Оценка параметров эпитаксиальных структур
2020-06-032021-03-09zzyxelСтудИзба
Оценка параметров эпитаксиальных структур
- Толщина и удельное сопротивление - проводят путем непосредственных измерений.
- Толщина - с помощью ИК-спектроскопии.
- Удельное сопротивление
- измерение поверхностного сопротивления
- измерение сопротивления растекания
- исследование зависимости емкости p-n перехода от напряжения
- Оценка качества поверхности и совершенства структуры.
- Исследование времени жизни неосновных носителей.