Курсовая работа: Автоматизированная установка вакуумного напыления
Описание
Чертежи в PDF
Установка вакуумного напыления УВН-1
г. Москва, 2014
Аннотация
Курсовой проект содержит 6 графических листов, выполненных в программе Компас-3D V13. Расчетно-пояснительная записка выполнена в Microsoft Word 2010, содержит 26 листов и 17 рисунков, 1 таблицы. В проекте разработана система автоматического управления установкой и процессная модель вакуумного нанесения тонких пленок методом магнетронного распыления.
1-ой и 2-ий листы содержат содержат комбинированную функциональную схему установки с указанием всех энергетических и управляющих сигналов и перечнем всех элементов.
3-ий и 4-ый листы содержат алгоритм работы установки, разбитый на подпроцессы
На 5-ом листе представлена монтажная электрическая схема соединений САУ.
На 6-ом листе представлен интерфейс программы управления установкой.
Содержание
2.1 Описание процессной модели и целевых параметров. 5
3 Описание комплексной принципиальной схемы.. 10
4 ТЗ и ТП на САУ установкой. 12
4.1 Общие требования к алгоритму управления. 12
5 Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ.. 16
2.2. ТЗ на элементы вакуумной системы.. 19
2.3. ТЗ на силовой модуль и источники питания. 23
Список используемой литературы.. 26
Установка вакуумного УВН-1 предназначена для проведения лабораторных работ по нанесению тонких пленок 3 различными методами: дуговым, термическим и магнетронным.
Цель курсового проекта: разработка процессной модели автоматического магнетронного напыления, составление ТЗ на подбор электронных компонентов оборудования САУ, подбор данных компонентов, разработка принципиальной комплексной, принципиальной электрической схем. Создание интерфейса взаимодействия установки с оператором.
Механический интерфейс спроектированной установки включает в себя:
- Клапан-бабочка VAT Series 612 Ду63 (61236-PAGC)
- Угловой клапан VAT 26428
- Пропорциональный клапан напуска газа Aalborg TD1293
- Насос спиральный Edwards xDS10i
- Насос турбомолекулярный Edwards eXT 75
- Шаговый двигатель
К энергетическому интерфейсу относятся:
- Контроллер турбомолекулярного насоса и вакуумметров Edwards TIC
- Блоки питания клапанов
- Контроллер шагового двигателя
- Программируемый логический контроллер Advantech ADAM 5510
- Источник питания постоянного тока TruPlasma Bias 3003
Характеристики курсовой работы
Список файлов
- Автоматизированная установка вакуумного напыления
- Thumbs.db 11 Kb
- Автоматизированная установка вакуумного напыления.pptx 3,04 Mb
- Задание.docx 20,57 Kb
- Лист (1).pdf 1,17 Mb
- Лист (2).pdf 76,01 Kb
- Лист (3).pdf 41,99 Kb
- Лист (4).pdf 189,67 Kb
- Лист (5).pdf 212,63 Kb
- Пояснительная записка.docx 4,32 Mb
- Прочти меня.txt 141 b
- презентэйшн
- Лист (1).bmp 20,49 Mb
- Лист (1).jpg 949,19 Kb
- Лист (2).bmp 20,49 Mb
- Лист (2).jpg 750,83 Kb
- Лист (3).jpg 386,27 Kb
Начать зарабатывать
zzyxel
