Свойства термических пленок SiO2
2020-06-032021-03-09zzyxelСтудИзба
Свойства термических пленок SiO2
Основными контролируемыми параметрами пленок являются: коэффициент преломления, химический состав пленки, пористость, плотность, скорость травления, напряженность поля пробоя. Значения некоторых типичных характеристик термических пленок SiO2 приведены в таблице:
| Параметр | Значение параметра |
| Плотность, г/см3 | 2,2 |
| Показатель преломления | 1,46 |
| Диэлектрическая постоянная | 3,82 |
Рекомендуемые материалыТехническое задание FREE Маран Программная инженерия -52% Изучение зависимости между структурой и свойствами сплавов железа с углеродом и чугунов -76% Химические свойства d-металлов (Mn,Cu,Fe,Co) FREE Расчёт режимов нанесения тонких плёнок в вакууме и параметры оборудования Синтез, свойства, применение наносфер оксида титана Ширина запрещенной зоны, эВ | 8,9 |
| Удельное сопротивление постоянному току при T = 25 °С, Ом·см | 1014-1016 |
| Скорость травления в буферном растворе HF, нм/мин | 100 |
| Бесплатная лекция: "33 Классификация систем массового обслуживания" также доступна. Линия ИК поглощения, мкм | 9,3 |
| Коэффициент теплового расширения, С-1 | 5·10-7 |
| Механические напряжения в окисле, дин/см2 | 3·109 |
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
