Островки_Рубцов (1027561)
Текст из файла
Московский государственный технический университет имени Н.Э.Баумана
Ж У Р Н А Л
практического занятия
«Контроль роста
островковых наноструктур»
Фамилия и инициалы студента ____Рубцов М.А._____________________
Факультет __МТ___________ Группа _11-38___________ 2016 учебный год
Практическое занятие «Контроль роста островковых наноструктур (ОНС)»
-
Цель работы:
Исследование процесса роста ОНС методами АСМ микроскопии и измерения малых токов.
-
Анализ процесса роста тонкой пленки в вакууме
Заполните таблицу 1.
Таблица 1
| № | Этап | Суть этапа |
| 1 | Образование зародышей | Появление центров и рост зародышей, начало образования плёнки |
| 2 | Рост зародышей | Рост зародышей преимущественно в направлении подложки (увеличение и слияние зародышей) |
| 3 | Коалесценция (п3 и 4) | Зародыши срастаются и увеличиваются по высоте (появление кластеров) |
| 4 | Образование каналов | Островки образуют сетчатую структуру (слияние кластеров) |
| 5 | Образование дыр | Происходит зарастание каналов, образование вторичных зародышей |
| 6 | Образование сплошной пленки | Полное зарастание каналов |
-
Описание методов контроля процесса роста ОНС
Заполните таблицу 2.
Таблица 2
| № | Метод | Контролируемая величина (величины) | Погрешность измерения |
| 1 | АСМ | расстояние | ±1% |
| 2 | Пикоамперметр | ток | 0,25% |
-
Описание исследуемого образца
Заполните таблицу 3.
Таблица 3
| № | Параметр | Значение |
| 1 | Материал подложки | Ситалл (Al2O3) |
| 2 | Материал тонкой пленки | Медь (Cu) |
| 3 | Метод осаждения тонкой пленки | Термическое вакуумное испарение |
| 4 | Расстояние от испарителя до подложки | 25..45 мм |
-
Анализ результатов контроля малых токов
Изобразите схематично полученную зависимость силы тока от времени I(t). Выделите точки, соответствующие моменту начала образования зародышей, начала и окончания этапа коалесценции:
-
Определение параметров системы ОНС, соответствующих моменту образования зародышей и началу и окончания этапа коалесценции
Вид модели: D=182+85X1-18X2
X1 – время; X2 – расстояние; D – размер островка
Заполните таблицу 4.
Таблица 4
| № | Точки | Время, с / время, б/р | Сила тока, А | Размер ОНС, нм | Минимальное расстояние между ОНС, нм |
| 1 | Образование зародышей | (-1) 7.5 с | 2.05х10-9 | 89 | ----- |
| 2 | Начало коалесценции | 21.7 с | 7.99х10-8 | 128,5 | 0 |
| 3 | Окончание коалесценции | (+1) 40.2 с | 2.17х10-8 | 249 | 117 |
-
Определение характера зависимости тока от расстояния между ОНС
Изобразите схематично зависимость силы тока от расстояния между ОНС I(L).
-
Выводы
Сформулируйте краткие выводы по работе.
Методами АСМ можно при помощи измерения тока определить размеры зародышей и проследить процессы образования пленки. При увеличении расстояния между ОНС ток между ними уменьшается.
Отметка о защите практической работы ___________________Дата_________________
ФИО преподавателя_______________________Подпись преподавателя______________
Характеристики
Тип файла документ
Документы такого типа открываются такими программами, как Microsoft Office Word на компьютерах Windows, Apple Pages на компьютерах Mac, Open Office - бесплатная альтернатива на различных платформах, в том числе Linux. Наиболее простым и современным решением будут Google документы, так как открываются онлайн без скачивания прямо в браузере на любой платформе. Существуют российские качественные аналоги, например от Яндекса.
Будьте внимательны на мобильных устройствах, так как там используются упрощённый функционал даже в официальном приложении от Microsoft, поэтому для просмотра скачивайте PDF-версию. А если нужно редактировать файл, то используйте оригинальный файл.
Файлы такого типа обычно разбиты на страницы, а текст может быть форматированным (жирный, курсив, выбор шрифта, таблицы и т.п.), а также в него можно добавлять изображения. Формат идеально подходит для рефератов, докладов и РПЗ курсовых проектов, которые необходимо распечатать. Кстати перед печатью также сохраняйте файл в PDF, так как принтер может начудить со шрифтами.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
