Сравнение методов осаждения пленок в микроэлектронике
2020-06-032021-03-09zzyxelСтудИзба
Сравнение различных методов осаждения пленок
В следующей таблице представлен сравнительный анализ методов осаждения из парогазовой смеси и плазмохимического осаждения.
| Методы осаждения из парогазовой смеси | Плазмохимическ. осаждение | |||
| Атмосферное давление | Пониженное давление | |||
| Низкие температуры | Высокие температуры | |||
| Температура, °C | 300-500 | Рекомендуемые материалыFREE Маран Программная инженерия Техническое задание -34% ЛЮБАЯ практика в Синергии! -11% ВКР в Синергии. Помощь под ключ! -16% ЛЮБАЯ практика в Синергии! Помощь под ключ -20% Помощь с любой практикой в МТИ! 300-500 | 500-900 | 100-350 |
| Материалы | SiO2 | SiO2 | поликремний, SiO2, Si3N4 | SiNx, SiO2 |
| Назначение | Пассивиров., | Пассивиров., | Пассивиров., | Пассивирование, изоляция |
| Производительн. | Высокая | Высокая | Высокая | Низкая |
| Воспроизводим. | Плохое | Плохое | Конформное | Плохое |
| Наличие пылевидных частиц | Много | Мало | Мало | Лекция "Процесс воспроизводства культуры" также может быть Вам полезна. Много |
| Качество пленок | Удовл. | Удовл. | Высокое | Низкое |
