Свойства термических пленок SiO2
2020-06-032021-03-09zzyxelСтудИзба
Свойства термических пленок SiO2
Основными контролируемыми параметрами пленок являются: коэффициент преломления, химический состав пленки, пористость, плотность, скорость травления, напряженность поля пробоя. Значения некоторых типичных характеристик термических пленок SiO2 приведены в таблице: