Главная » Просмотр файлов » Технологическое обеспечение равномерности покрытий для деталей гироскопических приборов на установках магнетронного напыления

Технологическое обеспечение равномерности покрытий для деталей гироскопических приборов на установках магнетронного напыления (1026305), страница 25

Файл №1026305 Технологическое обеспечение равномерности покрытий для деталей гироскопических приборов на установках магнетронного напыления (Технологическое обеспечение равномерности покрытий для деталей гироскопических приборов на установках магнетронного напыления) 25 страницаТехнологическое обеспечение равномерности покрытий для деталей гироскопических приборов на установках магнетронного напыления (1026305) страница 252017-12-21СтудИзба
Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла (страница 25)

2465554РФ / Курбатов А.М., Курбатов Р.А.; заявл. 29.04.2011; опубл. 27.10.2012. Бюлл.№30.83. БогдановичВ.И.,электронагревателиБарвиноксВ.А.,КирилиннаноструктурнымА.Н.Тонкопленочныерезистивнымслоемдлятерморегулирования бортовой аппаратуры космических аппаратов // Проблемымашиностроения и автоматизации, №3. М.: Машиностроение, 2010. С. 111-117.84. Применение нанотехнологических методов для изготовления пластинымаятникового акселерометра / Шишлов А.В.

[и др.] // Инженерный журнал: наукаи инновации. 2013. Вып. 6. URL http://engjournal.ru/catalog/nano/hidden/805.html(дата обращения 01.09.2015).85. ВолковА.В.,КазанскийН.Л.,КолпаковВ.А.Расчетскоростиплазмохимического травления кварца // Сборник Компьютерная оптика. 2001.Вып.

21. С. 121-125.86. ВарданянЭ.Л.,БудиловВ.В.,КиреевР.М.Технологиянанесениякомпозиционных покрытий на основе интерметаллидов системы TiAl из плазмывакуумного дугового разряда // Пленки и покрытия-2015: Труды 12-й междунар.конф. (19 мая - 22 мая 2015) / Под ред. д-ра техн. наук В.Г. Кузнецова.СПб.: Изд-во Политехн. ун-та, 2015. С.243-245.87. Odinokov S.B., Sagatelyan H.R. The design and manufacturing of diffractionoptical elements to form a dot-composed etalon image within the optical systems// Optics and Photon.

J. 2013. Vol. 3, №1. P. 102-111.88. Технология тонких пленок: Учеб. пособие / С.В. Антоненко. М.: МИФИ, 2008.104 с.89. Волков А.В., Казанский Н.Л., Рыбаков О.Е. Разработка технологии получениядифракционного оптического элемента с субмикронными размерами рельефа вкремниевой пластине // Сборник Компьютерная оптика. 1998. Вып.

18. С. 133-138.19390. КалининВ.Н.,ПоповаМ.Г.,БеликовА.И.Технологиянанесениянанокомпозитных тонкопленочных покрытий методом магнетронного распыленияпрессованныхмишеней//Молодежныйнаучно-техническийвестник:электронный журнал. URL http://sntbul.bmstu.ru/doc/752798.html (дата обращения29.09.2015).91. ПВГМ.048.000.00РЭ. Вакуумная установка нанесения нанокомпозитныхпокрытий UNICOAT-600+: руководство по эксплуатации. НПФ Элан-Практик.Дзержинск, 2008.

37 с.92. Сочугов Н.С. Ионно-плазменное оборудование и процессы нанесениятонкопленочных функциональных покрытий на подложки большой площади:автореферат дис. … док. техн. наук. Томск. 2012. 43 с.93. Установка карусельного типа для магнетронного напыления многослойныхпокрытий и способ магнетронного напыления равнотолщинного нанопокрытия:заявка на изобретение 2015120001 РФ / С.Б.

Одиноков [и др.]; заявл. 27.05.15.94. Новоселов К.Л., Сагателян Г.Р. Формирование макрорельефа пластиныплазмохимическимтравлениемприизготовлениипластиныакселерометра // Научное обозрение. 2013. № 2. С. 168-173.маятникового194ПриложениеПриложение 1. Листинг программы расчета равномерности напыления придуальном напыленииfunction [H_A_L,H_A_R,H_A] =FThickness_dual(R,r,D,n,theta_R,chi_Omega_R1,chi_Omega_R2,theta_L,chi_Omega_L1,chi_Omega_L2,KL,hmL,KR,hmR,x_A)x_chi_Omega_R1=chi_Omega_R1*cos(theta_R);y_chi_Omega_R1=chi_Omega_R1*sin(theta_R);x_chi_Omega_R2=chi_Omega_R2*cos(theta_R);y_chi_Omega_R2=chi_Omega_R2*sin(theta_R);x_chi_Omega_L1=chi_Omega_L1*cos(theta_L);y_chi_Omega_L1=chi_Omega_L1*sin(theta_L);x_chi_Omega_L2=chi_Omega_L2*cos(theta_L);y_chi_Omega_L2=chi_Omega_L2*sin(theta_L);delta_t=1;delta_beta=0.01;beta_max=2*3.14;H_A_R(1:length(x_A))=0;H_A_L(1:length(x_A))=0;H_A(1:length(x_A))=0;for i=1:length(x_A)for