Курсовая работа: САУ асинхронным двигателем установки вакуумного нанесения оптических покрытий Veeco Spector

Расчетно-пояснительная записка

по курсовому проекту

«Разработка системы автоматизированного управления асинхронным двигателем установки вакуумного нанесения оптических покрытий Veeco Spector »

Москва 2007г.

Реферат

к курсовому проекту

Проектирование автоматизированного оборудования.

Графические работы в объеме 5 листов выполнены на ПК с помощью программ Kompas 3DV8. Записка выполнена с использованием среды Word.

Целью проекта является изучение конструкции установки, составление сборочных чертежей некоторых её узлов, разработка конструкции оснастки для крепления обрабатываемых образцов различных типоразмеров.

Проведен анализ возможных вариантов оснастки.

Проведены расчеты проектируемой оснастки. Проработана конструкция выбранного варианта. Выполнены сборочные чертеж нового узла и рабочие чертежи некоторых деталей.

Оглавление

Задание не проект…………………………………………………………….....1

Реферат…………………………………………………………………………...2

Оглавление………………………………………………………………………3

Техническое задание на проектируемый объект с указанием его

основных требуемых параметров…………………………………………….4

1. Введение………………………………………………………………………..5

2. Описание установки………………………………………………………....6

2.1. Технические характеристики………………………………………....6

2.2. Состав установки……………………………………………………...8

2.3. Описание установки…………………………………………………..8

2.3.1. Вакуумная система………………………………………………….8

2.3.2. Вакуумная камера и оборудование………….……………………9

2.3.3. Система управления………………………………………………..11

2.3.4. Газовая система…………………………………………...………...12

2.3.5. Система охлаждения……………………………………………….13

3. Анализ и выбор оснастки…….………………….………………………….14

4. Расчеты………………………………………………………………………...18

4.1. Проверочный расчёт толщины стенок вакуумной камеры на прочность…………………………………….……………………………..18

4.2. Расчёт диска на предельный дисбаланс…………………………....20

5. Выводы………………………………………………………………………..23

Список литературы………………………………………………………….....24

Приложение1…………………………………………………………………….25

Приложение2…………………………………………………………………….32

Приложение3…………………………………………………………………….34

Техническое задание на проектируемый объект с указанием его

основных требуемых параметров.

Необходимо разработать оснастку, соответствующую следующим требованиям:

• Работа в безмасляном вакууме с минимальным давлением 2*10 Е-8
• Максимальная температура прогрева 220 гр. Цельсия
• Максимальная скорость вращения образцов 1000 об/мин
• Установка различных типоразмеров обрабатываемых образцов

Введение.

В проекте была изучена установка вакуумного нанесения оптических покрытий SPEECTOR Veeco. Был разработан вариант оснастки для крепления обрабатываемых образцов различных типоразмеров. На основании технологического процесса протекающего в установке были выдвинуты требования к разрабатываемому узлу. Проведены необходимые силовые расчеты. Сделаны выводы о результатах проектирования.

2.Описание установки вакуумного нанесения оптических покрытий SPEECTOR Veeco.

Автоматизированная установка SPEECTOR Veeco (в дальнейшем - установка) предназначена для нанесения оптических покрытий на различные образцы.

Установка снабжена SCADA- системой и может использоваться как в лабораторных условиях, так и для промышленного применения в составе единой центральной системы управления производством.

2.1. Технические характеристики.

1. Предельный вакуум 2*10 Е-8 Тор.

2. Время откачки до предельного давления 3,5 часа.

3. Максимальная энергия ионного пучка 1250 эВ.

4. Максимальная температура прогрева 220 гр. Цельсия

5. Сетевой протокол связи TCP/IP

6. Расход рабочих газов: