Курсовая работа: Установка вакуумного напыления УВН-1
Описание
Установка вакуумного напыления УВН-1
г. Москва 2015
Аннотация
Курсовой проект содержит 6 графических листов, выполненных в программе Компас-3D V15.2. Расчетно-пояснительная записка выполнена в Microsoft Word 2013, содержит 26 листов и 17 рисунков, 1 таблицы. В проекте разработана система управления установкой и процессная модель вакуумного нанесения тонких пленок методом магнетронного распыления.
1-ой и 2-ий листы содержат комбинированную функциональную схему установки с указанием всех энергетических и управляющих сигналов и перечнем всех элементов.
3-ий и 4-ый листы содержат алгоритм работы установки, разбитый на подпроцессы
На 5-ом листе представлена монтажная электрическая схема соединений САУ.
На 6-ом листе представлен интерфейс программы управления установкой.
Содержание
2.1 Описание процессной модели и целевых параметров. 6
2.3 Функции коррекции цели. 10
3 Описание комплексной принципиальной схемы.. 11
4 ТЗ и ТП на САУ установкой. 13
4.1 Общие требования к алгоритму управления. 13
5 Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ.. 16
5.2 ТЗ на элементы вакуумной системы.. 19
5.3 ТЗ на силовой модуль и источники питания. 23
Список используемой литературы.. 26
Установка вакуумного УВН-1 предназначена для проведения лабораторных работ по нанесению тонких пленок 3 различными методами: дуговым, термическим и магнетронным.
Цель курсового проекта: разработка процессной модели автоматического магнетронного напыления, составление ТЗ на подбор электронных компонентов оборудования САУ, подбор данных компонентов, разработка принципиальной комплексной, принципиальной электрической схем. Создание интерфейса взаимодействия установки с оператором.
Механический интерфейс спроектированной установки включает в себя:
- Клапан-бабочка VAT Series 612 Ду63 (61236-PAGC)
- Угловой клапан VAT 26428
- Пропорциональный клапан напуска газа Aalborg TD1293
- Насос спиральный Edwards xDS10i
- Насос турбомолекулярный Edwards eXT 75
- Мотор-редуктор
- Нагреватель
К энергетическому интерфейсу относятся:
- Контроллер турбомолекулярного насоса и вакуумметров Edwards TIC
- Блоки питания клапанов
- Программируемый логический контроллер Advantech ADAM 5510
- Источник питания постоянного тока TruPlasma Bias 3003
Процессная модель данного проекта разрабатывалась по теме «Автоматизированное магнетронное напыление». Перед разработкой процессной модели необходимо разобраться какие процессы необходимо инициализировать при магнетронном распылении. Алгоритмы работы установки представлены на 3-4 листах курсового проекта
Процессы, используемые при магнетронном напылении:
- Старт откачки
- Поддержание вакуума
- Напуск рабочего газа в камеру
- Поддержание заданного давления распыления
- Включение источника питания магнетрона
- Напыление
- Стоп напыление
Характеристики курсовой работы
Список файлов
- Установка вакуумного напыления УВН-1
- Задание.doc 30,5 Kb
- Защита.ppt 17,05 Mb
- Лист (1).cdw 254,95 Kb
- Лист (1).jpg 1,04 Mb
- Лист (1).pdf 172,95 Kb
- Лист (1).png 1,37 Mb
- Лист (2).cdw 254,31 Kb
- Лист (2).jpg 3,69 Mb
- Лист (2).pdf 121,84 Kb
- Лист (3).cdw 332,27 Kb
- Лист (3).jpg 5,85 Mb
- Лист (3).pdf 100,82 Kb
- Лист (4).cdw 643,87 Kb
- Лист (4).jpg 1,88 Mb
- Лист (4).pdf 226,59 Kb
- Лист (5).cdw 90,18 Kb
- Лист (5).pdf 346,92 Kb
- Презентация.ppt 4,78 Mb
- Прочти меня.txt 141 b
- САУ.docx 5,01 Mb
Начать зарабатывать