beta=-beta_max:delta_beta:beta_maxalpha=beta/n;xz=R*cos(alpha-pi/2);yz=R*sin(alpha-pi/2)+D;xm=r*cos(-beta-pi/2);ym=r*sin(-beta-pi/2);x0=xz+xm;y0=yz+ym;x=xz+xm+x_A(i)*cos(-beta);y=yz+ym+x_A(i)*sin(-beta);крщ_К1=ыйке((ч_срш_Щьупф_К1-ч):2+(н_срш_Щьупф_К1-н):2)жphi_R1=acos((-sin(theta_R)*(x-x_chi_Omega_R1)+cos(theta_R)*(yy_chi_Omega_R1))/sqrt((x-x_chi_Omega_R1)^2+(y-y_chi_Omega_R1)^2));eps_R1=acos(((x0-xz)*(x_chi_Omega_R1-x)+(y0-yz)*(y_chi_Omega_R1y))/(sqrt((x0-xz)^2+(y0-yz)^2)*sqrt((x_chi_Omega_R1-x)^2+(y_chi_Omega_R1y)^2)));Delta_xi_R1=KR*hmR*cos(phi_R1)*cos(eps_R1)/rho_R1^2;if (abs(phi_R1)<=pi/2)&&(abs(eps_R1)<=pi/2)H_A_R(i)=H_A_R(i)+Delta_xi_R1*delta_t;endкрщ_К2=ыйке((ч_срш_Щьупф_К2-ч):2+(н_срш_Щьупф_К2-н):2)жphi_R2=acos((-sin(theta_R)*(x-x_chi_Omega_R2)+cos(theta_R)*(yy_chi_Omega_R2))/sqrt((x-x_chi_Omega_R2)^2+(y-y_chi_Omega_R2)^2));eps_R2=acos(((x0-xz)*(x_chi_Omega_R2-x)+(y0-yz)*(y_chi_Omega_R2y))/(sqrt((x0-xz)^2+(y0-yz)^2)*sqrt((x_chi_Omega_R2-x)^2+(y_chi_Omega_R2y)^2)));Delta_xi_R2=KR*hmR*cos(phi_R2)*cos(eps_R2)/(rho_R2)^2;if (abs(phi_R2)<=pi/2)&&(abs(eps_R2)<=pi/2)H_A_R(i)=H_A_R(i)+Delta_xi_R2*delta_t;endrho_L1=sqrt((x_chi_Omega_L1-x)^2+(y_chi_Omega_L1-y)^2);195phi_L1=acos((sin(theta_L)*(x-x_chi_Omega_L1)+cos(theta_L)*(yy_chi_Omega_L1))/sqrt((x-x_chi_Omega_L1)^2+(y-y_chi_Omega_L1)^2));eps_L1=acos(((x0-xz)*(x_chi_Omega_L1-x)+(y0-yz)*(y_chi_Omega_L1y))/(sqrt((x0-xz)^2+(y0-yz)^2)*sqrt((x_chi_Omega_L1-x)^2+(y_chi_Omega_L1y)^2)));Delta_xi_L1=KL*hmL*cos(phi_L1)*cos(eps_L1)/rho_L1^2;if (abs(phi_L1)<=pi/2)&&(abs(eps_L1)<=pi/2)H_A_L(i)=H_A_L(i)+Delta_xi_L1*delta_t;endrho_L2=sqrt((x_chi_Omega_L2-x)^2+(y_chi_Omega_L2-y)^2);phi_L2=acos((sin(theta_L)*(x-x_chi_Omega_L2)+cos(theta_L)*(yy_chi_Omega_L2))/sqrt((x-x_chi_Omega_L2)^2+(y-y_chi_Omega_L2)^2));eps_L2=acos(((x0-xz)*(x_chi_Omega_L2-x)+(y0-yz)*(y_chi_Omega_L2y))/(sqrt((x0-xz)^2+(y0-yz)^2)*sqrt((x_chi_Omega_L2-x)^2+(y_chi_Omega_L2y)^2)));Delta_xi_L2=KL*hmL*cos(phi_L2)*cos(eps_L2)/(rho_L2)^2;if (abs(phi_L2)<=pi/2)&&(abs(eps_L2)<=pi/2)H_A_L(i)=H_A_L(i)+Delta_xi_L2*delta_t;endendH_A(i)=H_A_L(i)+H_A_R(i);endendfunction varargout = FF_Dual(varargin)gui_Singleton = 1;gui_State = struct('gui_Name',mfilename, ...'gui_Singleton', gui_Singleton, ...'gui_OpeningFcn', @FF_Dual_OpeningFcn, ...'gui_OutputFcn', @FF_Dual_OutputFcn, ...'gui_LayoutFcn', [] , ...'gui_Callback',[]);if nargin && ischar(varargin{1})gui_State.gui_Callback = str2func(varargin{1});endif nargout[varargout{1:nargout}] = gui_mainfcn(gui_State, varargin{:});elsegui_mainfcn(gui_State, varargin{:});endfunction FF_Dual_OpeningFcn(hObject, eventdata, handles, varargin)handles.output = hObject;guidata(hObject, handles);function varargout = FF_Dual_OutputFcn(hObject, eventdata, handles)varargout{1} = handles.output;function D_Callback(hObject, eventdata, handles)doublefunction D_CreateFcn(hObject, eventdata, handles)if ispc && isequal(get(hObject,'BackgroundColor'),get(0,'defaultUicontrolBackgroundColor'))set(hObject,'BackgroundColor','white');endfunction theta_L_Callback(hObject, eventdata, handles)doublefunction theta_L_CreateFcn(hObject, eventdata, handles)% hObjecthandle to theta_L (see GCBO)% eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB196% Hint: edit controls usually have a white background on Windows.%See ISPC and COMPUTER.if ispc && isequal(get(hObject,'BackgroundColor'),get(0,'defaultUicontrolBackgroundColor'))set(hObject,'BackgroundColor','white');endfunction r_Callback(hObject, eventdata, handles)% hObjecthandle to r (see GCBO)% eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB% handlesstructure with handles and user data (see GUIDATA)% Hints: get(hObject,'String') returns contents of r as text%str2double(get(hObject,'String')) returns contents of r as adouble% --- Executes during object creation, after setting all properties.function r_CreateFcn(hObject, eventdata, handles)% hObjecthandle to r (see GCBO)% eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB% handlesempty - handles not created until after all CreateFcns called% Hint: edit controls usually have a white background on Windows.