Разработка и исследование методов проектирования СБИС с учетом результатов моделирования процесса химико-механической планаризации (1025664), страница 6
Текст из файла (страница 6)
Н.Э. Баумана, 2012. С. 251-259.4. Амирханов А.В., Гладких А.А., Макарчук В.В., Пшенников А.Г., Шахнов В.А.Полиномиальная модель химико-механической планаризации в производстве субмикронныхСБИС // Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Серия "Приборостроение". 2012. № 2. С.
20-36.5. Амирханов А.В., Волков С.И., Гладких А.А., Демин С.В., Родионов И.А.,Столяров А.А., Пшенников А.Г. Модификация топологии СБИС с учетомтехнологических ограничений операции химико-механической планаризации //Математическое и компьютерное моделирование систем: теоретические иприкладные аспекты. М.: НИИСИ РАН, 2011. Т. 1. №2. С. 4-10.6. Глушко А.А., Гладких А.А., Зотов С.К.
Алгоритм оптимизации сложнойтопологии элементов СБИС // Математическое и компьютерное моделированиесистем: теоретические и прикладные аспекты. М.: НИИСИ РАН, 2011. Т. 1. №1. С. 4-6.7. Гладких А.А. Анализ повторяемости и точности моделирования операциихимико-механической планаризации слоя двуокиси кремния // 13-я Молодежнаямеждународная научно-техническая конференция «Наукоемкие технологии иинтеллектуальные системы 2011». М.: МГТУ им.
Н.Э. Баумана, 2011. С. 324-338.8. Гладких А.А. Алгоритм расчета локальной плотности заполнения топологиисубмикронных СБИС для оптимального размещение dummy-структур // Сборниктрудов Третьей Всероссийской Школы-семинара студентов, аспирантов и молодыхученых по направлению «Наноинженерия», 2010. М.: МГТУ им. Н.Э.
Баумана,2010. С. 256-267. ISBN 978-5-7038-3453-4.9. Гладких А.А. Временная оптимизация модели ХМП с учетом распределенияскорости планаризации по кремниевой пластине // 12-я Молодежная международнаянаучно-техническая конференция «Наукоемкие технологии и интеллектуальныесистемы 2010». М.: Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010. С. 214-223.10. Гладких А.А. Моделирование процесса химико-механической планаризациидиоксида кремния при формировании межслойной изоляции // Информатика исистемы управления в XXI веке: Сб.
тр. №7 молодых ученых, аспирантов истудентов. М.: МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2009. С. 54-70. ISBN 978-5-7038-3427-5.11. Амирханов А.В., Волков С.И., Гладких А.А., Демин С.В., Родионов И.А.,Столяров А.А. Оптимизация плотности заполнения топологии слоев СБИС,направленная на повышение стабильности технологического процесса химикомеханической планаризации // Математическое и компьютерное моделированиесистем: теоретические и прикладные аспекты.
М.: НИИСИ РАН, 2009. С. 50-55.12. Гладких А.А. Использование методов коррекции оптического эффектаблизости для оптимизации топологии ячейки памяти // Сб. тр. первойВсероссийской Школы-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых понаправлению «Наноинженерия». М.: МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2008. С. 220-225.22.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
