Отзыв официального оппонента 1 (1024886)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

тока и теплового потока на катод из разряда, в результате чего происходит его ускоренный нагрев и более быстрый переход разряда в дуговую форму. В четвертоЙ главе йзучено влйяййе йзлйчйя поверхностного рельефа йа металлйческом катоде йа потоки бомбардирующих ~а~од чзстнп и интенсивность его распылейия в разряде. В пЯтОЙ главе исслеДОВЗИО влияние неравномерности толтнины диэлектрическоЙ пленки нВ катоде нз ее распьиение в тлеющем разряде.

В качестве йаибОлее викных мо)кнО Отмстить следующие результаты работы; разработана Мод~я~ катодйого слоя тлеющего разряда прй йзлйчйй йа катоде тойкОЙ диэлектрической плейкй, учитывающая, наряду с йоййо-электроййоЙ эмйссйей с поверхности катода, также эмиссию электронов из металлической подложки катода; - показано, что наличие пленки толщиной порядка 1О нм приводит к заметному снижению кзтОдного падения напряжения разряда и, соответственно, к уменьшению энергий бомбарлйрующих катод часпщ и снижению интенсивнОсти его распыления; построена нестзционзрная мОдель разряда у катода с 70нкОЙ ДиэлектрическоЙ пленкой, учитывающая нагрев катода и рабочего газа, которая„кроме ионйо-электронноЙ и полевой эмйссий электронов, учитывает также термическую электронную эмиссию„возникающую при нагреве катода до достаточйо высокоЙ температуры.

показано, что эффективный коэффипиент распыл еййя диэлектрической пленки прййймает минймзльйые зйачеййя на учао~~ах с ее найменьщей тОлщинОЙ, а поток распыленных атОмов с этих участков ймеет найбольщую велйчййу из-за больщей плотйостй бомбардирующего их ионного потока, что долюю приводить к ,'увеличению неравномерности тОлщины пленки в пропессе ее распыления, Полученные В диссертации результаты находятся В хорошем соответствйи с ймекэШимися в йзучной литературе данными экспериментальных исследований, что дает основание сделать вывод об йх достоверйости. Диссертация аккуратно ОфОрмл сна, ВВто реферат правильно ОтраЖЗЕТ Ее СОДЕрЖЗНйЕ.

ПО диссертации мОжнО сделать следунэщие замечания: 1. В 1лзве 3 при расчете теплОВОГО режима катОДВ В тлеюШем рВзрЯДе считается, чтО температура ВО Всем еГО Объеме имеет Одинаковую Величину, чтО может быть справедлиВО лишь при достатОчнО малых размерах электрода. Одйако Оцейка прйменймостй Такого допуШенйя НЕ ПРИВОДИТСЯ. 2. В главах 2 и 3 при расчете вольт-амперйой характеристики разряда Величина кОэффициента ионно-электроннОЙ эмиссии катода считается постоянной, з В Главе 5 учитывается его эавйснмость от приведенной напряженности электрического поля у поверхности катода.

При этом объяснение этого в диссертации отсутствует. 3. В диссертации приведены результаты расчетов телль~~ для случая ~атод~ с пленкОЙ Оксйдз бзрйя йа поверхйостй. Но в Гзэорзэ1эядйых приборах в ~а~~~~~е эмйссйоййого Вешества использувэтся также Оксиды друГих металлОВ, например, алюминия и мзГния. ПОэтому былО бы полезным провести расчеты и для кзтОдОВ с пленками ОксидОВ этих металлОВ и сравнить полученные результат. Одйако этй замечзййя йе йзменявэт сугцественно ОбШувэ 2. Она Является эаконченной научно-каалификапионнОЙ работОЙ, в котороЙ на основе проведенных авторо~и исследований решена акт'/альная на~чная и практическая задача исследования влияния наличия тОнких диэлектрических пленОк и рельефа на пОверхнОсти Хат~да на его вэаигяодейстаие с гаэораэряднОЙ плаэмОЙ; по Степени актуалвности, новиэны, а Также на~"чнОЙ и Пра~~~Ч~~К~Й эначимости полтченных реэ~лвтатов, диссертаннЯ соответствтет требованнЯ~~ «Положения о прнс~ждении ученых степенейа, предъявляемы~ к лиссертапиям нй соискание ученОЙ степени кандидата ФизикО- математических на~'к; 3.

автор диссертации заслуживает пристждения степени кандидата фиэико-гиатейатических наук по спепиалвности 01.04.07 — фиэика конденсированнОго состояния. Официальный оппонент профессор кафедры электронных приборов Федерального государственного бюджетного обраэователвного тчреждения высшего профессионалвного ОбраэоааниЯ «РЯэанский гос~дарственный радиотехнический ~ниаерснтетя, дОктор Фиэико-математических на~к, прОфессОр .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации