Фролов Е.С. - Вакуумная техника (1037534), страница 79
Текст из файла (страница 79)
Для указанных насосов наибольшее давление запуска 13 Па, наибольшее рабочее дзвленне 5 10 э Па, предельное остаточное давле влеянс 1 ° 10 з Па, число нспзрнтелей 7, диаметр нспарнтелей 2 мм, масса геттера (тн' тана) 125 г. Для блоков пнтзння напряженке холостого хода (Гя. х =— = — 7 кВ, сила тока короткого замыкания 0,8 А. Рис. Нызэ. Зввисимость быстроты двй стеня насосов НВГМ-6 От двввения при охлвмдеиин экрана хидкнм ввотомг 4 — при совместной работе мэгниторээрвдных блоков и дугового испэрителя (воздухд 2 — при совместной работе мвгниторвэрвдных блоков и прямавэизньвык нсоэрителей (воздух); 8 и 4 — при работе только мхгинторвзряднмх блоков (соответственно воздух н аргон) магнитная нндукцля не превышает 0,5 мкТл.
Основные техннчесхне характеристики комбннноонаниых насосов типа НВГМ с азотным охлаждением даны в табл. 12.16. Завиш(- месть быстроты действия насосов НВГМ-5-1-н НВГМ-2-1 от давления приведена на рис. 12.36. Насосы можно снабжать дуговым нспарнтелем со стабилизацией вращающнмся магнитным полем вместо прямонакаль- Быстрота действия 8 1(Р, мэ/с, насоса по азоту Быстрота действия 5 10", мэ/с, магннторазрядных блоков: по азоту по аргону Г)у входного отверстня, мм Габаритные размеры, мм Примечание. Для указанных насосов предельное остапу(ное давление не более 1,5 10 э Па, наибольшее давление запуска 1 10 1 Па, наибольшее давление запуска испарятелей не .
медее 1 !О э Па, наибольшее рабочее давление магннторазрядного блока ! 1О з Па, напряжение холостого хода магннторазрядного блока +7 кВ, сила тока короткого замыкания 0,8 А, максимальная сила тока накала нспзрнтеля 38 А. ных тнтаномолибденовых проволочных нспарнтелей Насосы НВГМ-2-1 н НВГМ.5-1 без блока нспарнтелей н зкрана можно использовать как магнитный электроразридный насос с двумя присоеднинтельнымн фланцами, что позволяет применять нх в качестве откачного модуля пролетного типа э ускорителях н других протяженных системах. Насосы пригодны для стабильной длительной оп(ачкн водорода, активных н инертных газов, з также коррозионяых паров и газовых смесей, в том ЭАЕКТРОФИЭИЧЕСКИЕ СРЕДСТВА ОТКАЧКИ Раа.
12,88, кон»тру««ааааа ««ема аомбоонроаааоого насоса пинг-229/ззэ/9-819ч г «1 — аыеоьоеоаьтаме вывод а аоод. 3 — перемычка; 8 — экран: 8 — корду«; б ео раль субаааа«ора; 7 — субааьаеор; 8 — орасоодноотеаьаыэ йдаоодг У вЂ” блок мага««аыд: ГР— блок электродные Габаритные размеры, мм,, !200 Х 1020 Х !О Масса, нг......... 450 грнхннческая характеристика насоса НМДИ-16/40: числе содержащих галогены, мышьяк н др. Для откачки газов, нейтральных к материалам конструкции, в широком диапазоне давлений прн значительной быстроте действия разработан нспарнгельегэй дкодиый магнитный электроразрядный насос НМДИ-16!40 (рис. !2 31).
Он рассчитан иа применение при нане»енни покрыгнй, в металлургии !в ггропессе очистки ме. таллов), в нмгюзторах космических условий, установках термоядерного синтеза в др. Особенность насаса— использование электродугового нспарителя. Сарбцнаиная панель выпал- иена в форме беличьего колеса н охлаждается до низких температур. Быстрота действия по возд,«у, ма/с ...,... !6 аиггольшее давление запуска, Па ........ 13 Нэиболшпее рабочее давление Г1а....,..., .
