Растровая электронная микроскопия
Растровая электронная микроскопия
Растровый электронный микроскоп позволяет получать информацию о химическом составе вещества при условии использования приставки для рентгеновской спектрометрии. Растровый микроскоп, специально приспособленный для количественного химического анализа, называют электронным зондом и применяют в рентгеновском микроанализе.
Суть метода. Электроны ускоряются до энергии 2-40 кэВ, а затем с помощью набора магнитных линз и катушек формируются в электронный пучок. Пучок разворачивается в растр на поверхности образца, формируя изображение сканируемой поверхности.
Яркость отдельных наблюдаемых элементов определяется изменениями интенсивности вторичных или отраженных электронов. Интенсивность излучения зависит от толщины образца или пленки, порядкового номера материала образца и радиуса кривизны поверхности образца.
Преимущества данного метода:
- высокое пространственное разрешение < 10 нм,
- глубина резкости.
При облучении формируется три типа излучения, несущих полезную информацию о химическом составе вещества:
- рентгеновские лучи,
- вторичные электроны,
- отраженные электроны.
Формируется изображение поверхности образца, яркость отдельных элементов которого определяется изменениями интенсивности вторичных или отраженных электронов.
Недостатки данного метода:
- загрязнение образца из-за поляризации органических соединений во время облучения,
- радиационные повреждения,
- изменение поверхности во время исследования (возникновение положительного заряда в окислах).
