬув., 31, 177 (1960). 83. К ос 6 аиг, М., Са(поде Бри11ег(пй Ьу йаге Оав (ойв о( (лгч( Еиаг3у ВоигЬагбгиеп( о1 Ро!усгузга!1!пе впб МопосгуИай)пе Ма(ег(а), ТЬе. вгв, Б(з1е ()п!четв(1у о( 0(гесЫ, МагсЬ, 1961. 84. Йо1, Р, К., Р!и11, Э. М., К!в1егпаЬег, 3., РЬуайэ, 26, !000 (1960]. 85. Огоп!ииб, Р., Мооге, %. Э.. А СЬеит. РЬув„33, 1840 (1960), 36. С о Ь(с, В., Р е г о ч(с, В., Ргос. 4 ТЬ 1п(егп.
Буигд !оп)ае(!оп РЬепоигепа (и Оавев, 1960, чо1. 1, р, 260, ХогЬЬ Но))апб РиЫ!зЫпк Сопгра. пу, Азиз(егбаиг. Гл. 3. Физический механизм ионного распыления Соорег, С. В, Сот аь, 3., А Арр!. РЬув., 36, 2891 (1965). Апдегвоп, С. 8., !ЧеЬ пег, С К., 3, Арр) РЬуь., 31, 2305 (!960). 89. А и д е г ь о п, С. 8., 3. Лрр!.
РЬуь., 33, 2017 (1962). с0. Коедаш, М., Ноойепдоогп, Л., РЛуь!са, 26, 351 (1960). 91. Юрасова В. Е., Плешивнев Н. В., Орфанов И. В.,ЗКЭТФ, 37, 966 (1959). 92. Хе1зоп, К. 8., ТЬотрвоп, М. г)г., Ргос. Коу. Зос. (.опдоп, А259, 458 (1961). 93 А п д е г в о п, С. 8.. 3. Лрр!. РЬуь., 34, 659 (1963). 94. Хе1воп, й. 8., РМ!. Мак., 8, 693 (!9Я). 95. Ашмриский Р. Л., Беньямннович М. Б., Векслер В.
И., ФТТ, 7, !623 (1966Е Зб. Й а ь)й »1 ! Ь Р. Р., П а п а д а, й., У а т а а в с Ь ! 8., 3. РЬуь. 8ос. Зарап, Гд (ьпрр!. 1П), 164 (1963). 97. !Ч е Ь п е г, С. К., А п д е г в о п, С. 8., К е п К п ! 3 и 1, С. Е., Зиг1асе Воп»Ьйгдшеп( 8!ид!ев, Апина! Керог1 2483, Сепега) М(Пв Е)сс!гоп(св Р(ч(З!дп, М!ппеаро!!в, М(пп., ХочегпЬег, 1963, АЕС Соп1гас! АТ-П-)-722.
98. А п д с г ь о п, С. 8., )Ч е Ь п е г, С. К., 01!и, Н, 3., 3. Арр1. РЬув„ 34, 3492 (1963). 99. 8 о и 1 Ь е г п, А. Е., '»Ч1 1 ! 1 ь, )Ч. й., К о Ь ! п в о п, М. Т., 3, Лрр!. РЛуя., 34, 153 ()963). 100. ЛпдегЬои, Я. 8., !Чей пег, С К., 8вг!асе Зс!., 2, 367 (1964). 10!. Ап6 егьа п, . 8„3. Арр1. РЬуя., 37, 3455 (19об), 102. Снпп1пдЬ»айг, й. 1., НК-уе!йп 3., 3. Арр! РЬув., 35, 54 (1965). 103. !Чоод у а гд, 3. й., Сопрет, С. В., 3. Арр!.
РЬув., 35, 1107 (1964). 104. )Чо о 6 у а г д, 3. й., рарег 3!чеп а! 15 !Ь Линна! Соп!егепсе оп Мавв Зрес!готе!ту апд ЛПгед То!Псз, Оептег, Со!о., 1967 105, Негяой, К. Р. К., Ровсбепг!сдег, г»Ч. Р., Квсдепавег, К С. 8 а 1Ь ! е тч ! с я, 15 ГЬ Апина! Соп!сгепсе оп Маяв 8рсс1гогпе!гу, Мау, 1967, Вспчег, Со!о. 106. 3 иг с1а, Е., Ре гоч ! с, В., рарег ййчеп а1 8 Гп 1и!егпаПопа) Соп1е.
гепсе о1 РЬепогпепа !п !оп!хед Саьев, Н)еппа, Аиь1Па, 1967 107. С о т а ь, З„С о о р е г, С. В.„З. Арр1. РЬув., 38, 2956 (1957), 108. Г 1 в г, В. 1, К ! в е т а п, 3., 3. Арр). РЬуз., 35, 344 (1964) 109. РтапсоптЬе, Х. Н., Ыоге)йа, А. 3., 3. Арр1. РЬуя., 32, 978 (196!). 1!О. КЛа п, !. Н., Рга п сонг Ьс, М. Н., 3. Лрр!. РЬу«, 36, 1699 (1965), 1!!. Рга11, К. Н., Ыайопв( Е)ес1гоп)сз Соп!сгепсе. !964. 112. М)сйа!а)с, Е.
М., Зугпров!пгп оп !Ье ОеровгПоп о! ТЬ1п РВтв Ьу брвйег(п8 Уп!четь!!у о! Косйев1ег, Зине, 1966. 113. Ра!1егьоп, !Ч. 1, 8Ь(гп, С. А., А Наевши 8с( Тесйпо!., 4, 343 (1967). 114. А п д е г ь о п, С. 8., 3. Арр! РЬуз., 40, 2884 (1969). 115. Лпдегзоп, С, 8., Зогдепьоп, С. Н., 'гуеЬпег. С, К., Арр!(ед 8с!енсе О!чгв!оп, )л!(оп Лппеиа) йерог! оп Зри!геНпд, ОХК Соп!гас! Нопг 1589 (15), НочегпЬег, 1966.
!16. Кэгпгпа!гу, М., "Л!ош(с апд 1опгс !пграс( РЬепошепа оп Ме1а( 8иг!всеь", р. 2П вЂ” 218, Асадепнс Ргевв, Нев Уогй, 1965. (Русский перевод; Каминский М., «Атомные и ионные столкновения нв поверхности металла». «Мнр»,М., !967, стр. 273 †2), 1!7. На вгпа пи, Р., Сигор!.
Кепд,, 248, 2472 (1958) !18, Н а у ги а п и, Р., Т г ! 1 ! а 1, 3. 3., Секир!. Кепд., 251, 85 (1960). 119 1Ч е Ь п ег, С. К., РЛув. Кеч,, 102, 690 (1953). 402 Спасок лптературы 120. Науигапп, Р., Оегча1в, Н., 2Ье ВогпЬагдгиеи1 !опщие", (п1егпаПопа( Соп1егепсе о! Сеп(ге Ха!!опа! де !а йесЬегсЬе Бс!епй!!г(ис. по. 1!3, р. 91, Вейечие, !962. 121. Од1(чге, О. )., ТЬогпвоп, Л. А., д. Р!гув, СЬесс Бо1Ыв, !7, 203 (19Я). !22.
В а соЬ зол, й. Е., %с 5 пег, О. К., А Арр) РЬуя., 36, 26?4 (!965Е 12в. М а з е у, О, д., к) е ! з о п, й„Б., В а г п е в, й Б, РЫ1, Мад., 17, 114) (1968). 124. Апд ег в о п, О. Б„). Арр). РЬуз., 38,!607 (1967). 125 %е5 пег, О. К., я. Арр). 1'Ьув., 29, 217 [!958). 126. Азад а, Т., О и аз еЬаг1Ь, К., 2. РЬуз Слеги., А143, 435 (1929), !27 О(1!а из, Е., ). РЬув, СЬсиг. Бо!Ыв, 11, 55 (19э9). 128. % е Ь п е г, О. К., К е п К л г и Ь 1, С. Е., й о в е п Ь е г д, О., Р!апсг Брасе Бег., 11, 1257 (1963).
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