6,6.10 э Предельное остаточное давление, Па ..., ... 6,6.10-9 (1 входного отверстия, мм . 630 Сгэлз тока дуги, Л ..., 160 Для аткачнн техналогнчесхих объе. мав разрабозапы хоыбиеированные наохлаждаеыые насосы типа ПВИГ, слличаюшкеся повыгценной быстротой откачки инертных газов. Наса» предг ставляет собак комбинацию нсчзрн- " теля с магииторвзрядным блоком. Ис. парнтелн выполнены из титановой про. 1 волоки, нанятой на вольфремовуш 17 проволоху.
На рнс. !2.36 данз кон. ', структивная схема комбинированного насоса ПВИГ-250/630/9.0!9, в 3 табл. 12.!1 — основные технические .ь характеристики насосов тнпз ПВИГ. ', !2.6. Геттериые вакуумные насосьг В насосах с иераспыляемыми по глотителями откачка активных га. эов происходит за счет хемосорбцкн нэ поверхности, растворении н днф фузни молекул в объем газопоглотн. геля. Относительно кевысокаи ("о сравнению с достигаемой прн напила' ннн гертерных пленок) удельная ока Таагаырнме огдяяяаые аоаааа 37г рость взаимодействия молекул остаточных газов с нераспыляемыыи газават.штнтелямн компенсируется сн.гьно развитой поверхностью геттера. В зависимости ог теу палатки изготовления открытая гористость нерьспыляемыч гззопоглотнтелей составляет 20 ...
60 ди а истинная плошадь поверхо кости геттера в !ОО .. 100 раз превышает геометрическую. Для изготовления сербциоиных элементов откзчних устройств используются мета' лы 10 и ьг групп перноди. четке й системы, сплавы н составы на ях оскаге. Наиболее распространены бинарный (34% Тг + !6% А1) н трой. ной (10об 21 + 24 6% Э/+ 5 4Э4 Рг) ццрканневые сплавы, а также чистый титан. Сорбцнонные элементы наохов изготовляют нз порошков гет.
гера в виде покрытий на подложках нз коррозианно.стойкой стали или каясгзнтана, неги в виде объеиных пористых тел Порошки цзркониевых сплавов плохо годдаются' спеканзю. э объемные сорбциоьние элементы иа нх основе ггмекл еедостзтачную механическую прочгость, гг этому основная способ форьюобразовання со. стоит в плакированнн мстзллвческнх лент прокаткой н сваркой прокаткой. Объемные сорбционные элементы, изготовляемые методом спекання порошка тчтана в ззк/чые, имеют в 2.-3 раза ббльшуго открытукэ поркстость, вы. сокукэ механическую прочность н по гарбционным характеристикам не устуоэют, а в ряде случаев превосходят закрытие из цнркониевых сплавов, Для увеличения вдгезнн пористые тн ановые покрытия спекаот нз подложке нз корразионно-стойхой стали, предваритель га покрытой слоем яикеля толп!иной 20 ...
30 мкм, либо напил яют илазменно-дуговым спас»абаи. Конструктивно нагагы нераспыляемымн газопоглотителями представз Эшот собак наоор геттерных модул й е виде гофрированных лент, плакированиых с обеих сторон активным веществом, или объемных геттерных элементов (штабнков, дисков, спнрачей и др.).
В насосах с косвенным подогревом лента с геттерным покрытием разме. щена па окружности, а нагреватель установлен п» осн цилиндра. Рабоч«я температура чы оса 673 К, чо его мазано чспользоваш и при комнати,эй температ) ре. Быстрота действия нэсоссз этого типе по задора-1 ь э«- в исимсстн от раэмероэ устраиствз составляет д, ! ... 2,0 ма'г по а о» е 0,02 ... 0,5 ма/с. Для повышения эффективности пгпользованнз нагревателя »гкруг гегшриаго модули уста. ноален радиацкояныв экран В насосах с псчмым подогревом ос.
