Оборудование для выращивания монокристаллического кремния
2020-06-032021-03-09zzyxelСтудИзба
Оборудование для выращивания монокристаллического кремния
Установка состоит из следующих блоков (см. рис.):
- печь, включающая в себя тигель (8), контейнер для поддержки тигля (14), нагреватель (15), источник питания (12), камеру высокотемпературной зоны (6) и изоляцию (3, 16);
- механизм вытягивания кристалла, включающий в себя стержень с затравкой (5), механизм вращения затравки (1) и устройство ее зажима, устройство вращения и подъема тигля (11);
- устройство для управления составом атмосферы (4 - газовый вход, 9 - выхлоп, 10 - вакуумный насос);
- блок управления, состоящий из микропроцессора, датчиков температуры и диаметра растущего слитка (13, 19) и устройств ввода;
- дополнительные устройства: смотровое окно - 17, кожух - 2.