%See ISPC and COMPUTER.if ispc && isequal(get(hObject,'BackgroundColor'),get(0,'defaultUicontrolBackgroundColor'))set(hObject,'BackgroundColor','white');endfunction R_Callback(hObject, eventdata, handles)% hObjecthandle to R (see GCBO)% eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB% handlesstructure with handles and user data (see GUIDATA)% Hints: get(hObject,'String') returns contents of R as text%str2double(get(hObject,'String')) returns contents of R as adouble% --- Executes during object creation, after setting all properties.function R_CreateFcn(hObject, eventdata, handles)% hObjecthandle to R (see GCBO)% eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB% handlesempty - handles not created until after all CreateFcns called% Hint: edit controls usually have a white background on Windows.%See ISPC and COMPUTER.if ispc && isequal(get(hObject,'BackgroundColor'),get(0,'defaultUicontrolBackgroundColor'))set(hObject,'BackgroundColor','white');endfunction n_Callback(hObject, eventdata, handles)% hObjecthandle to n (see GCBO)% eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB% handlesstructure with handles and user data (see GUIDATA)% Hints: get(hObject,'String') returns contents of n as text%str2double(get(hObject,'String')) returns contents of n as adouble% --- Executes during object creation, after setting all properties.function n_CreateFcn(hObject, eventdata, handles)% hObjecthandle to n (see GCBO)% eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB% handlesempty - handles not created until after all CreateFcns called% Hint: edit controls usually have a white background on Windows.%See ISPC and COMPUTER.if ispc && isequal(get(hObject,'BackgroundColor'),get(0,'defaultUicontrolBackgroundColor'))197set(hObject,'BackgroundColor','white');endfunction x_A_Callback(hObject, eventdata, handles)% hObjecthandle to x_A (see GCBO)% eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB% handlesstructure with handles and user data (see GUIDATA)% Hints: get(hObject,'String') returns contents of x_A as text%str2double(get(hObject,'String')) returns contents of x_A as adouble% --- Executes during object creation, after setting all properties.function x_A_CreateFcn(hObject, eventdata, handles)% hObjecthandle to x_A (see GCBO)% eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB% handlesempty - handles not created until after all CreateFcns called% Hint: edit controls usually have a white background on Windows.%See ISPC and COMPUTER.if ispc && isequal(get(hObject,'BackgroundColor'),get(0,'defaultUicontrolBackgroundColor'))set(hObject,'BackgroundColor','white');endfunction chi_Omega_L2_Callback(hObject, eventdata, handles)% hObjecthandle to chi_Omega_L2 (see GCBO)% eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB% handlesstructure with handles and user data (see GUIDATA)% Hints: get(hObject,'String') returns contents of chi_Omega_L2 as text%str2double(get(hObject,'String')) returns contents of chi_Omega_L2as a double% --- Executes during object creation, after setting all properties.function chi_Omega_L2_CreateFcn(hObject, eventdata, handles)% hObjecthandle to chi_Omega_L2 (see GCBO)% eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB% handlesempty - handles not created until after all CreateFcns called% Hint: edit controls usually have a white background on Windows.%See ISPC and COMPUTER.if ispc && isequal(get(hObject,'BackgroundColor'),get(0,'defaultUicontrolBackgroundColor'))set(hObject,'BackgroundColor','white');endfunction chi_Omega_R1_Callback(hObject, eventdata, handles)% hObjecthandle to chi_Omega_R1 (see GCBO)% eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB% handlesstructure with handles and user data (see GUIDATA)% Hints: get(hObject,'String') returns contents of chi_Omega_R1 as text%str2double(get(hObject,'String')) returns contents of chi_Omega_R1as a double% --- Executes during object creation, after setting all properties.function chi_Omega_R1_CreateFcn(hObject, eventdata, handles)% hObjecthandle to chi_Omega_R1 (see GCBO)% eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB% handlesempty - handles not created until after all CreateFcns called% Hint: edit controls usually have a white background on Windows.%See ISPC and COMPUTER.if ispc && isequal(get(hObject,'BackgroundColor'),get(0,'defaultUicontrolBackgroundColor'))set(hObject,'BackgroundColor','white');endfunction chi_Omega_R2_Callback(hObject, eventdata, handles)% hObjecthandle to chi_Omega_R2 (see GCBO)198% eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB% handlesstructure with handles and user data (see GUIDATA)% Hints: get(hObject,'String') returns contents of chi_Omega_R2 as text%str2double(get(hObject,'String')) returns contents of chi_Omega_R2as a double% --- Executes during object creation, after setting all properties.function chi_Omega_R2_CreateFcn(hObject, eventdata, handles)% hObjecthandle to chi_Omega_R2 (see GCBO)% eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB% handlesempty - handles not created until after all CreateFcns called% Hint: edit controls usually have a white background on Windows.%See ISPC and COMPUTER.if ispc && isequal(get(hObject,'BackgroundColor'),get(0,'defaultUicontrolBackgroundColor'))set(hObject,'BackgroundColor','white');endfunction theta_R_Callback(hObject, eventdata, handles)% hObjecthandle to theta_R (see GCBO)% eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB% handlesstructure with handles and user data (see GUIDATA)% Hints: get(hObject,'String') returns contents of theta_R as text%str2double(get(hObject,'String')) returns contents of theta_R as adouble% --- Executes during object creation, after setting all properties.function theta_R_CreateFcn(hObject, eventdata, handles)% hObjecthandle to theta_R (see GCBO)% eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB% handlesempty - handles not created until after all CreateFcns called% Hint: edit controls usually have a white background on Windows.%See ISPC and COMPUTER.if ispc && isequal(get(hObject,'BackgroundColor'),get(0,'defaultUicontrolBackgroundColor'))set(hObject,'BackgroundColor','white');endfunction chi_Omega_L1_Callback(hObject, eventdata, handles)% hObjecthandle to chi_Omega_L1 (see GCBO)% eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB% handlesstructure with handles and user data (see GUIDATA)% Hints: get(hObject,'String') returns contents of chi_Omega_L1 as text%str2double(get(hObject,'String')) returns contents of chi_Omega_L1as a double% --- Executes during object creation, after setting all properties.function chi_Omega_L1_CreateFcn(hObject, eventdata, handles)% hObjecthandle to chi_Omega_L1 (see GCBO)% eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB% handlesempty - handles not created until after all CreateFcns called% Hint: edit controls usually have a white background on Windows.%See ISPC and COMPUTER.if ispc && isequal(get(hObject,'BackgroundColor'),get(0,'defaultUicontrolBackgroundColor'))set(hObject,'BackgroundColor','white');endfunction k_L_Callback(hObject, eventdata, handles)% hObjecthandle to k_L (see GCBO)% eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB% handlesstructure with handles and user data (see GUIDATA)% Hints: get(hObject,'String') returns contents of k_L as text199%str2double(get(hObject,'String')) returns contents of k_L as adouble% --- Executes during object creation, after setting all properties.function k_L_CreateFcn(hObject, eventdata, handles)% hObjecthandle to k_L (see GCBO)% eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB% handlesempty - handles not created until after all CreateFcns called% Hint: edit controls usually have a white background on Windows.%See ISPC and COMPUTER.if ispc && isequal(get(hObject,'BackgroundColor'),get(0,'defaultUicontrolBackgroundColor'))set(hObject,'BackgroundColor','white');endfunction h_m_L_Callback(hObject, eventdata, handles)% hObjecthandle to h_m_L (see GCBO)% eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB% handlesstructure with handles and user data (see GUIDATA)% Hints: get(hObject,'String') returns contents of h_m_L as text%str2double(get(hObject,'String')) returns contents of h_m_L as adouble% --- Executes during object creation, after setting all properties.function h_m_L_CreateFcn(hObject, eventdata, handles)% hObjecthandle to h_m_L (see GCBO)% eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB% handlesempty - handles not created until after all CreateFcns called% Hint: edit controls usually have a white background on Windows.%See ISPC and COMPUTER.if ispc && isequal(get(hObject,'BackgroundColor'),get(0,'defaultUicontrolBackgroundColor'))set(hObject,'BackgroundColor','white');endfunction k_R_Callback(hObject, eventdata, handles)% hObjecthandle to k_R (see GCBO)% eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB% handlesstructure with handles and user data (see GUIDATA)% Hints: get(hObject,'String') returns contents of k_R as text%str2double(get(hObject,'String')) returns contents of k_R as adouble% --- Executes during object creation, after setting all properties.function k_R_CreateFcn(hObject, eventdata, handles)% hObjecthandle to k_R (see GCBO)% eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB% handlesempty - handles not created until after all CreateFcns called% Hint: edit controls usually have a white background on Windows.%See ISPC and COMPUTER.if ispc && isequal(get(hObject,'BackgroundColor'),get(0,'defaultUicontrolBackgroundColor'))set(hObject,'BackgroundColor','white');endfunction h_m_R_Callback(hObject, eventdata, handles)% hObjecthandle to h_m_R (see GCBO)% eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB% handlesstructure with handles and user data (see GUIDATA)% Hints: get(hObject,'String') returns contents of h_m_R as text%str2double(get(hObject,'String')) returns contents of h_m_R as adouble% --- Executes during object creation, after setting all properties.function h_m_R_CreateFcn(hObject, eventdata, handles)200% hObjecthandle to h_m_R (see GCBO)% eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB% handlesempty - handles not created until after all CreateFcns called% Hint: edit controls usually have a white background on Windows.%See ISPC and COMPUTER.if ispc && isequal(get(hObject,'BackgroundColor'),get(0,'defaultUicontrolBackgroundColor'))set(hObject,'BackgroundColor','white');end% --- Executes on button press in Button_Thick.function Button_Thick_Callback(hObject, eventdata, handles)% hObjecthandle to Button_Thick (see GCBO)% eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB% handlesstructure with handles and user data (see GUIDATA)D=str2double(get(handles.D,'String'));r=str2double(get(handles.r,'String'));R=str2double(get(handles.R,'String'));n=str2double(get(handles.n,'String'));theta_L=str2double(get(handles.theta_L,'String'))*pi/180;theta_R=str2double(get(handles.theta_R,'String'))*pi/180;chi_Omega_R1=str2double(get(handles.chi_Omega_R1,'String'));chi_Omega_R2=str2double(get(handles.chi_Omega_R2,'String'));chi_Omega_L1=str2double(get(handles.chi_Omega_L1,'String'));chi_Omega_L2=str2double(get(handles.chi_Omega_L2,'String'));k_L=str2double(get(handles.k_L,'String'));h_m_L=str2double(get(handles.h_m_L,'String'));k_R=str2double(get(handles.k_R,'String'));h_m_R=str2double(get(handles.h_m_R,'String'));if get(handles.rb_unidirect,'Value')n=-n;endx_A=-20:0.1:20;[H_A_L,H_A_R,H_A] =FThickness_dual(R,r,D,n,theta_R,chi_Omega_R1,chi_Omega_R2,theta_L,chi_Omega_L1,chi_Omega_L2,k_L,h_m_L,k_R,h_m_R,x_A);figuremaximize(gcf)plot(x_A,H_A_R,'r',x_A,H_A_L,'b',x_A,H_A,'g')set(gca,'YLim',[0 1.1*max(H_A)]);grid onH_min=min(H_A);H_max=max(H_A);H_mean=sum(H_A)/length(H_A);sigma_H=(H_max-H_min)/H_mean;H_R_min=min(H_A_R);H_R_max=max(H_A_R);H_R_mean=sum(H_A_R)/length(H_A_R);sigma_H_R=(H_R_max-H_R_min)/H_R_mean;H_L_min=min(H_A_L);H_L_max=max(H_A_L);H_L_mean=sum(H_A_L)/length(H_A_L);sigma_H_L=(H_L_max-H_L_min)/H_L_mean;xlabel('x_{A}, мм')ylabel('H_{A}, мкм')title({'Распределение толщины покрытия:';['H_{мин}=',num2str(H_min),' мкм, H_{макс}=',num2str(H_max),' мкм,H_{сред}=',num2str(H_mean),' мкм, \sigma_H=',num2str(sigma_H)];201['H_{лев мин}=',num2str(H_L_min),' мкм, H_{левмакс}=',num2str(H_L_max),' мкм, H_{лев сред}=',num2str(H_L_mean),'мкм,\sigma_{Hлев}=',num2str(sigma_H_L)];['H_{прав мин}=',num2str(H_R_min),' мкм, H_{правмакс}=',num2str(H_R_max),' мкм, H_{прав сред}=',num2str(H_R_mean),'мкм,\sigma_{Hправ}=',num2str(sigma_H_R)]})legend('Слой от правого магнетрона','Слой от левого магнетрона','Суммарныйслой')% --- Executes on button press in Button_Anim.function Button_Anim_Callback(hObject, eventdata, handles)% hObjecthandle to Button_Anim (see GCBO)% eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB% handlesstructure with handles and user data (see GUIDATA)D=str2double(get(handles.D,'String'));r=str2double(get(handles.r,'String'));R=str2double(get(handles.R,'String'));n=str2double(get(handles.n,'String'));theta_L=str2double(get(handles.theta_L,'String'))*pi/180;theta_R=str2double(get(handles.theta_R,'String'))*pi/180;chi_Omega_R1=str2double(get(handles.chi_Omega_R1,'String'));chi_Omega_R2=str2double(get(handles.chi_Omega_R2,'String'));chi_Omega_L1=str2double(get(handles.chi_Omega_L1,'String'));chi_Omega_L2=str2double(get(handles.chi_Omega_L2,'String'));x_A=str2double(get(handles.x_A,'String'));if get(handles.rb_unidirect,'Value')n=-n;endx_chi_Omega_R1=chi_Omega_R1*cos(theta_R);y_chi_Omega_R1=chi_Omega_R1*sin(theta_R);x_chi_Omega_R2=chi_Omega_R2*cos(theta_R);y_chi_Omega_R2=chi_Omega_R2*sin(theta_R);x_chi_Omega_L1=chi_Omega_L1*cos(theta_L);y_chi_Omega_L1=chi_Omega_L1*sin(theta_L);x_chi_Omega_L2=chi_Omega_L2*cos(theta_L);y_chi_Omega_L2=chi_Omega_L2*sin(theta_L);delta_beta=0.05;beta_max=2*pi;beta=-beta_max:delta_beta:beta_max;alpha=beta/n;xz=R*cos(alpha-pi/2);yz=R*sin(alpha-pi/2)+D;xm=r*cos(-beta-pi/2);ym=r*sin(-beta-pi/2);x0=xz+xm;y0=yz+ym;x=xz+xm+x_A*cos(-beta);y=yz+ym+x_A*sin(-beta);figuremaximize(gcf)plot(x_chi_Omega_R1,y_chi_Omega_R1,'ro')text(x_chi_Omega_R1,y_chi_Omega_R1,'R1')hold onplot(x_chi_Omega_R2,y_chi_Omega_R2,'ro')text(x_chi_Omega_R2,y_chi_Omega_R2,'R2')hold onplot(x_chi_Omega_L1,y_chi_Omega_L1,'ro')text(x_chi_Omega_L1,y_chi_Omega_L1,'L1')hold on202plot(x_chi_Omega_L2,y_chi_Omega_L2,'ro')text(x_chi_Omega_L2,y_chi_Omega_L2,'L2')line([0 200*cos(theta_R)],[0 200*sin(theta_R)],'Color','red')line([0 -200*cos(theta_L)],[0 200*sin(theta_L)],'Color','red')plot(x,y,'r',x0,y0,'r--',xz,yz,'b')grid onaxis([-200 200 0 400])angle=0:0.2:2*pi;plot(0,D,'ko','MarkerSize',5,'MarkerFaceColor',[0 0 0]);S=plot(xz(1),yz(1),'ko','MarkerSize',5,'MarkerFaceColor',[0 0 0]);Arr1=arrow3([0,D],[xz(1),yz(1)]);O=plot(x0(1),y0(1),'ko','MarkerSize',5,'MarkerFaceColor',[0 0 0]);for j=1:numel(angle)Satt(j)=plot(xz(1)+r*cos(angle(j)),yz(1)+r*sin(angle(j)));endArr2=arrow3([xz(1),yz(1)],[x0(1),y0(1)]);P=line([x0(1),y0(1)],[x(1),y(1)]);B=text(190,400,['\beta=',num2str(abs(beta(1)*180/pi)),'\circ'],'VerticalAlignment','top','BackgroundColor',[.7 .9 .7]);A=text(190,370,['\alpha=',num2str(abs(alpha(1)*180/pi)),'\circ'],'VerticalAlignment','top','BackgroundColor',[.7 .9 .7]);for i=1:numel(beta)delete(Arr1)delete(Arr2)delete(Satt)delete(P)delete(B)delete(A)set(S,'XData',xz(i),'YData',yz(i))Arr1=arrow3([0,D],[xz(i),yz(i)]);set(O,'XData',x0(i),'YData',y0(i))Arr2=arrow3([xz(i),yz(i)],[x0(i),y0(i)]);for j=1:numel(angle)Satt(j)=plot(xz(i)+r*cos(angle(j)),yz(i)+r*sin(angle(j)));endP=line([x0(i),x(i)],[y0(i),y(i)]);B=text(190,400,['\beta=',num2str(abs(beta(i)*180/pi)),'\circ'],'VerticalAlignment','top','BackgroundColor',[.7 .9 .7]);A=text(190,370,['\alpha=',num2str(abs(alpha(i)*180/pi)),'\circ'],'VerticalAlignment','top','BackgroundColor',[.7 .9 .7]);pause(0.0001)endfor i=numel(beta):-1:1delete(Arr1)delete(Arr2)delete(Satt)delete(P)delete(B)delete(A)set(S,'XData',xz(i),'YData',yz(i))Arr1=arrow3([0,D],[xz(i),yz(i)]);set(O,'XData',x0(i),'YData',y0(i))Arr2=arrow3([xz(i),yz(i)],[x0(i),y0(i)]);for j=1:numel(angle)203Satt(j)=plot(xz(i)+r*cos(angle(j)),yz(i)+r*sin(angle(j)));endP=line([x0(i),x(i)],[y0(i),y(i)]);B=text(190,400,['\beta=',num2str(abs(beta(i)*180/pi)),'\circ'],'VerticalAlignment','top','BackgroundColor',[.7 .9 .7]);A=text(190,370,['\alpha=',num2str(abs(alpha(i)*180/pi)),'\circ'],'VerticalAlignment','top','BackgroundColor',[.7 .9 .7]);pause(0.0001)end% --- Executes on button press in Button_Params.function Button_Params_Callback(hObject, eventdata, handles)% hObjecthandle to Button_Params (see GCBO)% eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB% handlesstructure with handles and user data (see GUIDATA)D=str2double(get(handles.D,'String'));r=str2double(get(handles.r,'String'));R=str2double(get(handles.R,'String'));n=str2double(get(handles.n,'String'));theta_L=str2double(get(handles.theta_L,'String'))*pi/180;theta_R=str2double(get(handles.theta_R,'String'))*pi/180;chi_Omega_R1=str2double(get(handles.chi_Omega_R1,'String'));chi_Omega_R2=str2double(get(handles.chi_Omega_R2,'String'));chi_Omega_L1=str2double(get(handles.chi_Omega_L1,'String'));chi_Omega_L2=str2double(get(handles.chi_Omega_L2,'String'));kL=str2double(get(handles.k_L,'String'));hmL=str2double(get(handles.h_m_L,'String'));kR=str2double(get(handles.k_R,'String'));hmR=str2double(get(handles.h_m_R,'String'));x_A=str2double(get(handles.x_A,'String'));if get(handles.rb_unidirect,'Value')n=-n;end%Координаты источниковx_chi_Omega_R1=chi_Omega_R1*cos(theta_R);y_chi_Omega_R1=chi_Omega_R1*sin(theta_R);x_chi_Omega_R2=chi_Omega_R2*cos(theta_R);y_chi_Omega_R2=chi_Omega_R2*sin(theta_R);x_chi_Omega_L1=chi_Omega_L1*cos(theta_L);y_chi_Omega_L1=chi_Omega_L1*sin(theta_L);x_chi_Omega_L2=chi_Omega_L2*cos(theta_L);y_chi_Omega_L2=chi_Omega_L2*sin(theta_L);delta_beta=0.01;beta_max=2*3.14;% Траекторияbeta=-beta_max:delta_beta:beta_max;alpha=beta/n;xz=R*cos(alpha-pi/2);yz=R*sin(alpha-pi/2)+D;xm=r*cos(-beta-pi/2);ym=r*sin(-beta-pi/2);x0=xz+xm;y0=yz+ym;x=xz+xm+x_A*cos(-beta);y=yz+ym+x_A*sin(-beta);% Вычисление расстояния между источником и точкой напыленияrho_R1=sqrt((x_chi_Omega_R1-x).^2+(y_chi_Omega_R1-y).^2);204rho_R2=sqrt((x_chi_Omega_R2-x).^2+(y_chi_Omega_R2-y).^2);rho_L1=sqrt((x_chi_Omega_L1-x).^2+(y_chi_Omega_L1-y).^2);rho_L2=sqrt((x_chi_Omega_L2-x).^2+(y_chi_Omega_L2-y).^2);figuresubplot(2,2,1)plot(beta*180/pi,rho_R1)grid onxlabel('\beta,\circ');ylabel('\rho_{R1},мм')subplot(2,2,2)plot(beta*180/pi,rho_R2)grid onxlabel('\beta,\circ');ylabel('\rho_{R2},мм')subplot(2,2,3)plot(beta*180/pi,rho_L1)grid onxlabel('\beta,\circ');ylabel('\rho_{L1},мм')subplot(2,2,4)plot(beta*180/pi,rho_L2)grid onxlabel('\beta,\circ');ylabel('\rho_{L2},мм')% Вычисление угла направленности (угол распыления)phi_R1=acos((-sin(theta_R).*(x-x_chi_Omega_R1)+cos(theta_R).*(yy_chi_Omega_R1))./sqrt((x-x_chi_Omega_R1).^2+(y-y_chi_Omega_R1).^2));phi_R2=acos((-sin(theta_R).*(x-x_chi_Omega_R2)+cos(theta_R).*(yy_chi_Omega_R2))./sqrt((x-x_chi_Omega_R2).^2+(y-y_chi_Omega_R2).^2));phi_L1=acos((sin(theta_L).*(x-x_chi_Omega_L1)+cos(theta_L).*(yy_chi_Omega_L1))./sqrt((x-x_chi_Omega_L1).^2+(y-y_chi_Omega_L1).^2));phi_L2=acos((sin(theta_L).*(x-x_chi_Omega_L2)+cos(theta_L).*(yy_chi_Omega_L2))./sqrt((x-x_chi_Omega_L2).^2+(y-y_chi_Omega_L2).^2));figuresubplot(2,2,1)plot(beta*180/pi,phi_R1*180/pi)grid onxlabel('\beta,\circ');ylabel('\phi_{R1},\circ')subplot(2,2,2)plot(beta*180/pi,phi_R2*180/pi)grid onxlabel('\beta,\circ');ylabel('\phi_{R2},\circ')subplot(2,2,3)plot(beta*180/pi,phi_L1*180/pi)grid onxlabel('\beta,\circ');ylabel('\phi_{L1},\circ')subplot(2,2,4)plot(beta*180/pi,phi_L2*180/pi)grid onxlabel('\beta,\circ');ylabel('\phi_{L2},\circ')% Вычисление угла падения (угол конденсации)eps_R1=acos(((x0-xz).*(x_chi_Omega_R1-x)+(y0-yz).*(y_chi_Omega_R1y))./(sqrt((x0-xz).^2+(y0-yz).^2).*sqrt((x_chi_Omega_R1x).^2+(y_chi_Omega_R1-y).^2)));205eps_R2=acos(((x0-xz).*(x_chi_Omega_R2-x)+(y0-yz).*(y_chi_Omega_R2y))./(sqrt((x0-xz).^2+(y0-yz).^2).*sqrt((x_chi_Omega_R2x).^2+(y_chi_Omega_R2-y).^2)));eps_L1=acos(((x0-xz).*(x_chi_Omega_L1-x)+(y0-yz).*(y_chi_Omega_L1y))./(sqrt((x0-xz).^2+(y0-yz).^2).*sqrt((x_chi_Omega_L1x).^2+(y_chi_Omega_L1-y).^2)));eps_L2=acos(((x0-xz).*(x_chi_Omega_L2-x)+(y0-yz).*(y_chi_Omega_L2y))./(sqrt((x0-xz).^2+(y0-yz).^2).*sqrt((x_chi_Omega_L2x).^2+(y_chi_Omega_L2-y).^2)));figuresubplot(2,2,1)plot(beta*180/pi,eps_R1*180/pi)grid onxlabel('\beta,\circ');ylabel('\epsilon_{R1},\circ')subplot(2,2,2)plot(beta*180/pi,eps_R2*180/pi)grid onxlabel('\beta,\circ');ylabel('\epsilon_{R2},\circ')subplot(2,2,3)plot(beta*180/pi,eps_L1*180/pi)grid onxlabel('\beta,\circ');ylabel('\epsilon_{L1},\circ')subplot(2,2,4)plot(beta*180/pi,eps_L2*180/pi)grid onxlabel('\beta,\circ');ylabel('\epsilon_{L2},\circ')% Скорость напыленияDelta_xi_R1=kR*hmR.*cos(phi_R1).*cos(eps_R1)./(rho_R1).^2;Delta_xi_R2=kR*hmR.*cos(phi_R2).*cos(eps_R2)./(rho_R2).^2;Delta_xi_L1=kL*hmL.*cos(phi_L1).*cos(eps_L1)./(rho_L1).^2;Delta_xi_L2=kL*hmL.*cos(phi_L2).*cos(eps_L2)./(rho_L2).^2;figuresubplot(2,2,1)plot(beta*180/pi,Delta_xi_R1)grid onxlabel('\beta,\circ');ylabel('\Delta\xi_{R1}')subplot(2,2,2)plot(beta*180/pi,Delta_xi_R2)grid onxlabel('\beta,\circ');ylabel('\Delta\xi_{R2}')subplot(2,2,3)plot(beta*180/pi,Delta_xi_L1)grid onxlabel('\beta,\circ');ylabel('\Delta\xi_{L1}')subplot(2,2,4)plot(beta*180/pi,Delta_xi_L2)grid onxlabel('\beta,\circ');ylabel('\Delta\xi_{L2}')ОТЗЫВнаучного руководителя на диссертационную работу Шишлова АндреяВладимировича «Технологическое обеспечение равномерности покрытий длядеталей гироскопических приборов на установках магнетронного напыления»,представленную на соискание ученой степени кандидата технических наук поспециальности 05.11.14 – Технология приборостроенияШишлов Андрей Владимирович с отличием окончил МГТУ им.Н.Э.Баумана в 2004 году по специальности «Системы и приборы ориентации,стабилизации и навигации» с присвоением квалификации инженера.

Характеристики

Список файлов диссертации

Свежие статьи
Популярно сейчас
Почему делать на заказ в разы дороже, чем купить готовую учебную работу на СтудИзбе? Наши учебные работы продаются каждый год, тогда как большинство заказов выполняются с нуля. Найдите подходящий учебный материал на СтудИзбе!
Ответы на популярные вопросы
Да! Наши авторы собирают и выкладывают те работы, которые сдаются в Вашем учебном заведении ежегодно и уже проверены преподавателями.
Да! У нас любой человек может выложить любую учебную работу и зарабатывать на её продажах! Но каждый учебный материал публикуется только после тщательной проверки администрацией.
Вернём деньги! А если быть более точными, то автору даётся немного времени на исправление, а если не исправит или выйдет время, то вернём деньги в полном объёме!
Да! На равне с готовыми студенческими работами у нас продаются услуги. Цены на услуги видны сразу, то есть Вам нужно только указать параметры и сразу можно оплачивать.
Отзывы студентов
Ставлю 10/10
Все нравится, очень удобный сайт, помогает в учебе. Кроме этого, можно заработать самому, выставляя готовые учебные материалы на продажу здесь. Рейтинги и отзывы на преподавателей очень помогают сориентироваться в начале нового семестра. Спасибо за такую функцию. Ставлю максимальную оценку.
Лучшая платформа для успешной сдачи сессии
Познакомился со СтудИзбой благодаря своему другу, очень нравится интерфейс, количество доступных файлов, цена, в общем, все прекрасно. Даже сам продаю какие-то свои работы.
Студизба ван лав ❤
Очень офигенный сайт для студентов. Много полезных учебных материалов. Пользуюсь студизбой с октября 2021 года. Серьёзных нареканий нет. Хотелось бы, что бы ввели подписочную модель и сделали материалы дешевле 300 рублей в рамках подписки бесплатными.
Отличный сайт
Лично меня всё устраивает - и покупка, и продажа; и цены, и возможность предпросмотра куска файла, и обилие бесплатных файлов (в подборках по авторам, читай, ВУЗам и факультетам). Есть определённые баги, но всё решаемо, да и администраторы реагируют в течение суток.
Маленький отзыв о большом помощнике!
Студизба спасает в те моменты, когда сроки горят, а работ накопилось достаточно. Довольно удобный сайт с простой навигацией и огромным количеством материалов.
Студ. Изба как крупнейший сборник работ для студентов
Тут дофига бывает всего полезного. Печально, что бывают предметы по которым даже одного бесплатного решения нет, но это скорее вопрос к студентам. В остальном всё здорово.
Спасательный островок
Если уже не успеваешь разобраться или застрял на каком-то задание поможет тебе быстро и недорого решить твою проблему.
Всё и так отлично
Всё очень удобно. Особенно круто, что есть система бонусов и можно выводить остатки денег. Очень много качественных бесплатных файлов.
Отзыв о системе "Студизба"
Отличная платформа для распространения работ, востребованных студентами. Хорошо налаженная и качественная работа сайта, огромная база заданий и аудитория.
Отличный помощник
Отличный сайт с кучей полезных файлов, позволяющий найти много методичек / учебников / отзывов о вузах и преподователях.
Отлично помогает студентам в любой момент для решения трудных и незамедлительных задач
Хотелось бы больше конкретной информации о преподавателях. А так в принципе хороший сайт, всегда им пользуюсь и ни разу не было желания прекратить. Хороший сайт для помощи студентам, удобный и приятный интерфейс. Из недостатков можно выделить только отсутствия небольшого количества файлов.
Спасибо за шикарный сайт
Великолепный сайт на котором студент за не большие деньги может найти помощь с дз, проектами курсовыми, лабораторными, а также узнать отзывы на преподавателей и бесплатно скачать пособия.
Популярные преподаватели
Добавляйте материалы
и зарабатывайте!
Продажи идут автоматически
6417
Авторов
на СтудИзбе
307
Средний доход
с одного платного файла
Обучение Подробнее