новныи эггемеггтеи насоса является гофрированный модуль «сафмльноеоь тяпа. Из отдельных модулей г.сбирают панели, кс:орые встранвагаг вку грь вакуумной системы. Площадь актив. ной поверхности гетгеоных элечеэъэв О,!5 и 0 3 мэ. Дзя актикацнн через модуль пропуск от тоу силой 60 Л. В рабочем режиме треб»емую темоературу (413 К) подл -рживегот прн силе тона !О .. 15 А.
Каждый модуль откачивает водород с быстротой 1,0 1,2 ча/с. оксид углерг дз с быстротой 0.5 . 0,6 мз!с С мм, ная быстрота действия гезтерних гз. не.гей практически неогрэикчеча н зависят от размеров блока Поглотятельная гпособность геттерных мо ду лей по в~дороду ограничена охрупчнваипем гет ерных элементов н составляет ! 102 .. 3 10« Па ч', ц а ч, цре. дельное количество поглощенного оксида углерода на порядок меньше. Недостаток нагосов этого типа постепенное ухудшение нх еахуумных характеристик из-за накопленн» з геттере необратимо сорбирующнхся газов Это явление особенно заметно после неоднонратных уоптактов газо-, поглатнтеля с атмосферным воздухом. В то же время отсутствие электрических и мзгнитрьгх полей.
вибрация, высокая удельная (эа единицу массы нлн объема геттерного модуля] скорость откачки, ннзкаи стоимость н малая мощность насоса позволяет рассмзтрявать гетгерные вакуумные насосы как эффективное срелстэо отхзчки высокозакуумнаго оборудг' вання н электровзкуумных приборов. 3тй иидкотямпдддтггриыя срядствл отклчки <крионлсосы) Г л а в а 13. Нивкотемоературные средства откачки (крнонасосы) 13.1. Принцип действия и классификация 'ММ' ~ ~' и('~~~ ;ь-;гт ф" г Рееве е е е ('...М ° о дга еаеее ее ° а ° ° ° ° ° Ое ео о об д/ Рнс. (З.З. Схемы рабатм крпакасасавг ( — крвапввель; 2, 3, 3 — аткачьввме нанакупы (2 — «авхенпнрааавнме,.'2 — пхса ргепннме, з — хемасарбвраванвме1; 3 — свободные малекупм; 4 — твердый сарбекг! а — вапамагзтельвмй газ! т — частвпм сеттера Действие ярнонасосов основано на физических явлениях. происходящих пря низких температурах; конценса.
ции газов на оклаждаемых металлических поверхностях (коиденсациониые насосы); адсорбции газов на твердых охлажденных сорбентах (адсорбционные насосы); адсорбпни газов на слое предварительно сконденсированного вс:гомогательного легкокондеисируемого газа (конденсацнонио-адсорбционные насосы); одновременной конденсации откачиваемого газа н вспомогательного легкокоиденсируемого газа (крнозахватныа насосы); поглошення газов пленками геттера, осаждае.
мого иа крнопанель насоса (криогет. те ные насосы). Ъ риицнп действия кондеисацнанных насосов основан нв конденсации газов иа металлических поверхностях, охлажденных до температуры 20 К и ниже (рис. 13.1, а). Принцип действия адсорбциониых насосов основан на сорбции газов твердым сорбентом, нанесенным иа криогенную поверхность (рис. 13.1, 6). В адсорбциониых насосах важно обе. ' спечить хороший тепловой контакт сорбента с поверхностью, его тепловую заШиту и исключить возможиоезь за. грязнеиия легкоконденснруемымн газами, поскольку это снижает вероят.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
