35_avt_svid_EAD_1529994 (1033204), страница 2
Текст из файла (страница 2)
ционарной вакуумной камере 2 проис- 35 ходит следующим образом: транспортная тележка 17 с камерой 16 перемещается по рельсам 39 с помощью меха'низма перемещения 38 до того момента, пока подвижный упор 40, установленный 40 иа тележке 17, не упрется в неподвижный упор 42; установленный на рельсах 39 таким образом, что ось патрубка 18 камеры !6 оказьвается заведомо ' Рассовмещенной с осью камеры 2 в од- ' ну сторонуь механизм 38 отключаетсн„ включается привод подвижного упора 40, которнй возвращает тележку 17 с камерой 16 до совмещения осей стыкуемых патрубков 18,19 в .вертикальной плоскости, что Фиксируется конечным выключателем 27 (си,Фиг.4) прн его , Упоре в стойку двухкоордииатного упора 33, при этом производится некоторое смещение камеры )6 в направлении стыковки механизмом поперечного перемещении 36, далее с помощью механизма подъема н наклона 35 камеры 16 последняя опускается до совмещения осей стыкуемых патрубков 18,!9 в го- 7 !529994 8 1О 15 20 25 Ф о .р м у л а и з о б р е т е н и я ЗО щения 36 камеры 16 досылается до полной стыковки затворов 20 и у„при этом все 40 байоиетного зажима 43> который и герметизирует посредством уялотиения 34, После пристыковки камеры 16 к ка- мере 5 анодные узлы из камеры 16 пе- Регружаются в кемеру 5, где пРоис- 45 ходит их герметизация с катодными узлами, н готовые приборы загружают- ся обратно в камеру 16, последняя отстыковывается и по рельсам 39 подъезжает к камере б и пристыковы- вается к лей.
Производитая перегруз- живания 4 анодных узлов, в это время 55 в камере 16 восстанавлдвается требуе- ризонтальной плоскости, что Фиксиру- ется конечным выключателем' 28 (см, Фиг,4), упирающимся в другую стойку двуккоордииатного упора 33>после этого механизмом поперечного пере- мещения Зб камера 16 доснпается до Упора, 8 случае перекоса оси камеры 16 относительно оси камеры 2 на Фла- нец 23 патрубка 19 камеры 16 ° прижа- тый пружинами 26 к сФернческим пот верхностям упорнын головок 25 нап" равляющих 24, действует' несимметрич- но приложенное усилие, заставляющее сжиматься некоторые из пружин 26 и изгибаться снльФон 22 1см>Фиг>З)>При этом затворы, с которыми' установле- ны направляющие '24 во Флаице затво- Ра 20, допускают самоустанавку пос- леднего в пределах нескольких граду- сов относительно плоскости стыковки, Один из переключателей 29 и ЗО при значительном перекосе Фланца 23 упи- рается во Фланец камеры 16 и дает сигнал на механизмы перемещения 38 камеры 1б, переключатели 29 и ЗО на механизм подъема и наклона 35, а выключатели в горизонтальной плос- кости - на механизм поворота 37> указанные механизмы выравнивают по- ложение камеры 16 в горизонтальной н вертикальной плоскостях, После этого механизмом поперечного переме- выключатели, расположенные в плоскос- тях, перпендикулярны плоскостям сты- ковки, срабать>веют однойремеино,что является сигналом для отключения ме- ханнзма 36 н включения привода 44 ка готовых приборов в камеру 6, каме ра 16 отстыковьз>ается и поступает на стыковку со следующей камерой обйзга- ммй вакуум с помощью средств откач- ки 41, Перегрузка готовых приборов из ка" меры 16 в камеру 6 возможна, когда партия катодов из камеры 6 уходит на дальнейшую обработку н камеру 5, а выгрузка готовых приборов,произво- дится при очередном вскрытии.
камеры б на атмосФеру для загрузки новой партии катодов. Устройство обеспечивает повышение производительности труда н при обре ботке приборов с незначительным по длительности технологическим циклом может быть эФФективно использована в роботизированном технологическом комплексе, Наиболее зФФективной об- ластью применения устройства являет- ся производство в сверхвысоком вакуу- ме, например сборка электронно-опти- ческих преобразователей илн процессы молекулярно-лучевой зпитаксни, Устройство для изготовления злект- ровакуумных приборов, содержащее со- осно размещенные стационарные вакуум- ные камеры на которых установлены патрубки, снабженные жаберными затво- рами н Фланцами, дополнительную ваку- умную камеру, выполненную с возмож- ностью перемещения,, на которой закреп- лен основной патрубок с Фланцем н шн- берным затвором> и механизмы транс- портировки приборов, установленные в.стационарных н дополнительной каме- рах, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повьвпения производитель- ности н надежности, на дополнитель- ной вакуумной камере с противополож- ной стороны и соосно основному пат- рубку закреплен сильФон, соединенный с дополнительным патрубкбм, снабжен- ным шиберным затвором и Флаицем с ориентирующими,конусамнн установлен- ным * возможностью перемещения по направляющим„ а каждый механизм транспортировки приборов выполнен в виде.
грейФерного транспортера с шагам„ кратным длине патрубков каждой каме- Ры, и установлен соосно им, при этом дополнительная камера установлена на тележке с возможностью вертикального н горизонтального перемещений, Люа пербой манера ~она.шибера 5ана 622орай камеры Фин а Составитель К1,Яресько Редактор В,Фельдман' Текред И,Ходанич Корректор Н~Король Заказ 242Н~ДСП Тиран 332 ' Подписное ВНННПИ Государственного комитета но изобретениям и открытиям лрн ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-'35, Рауиская наб., "д.
4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Уж1ород, уЛ, Гагарина, 101 е о й ~Ф о Ф ж о о Ю 63 Г й д о о 1 $ У Р .б О Ф О ы ы Ц М Ф о ю Ь Ф 1 Ы Я 61 ф Ж Л о ы Ю с Ф Р. 3 Л Ю М а $ м о О л Ф Ф я Й О а Б ~с о И а О к о о и Л Ф Ю О Ь -~ Ф в .М К о Ф 6- м й О. Я о х Ы, ф ж о 4 Ф о Е Х й~ % < Х Я 0 Г Е 2 О 2: О '% ~ ф '; ! ~ ф СО 2' и~,' ~о .
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
