Для студентов МГТУ им. Н.Э.Баумана 11 семестрa по предмету Системы автоматического управления (САУ) (МТ-11) Установка нанесения фоторезиста методом распыленияУстановка нанесения фоторезиста методом распыления
2017-12-22 СтудИзба

Установка нанесения фоторезиста методом распыления

-12%

Описание

Курсовой проект по САУ, который был выполнен, сдан и защищён в 2014-м году
Чертежи в PDF

Система автоматического управления технологическим оборудованием»


на тему:


«Установка нанесения фоторезиста методом распыления»


2014 год.


Оглавление

РЕФЕРАТ4

Введение5

1 Описание установки6

1.1 Принцип работы установки6

1.2 Принцип построения системы.. 6

1.3 Узел подачи фоторезиста7

2 Описание основных элементов, входящих в состав установки7

2.1 Общие элементы системы.. 7

2.1.1 Электронный датчик положения D-M9PL.. 7

2.1.2 Концевые выключатели8

3 Элементы под управлением CAN-BUS шины.. 9

3.1 Плата HICCO-CAN.. 9

3.2 Плата дискретного контроля9

3.3 Плата дискретного контроля и управления10

3.4 CAN-BUS модули аналогового контроля и управления Profi-Bus RL400, RL420, RL430  12

3.5 Пневматический блок Festo CPV1013

В курсовом проекте данный блок выбран в качестве основного управляющего устройства пневматическими элементами, связанными с перемещениями пневмоцилиндров и подачи газов. 13

3.6 Замыкающий резистор14

4 Элементы шины SinqNet 15

4.1 Плата управления15

4.2 Контроллеры шаговых двигателей Adavanced Motion Controller 15

4.3 Шаговые двигатели19

4.3.1 Шаговый двигатель привода центрифуги К4-0100-10-0119

4.3.2 Шаговый двигатель HDUC-8-1U-CC с энкодером.. 21

4.3.3 Шаговый двигатель 35NT2R82 с энкодером.. 21

4.3.4 Шаговый двигатель DC-S0244-02421

5 Описание процессов работы.. 22

5.1 Инициализация22

5.2 Проверка вакуума23

5.3 Рабочая программа23

5.4 Процесс нанесения в режиме партии24

5.5 Процесс проверки привода24

Заключение26


 
  


РЕФЕРАТ

В данном курсовом проекте рассмотрена система автоматизированного управления узла совмещения установки совмещения и экспонирования печатных плат.

Рассмотрены основные узлы САУ и проведено проектирование принципиальной схемы соединений.

Графическую часть проекта составляют 4 листа, выполненных в среде AutoCad 2013.

Расчетно-пояснительная записка составляет 28 листов, выполненных в среде Microsoft Word 2013. Записка содержит 12 таблиц.

Графическая часть курсового проекта содержит:

  1. Процессную модель установки.
  2. Комплексную принципиальную схему установки.
  3. Таблицы сигналов и элементов.
  4. Схему соединений.



  


1 Описание установки

Функциональная схема представлена на первых двух листах проекта. Сама установка представляет собой высокотехнологическое оборудование для производства МЭМС и интегральных схем. Погрешность нанесения фоторезиста составляет ±3% по толщине слоя фоторезиста. Толщина слоев от 0,5 до 100 мкм. Такая точность обеспечивается за счет использования принципиально нового способа нанесения-распыления, в отличии от традиционного метода центрифугирования. 

Установка состоит 2 основных узлов: 

- Узел подложкодержателя

- Узел подачи фоторезиста


1.1 Принцип работы установки

Оператор устанавливает подложки на специальный подложкодержатель. В зависимости от обрабатываемой пластины подключается устройство по выравниваю (используется в случае стандартных круглых кремниевых пластин). Далее закрывается дверь камеры и оператором запускается рабочая программа.

После установки и выравнивания пластины на подложкодержатель подается вакуум, необходимый для фиксации пластины. Выравниватель убирается. Далее пластина раскручивается до определенной угловой скорости (типовые скорости от 50 до 300 об/мин).

Активируется привод сопла, состоящий из 2 сервоприводов, отвечающих за высоту и скорость перемещения сопла относительно подложки. Высота и скорость задаются оператором в программном обеспечении. Данные параметры отрабатываются отдельно для каждого фоторезиста и типа пластин/изделий.

Из шприца, оборудованного специальным приводом, по линии в сопло подается фоторезист. Параллельно инициируется ультразвуковое сопло, которое позволяет дробить фоторезист на мелкие частицы. После завершения рабочей программы рука с соплом возвращается в исходное положение парковки, пластина на подложкодержателе поднимается, снимается вакуум и оператор извлекает пластину из рабочей камеры.

1.2 Принцип построения системы

Разработанная система строится на основе 2 универсальных шин: CAN-BUS и SinqNet.

Данные схемы обладают гибкостью в настройке и расширении. В любой момент имеется возможность добавления новых элементов и быстрая доработка программного обеспечения системы.

Картинка-подпись

Список файлов в архиве

  • Установка нанесения фоторезиста методом распыления
  • Прочти меня.txt 141 b
  • САУ.docx 1,59 Mb
  • Чертёж (1).pdf 623,46 Kb
  • Чертёж (2).pdf 299,92 Kb
  • Чертёж (3).pdf 431,13 Kb
  • Чертёж (4).pdf 436,45 Kb

Комментарии

Сопутствующие материалы
Дата публикации 22 декабря 2017 в 11:48
Рейтинг -
0
0
0
0
0
Автор zzyxel (4,51 из 5)
Цена 1 200 1 059 руб.
Скидка закончится 02 февраля в 23:59
Покупки 1
Просмотры 124
Размер 3,29 Mb
Безопасность Файл был вручную проверен администрацией в том числе и на вирусы
Поделитесь ссылкой:
Свежие статьи
Популярно сейчас