Общий обзор методов
Общий обзор методов
Можно выделить четыре направления применения экспериментальных методов для решения проблем, связанных с технологией изготовления СБИС:
- исследование морфологии
- электрическое топографирование с целью локализации участков повышенных токов утечки и мест возможного пробоя
- химический анализ
- изучение кристаллографической структуры и механических свойств
Методы, используемые для решения каждой из этих задач, представлены в табл.1. Символом X помечены ситуации, при которых данный метод является главным источником информации, необходимой для решения конкретной задачи, символом (X) - ситуации, при которых для решения задачи требуется применение специального дополнительного оборудования.
Ряд методов, представленных в табл. 1, основан на облучении образца пучком рентгеновских лучей пли электронов и анализе вторичного излучения. Характеристики таких методов, включая типичные интервалы энергий первичного и вторичного излучений, приведены в табл. 2.
Метод | Аббревиатура | Исследован. | Химическ. | Исследование | Электрич. | |
Рекомендуемые материалыFREE Маран Программная инженерия Техническое задание -68% Расчет на прочность. Общий случай напряженного состояния -42% Расчет на прочность. Общий случай напряженного состояния -42% Расчет на прочность. Общий случай напряженного состояния -42% Расчет на прочность. Общий случай напряженного состояния рус. | англ. | |||||
Электронная | ЭОС | AES | X | |||
Растровая | РЭМНТ | EBIC | X | |||
Лазерное | ЛО | LR | X | |||
Нейтронно- | НАА | NAA | X | |||
Оптическая | X | |||||
Обратное | ОРР | RBS | X | (X) | ||
Растровая | РЭМ | SEM | X | (X) | (X) | |
Масс-спектроскопия | МСВИ | SIMS | X | |||
Электронография | ЭНП | TED | X | |||
Просвечивающая | ПЭМ | TEM | X | (X) | X | (X) |
Растровая | РЭМПК | VC | X | |||
Рентгеновская | РД | XRD | X | |||
Рентгеновский | РМА | XES | X | |||
Рентгеновский | РФА | XRF | X | |||
Рентгеновская | РФЭС | XPS, | X |
Таблица 1. |
Первичное излучение | Вторичное излучение | |||||
Вид излучения | Энергия | Электроны | Рентгеновские лучи | |||
Вид | Энергия, эВ | Метод | Энергия, эВ | Метод | ||
Электроны | 2 - 10 | Оже | 20-2000 | ЭОС | ||
2 - 40 | < 10 | РЭМПК | ||||
2 - 40 | Обратнорас- | < E0 | РЭМ (ОРР) | |||
20 - 200 | < E0 | РМА | ||||
Рентгеновские лучи | < 2 | Первично | 20-2000 | Люди также интересуются этой лекцией: 3. Земля как планета.. РФЭС | ||
< 50 | < E0 | РФА |
Таблица 2. |
Исследование морфологии пленок