Фролов Е.С. - Вакуумная техника (1037534), страница 87
Текст из файла (страница 87)
В качестве рабочей жидкости чаще всего яспольэуют ртуть, так как оиа Раз. 14.4. Комороооновнмя злзууммотр д«Ф«расин«н«м« сс«зрим«трн Вя куум мегрпд 406 Таблица !42. П р и м е ч а н и е. Для вакуумметров указанных моделей Ф = 27 мм. Ф Таблица!43 Верх««и ир«дел ««м«ре. ««а р, МП« Кл«сс точности Мо- дель В«кррм- метр 1,0; 1,5 0,6: 1,0; 1,5 0,6; 1,0; 1,5 0,6; 1,0; 1,5 1,5 1,0; 1,5 1,0; 1,5 2,5 1,5; 2,5 1,0; 1,5 0,6; 1,0; 1,5 0,6; 1,0; 1,5 0,025 0,04 0,06 0,1 0,04 0,06 0,1 0,006 0,01 0,016 0,025 0,04 ВС-Э! 9523 9231 0531 МАС-Э! 0233 МАС-ЭЗ не смачивает стекло и плохо растворяет газы. При работе с компре ."ионным вакуумметром разности Пс — дз и Л вЂ” й не должны быз меньше 7 лш.
з г Применяют три способа измерения давления компресснонным вакуум-. метром: 1) уровень ртути в измерительном капилляре поди«мают до определенного значения !Ч и получаот линейную зависимость давления от разности уровней гз †. пз (способ позволяет измерять давленйя в узком диапазоне); 2) уровень ртути н сравнительном капилляре доводят до конца запаянного капилляра (йз — — З«) и получают квадратичную зависимость давления от разности уровней Ь« — йе т. е. Р ("« — йз) ' 3) уровень ртути в измерительном капнллвре цовып~зют до получения Максимально возможной разности уровнев в капиллярах, соблюдая.уело. вие и« вЂ” и, лн 7 мм. Первые дза способа определения давления позволяют пользоваться графиком илн таблицей, но высокой точности установления заданного уровня ртути добиться весьма сложно.
Третий способ, лвшениый этого недостатка, предпочтительный. По. грешногтн измерения компресснониымн вакуумметрзми обусловлены погреппкютями определения постоянной вакуумметра и уровней ртути в капиллярах, депрессией ртути в капиллярах, отличием формы меннскв ртути от формы запаянного конца измерительного капилляра, степенью точности принятых в расчет значений и и рж, а также погрешнос ью из-за , откачивающего действия струн ртутного пара. направленной нз компрессионного ьлкуумметра к вымораживающей ртутгые пары говушке. Компрессионные вакуумметры обычных конструкций позволяют измерять давление в диапазоне 10 з ...
4 !0« Па. Минимальная погреььость измерения 1 ... 3%. Обычно компрессионные вакуумметры применяют в качестве образцовых приборов. !4.3. Леформзциоиные вакуумметры В деформационных вакуумметрах давление определяют по деформшши упругого элемента под действием раэ- ности давлений. Их показания и зависит от рода гааа. Такие вакуум метры различают по типу чузстви тельного элемента и способу измерена деформации.
По типу чувствительного элемен вакуумметры подразделяют на тру чатые, сильфонные н мембранные Д формацию чувствительного элемент определяют механическими, оптнч скими илн электрическими способами В последнем случае для определения деформации применяют тензопреобрв. зов«тели, индукционные, механо- с тронные н другого типа датчики, обеспечивающие преобразование линей.
ного (механического) перемещения чувствительного элемента в электрическкй сигнал (аша тока, напряжение, частота) . Трубчатые (пружинные) вакуум. метры (трубки Бурдоне) представляют собой запаянную с одного конца тонкостенную трубку эллиптического сечевня, изогнут)чо по дуге окружности (пружину); дру. ой конец трубки соединяют с вакуумной сншемой, Пря изменении давления в трубке под действием разноси давлений между наружным (гт«юсферным) и давлением внутри трубки меняется радиус ее кривизны, что приводит к перемещению запаянного конца трубки н повороту на некоторый угол стрелки, связанной с ним системой зубчатых гередач. Показания прибора зависят от атмосферного давления. Обычно атмосферному давлению соответствует нулевое ' показание прибора.
Измеряемое давление, Па: Р = Рэ (1 пlп). где и — отсче" измеряемого давление в делениях шкалы; .Ч вЂ” число делений шкалы прибора, соответствующее раз. ности показаний при Р— Р« р= О. В табл. 14.2 и 14.3 приведены основ. ные технические характеристики промышленных вакуумметров соответственно труочагого (рнс. 14 5) и сильфонного типов. Прнмеление мехаиотронного пре. образователя перемещения позволяет повысить чувсгвнтельность деформа цнонного закуумметра снльфониого типа, а использование набора мехаио тронов — расширить диапазон измерения.
Днфровой блокировочный шнрокодиапззонный вакуумметр сильфониого типа ВМБ-!3371.3.002 выполнен на базе четырех мехзнотронов. Габаритные размеры взкуумметра 520Х 174Х 570 мм, лзассз 15 кг, цифровой отсчет в Па н в мм рт. сг.. автоматическое переключение диапазонов, аналоговый выход 0 ... 1О В, приведенная погрешность 3«х« . Йиже указаны диапазоны измерений, Па, механотроиных преобразователей: 6МДХ!2С...,, 0,13 .. 1,3 10« 6МДХ4С...,... 1,3 ... 1,3 !Оз 6МДХ5С....., ..
!3 ... 1,3.10« 6МДХ1! С....... 6,7 10« ... 10« Чувствительные элементы механо. тронов (сильфоны) выполнены из норрозиоино-стойкой стали 36НХТЮ, что позволяет использовать их для Рнс. Гчж. Гаяарвтнма ч«ртеж труб«а«еге аз«гумн«тра измерения давления агрессивных газовых сред. Основные недостатки сильфонных преобразователей дзвлення — их высокая чувствительность к внбрацням и гистерезнс грвдуировочной характеристчки вследствие консольности чувствительного элемента н его больших линейных деформаций.
Этих недостатков лишены преобразователи с мембранным чувствительным элементом. В менбрзяиых вакуумметрах чув. ствнтельным элементом служит тонкая плоская нли гофрированная герметичная мембрана (реже мембранная маио- ПАКУУММЕТРИЯ 410 )Таблица 144 Отва ятсяьяся ппгрсюяпсть Да«пасся Даава «, мм тронными, индукционными' н струи- ными методами. Мембранные дпЬормацнонные вакуумметоы с оптико-механической дю формапней мембраны выпускают двух типов: ОМ6 и С)М7. Масса вакуумметоов 3.5 кг, габаритные размеры 160Х98Х 250 мм.
Верхние пределы измерений нзкуумметров тица ОМ6: 1,3; 2,7; 4,0; 7,0; 1О; 130; 270 и 400 кПа: класс точности 1,0. Вакуум. метр ОМ7 имеет зеохннй предел изме. рений 0,13 кПа, класс точности 2,5. Характеристики мембранных деформацнонаых измерятельиых комплексов давлений с индукционным преобразователем деформапгнн (типа ИКД6ТДа) приведены в табл. 14.4. Высокая точность измерений язвления приборами типа ОМ способствует их применению в хачестве образцовых лри градуировке и поверке оабочих средств измерений, однако отсутствие электрического выходного сигнала не позволяет применять их в автома тизированном оборудовании.
Для непрерывного преобразования значения измеряемого давления в унифицированный токовый сигнал в системах автоматического контроля регулирования и улравленяя техиолО' пгческими процессами можно приме метрическая коробка), по прогибу которой лод действием разности давлений судят об измеряемом давлении. По одну сторону от мембраны давление пренебрежимо мало по сравнению с измеряемым, что обеспечивает возможность измерения абсолютного давления. Для определения прогиба мембраны применяют оптические и (чаше) электрические методы.
В цоследием случае прогиб измеряют'с помощью тензопреобразователей нлн способом компенсации прогиба мембраны электростатическими силамн (нулевой метод измерения), а также механо- Рве. 14.В. Гябаратпый чертеж прсебрясп ватпяя ссапйвр-Заь ' Диаметр комплексов 86 мм. П р и м е чаи не. Нет отчетного устройства. Выходной сигнал — напряжение от 0 до 6 В, Нелинейность харвктеристнки не превышает ~3ус, для приборов типа 1О и 20 ие более ~ 1,53().
Д«Фсря Ч «яяярр Прссбрссо- Таблица !45 41! 0,25~ 1,0 04 05 0,5 0,25 8,0 0,5 0,25 0,5 0,25 4,0 Сапфир-22ДВ 0,5' 0,25 0,5 0,2о 05 0,25; 0,5 5,0 240 1 П р ч м е ч а н и е. Размеры преоб. разов ате лей (см. рис. 14.6), Ь = 1 12 мм; () = 110 чм; для модели 2210 — Й= = 255 мм; ). = 182 мм; для остальных моделей, приведенных в таблице, Н = 205 мм, Ь 136 мм. нять мембранные измепнте ь преобразователи типа «Сапфир-22, (рис.
14.6) с тензопреобразователямн (табл 14.5); предельные значения выходных сигналов 0 5 О нли 4 ... 20 мЛ постоянного тока. Наиболее распространен емкостиый способ определения прогиба мембраны. При этом мембрана вместе с дополнительным неподвижным электродом образует обкладки электрического конденсатора, емкость которого заэисит от измеряемого давления р . При незначительных прогибах относительное изменение емкости конденл сатора прямо пропорционально д еиию, что позволяет получить линей- зиную зависимость выходного сигнала ((зых вакууммстрй от давления. Для уменьшения влияния окружающей температуры иа дрейф нули в вакуумярованной камере устаивали. пол вают дополнительный электрод, расожениый около наружной поверхности мембраны.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
