В год конца света по календарю Майя (2012) был выполнен и сдан данный курсовой проект

Содержание

Содержание. 1

1. Введение. 2

2. Описание процессной модели.. 3

2.1 Деление технологии напыления тонких плёнок методом дугового разряда на процессы.. 3

2.2 Выбор сервисных функций.. 6

2.3 Выбор функций коррекции цели.. 7

3. Техническое задание на программу управления технологическим процессом.. 8

4.Описание комплексной принципиальной схемы... 10

6. Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ.. 11

6.1 ТЗ на элементы САУ.. 11

6.2 ТЗ на элементы вакуумной системы... 13

6.3 ТЗ на силовой модуль и источники питания. 15

7. Расчет и описание принципиальной электрической схемы... 16

Для определения места положения и порядка соединения элементов КПС при сборке или ремонте разработана схема соединений (Лист 4 – «Схема соединений» ). На схеме соединений представлены элементы БЭА и МП и их соединения. 16

8. Заключение. 17

Список литературы.. 18

1. Введение

Производственное оборудование становится всё более автоматизированным во многих сферах его применения. Без управляющей электроники уже не может обойтись ни одна отрасль промышленности, особенно электронное машиностроение, где необходимо управление множеством технологических параметров при высочайшей точности и жестких требованиях к соблюдению технологии.

При конструировании необходимо:

• внимательно изучить и продумать все возможные варианты применения САУ в данной конструкции и выбрать оптимальный вариант, как по цене, так и по сложности изготовления и эксплуатации;
• обеспечить проектируемое оборудование более высоким сроком службы, то есть, чтобы его физическое и моральное старение настало как можно позже (для этого в конструкцию изделия заранее закладывают модули, которые легко можно заменить или доработать).

Рис. 1 – Малогабаритная вакуумная установка модульного типа

Целью данного курсового проекта является автоматизация процессов нанесения тонкопленочных покрытий на малогабаритной вакуумной установке модульного типа, овладение навыками, методами и средствами комплексных разработок электронных компонентов оборудования САУ.

К механическому интерфейсу установки относятся:

• клапана;
• затворы;
• вентиля;

К энергетическому интерфейсу установки относятся:

• блоки питания;
• контроллеры;
• ПК.

Задачи проекта состоят в:

• распределении функций машины между различными компонентами и обоснование этих функций;
• постановке четких технических заданий перед разработчиками отдельных компонентов;
• выполнении технической документации на электронные компоненты.

Курсовой проект выполнен в объеме 5 листов А1 и расчетно-пояснительной записки. На первом листе приведены алгоритм протекания процессов работы установки, таблица процессов (процессная модель). На втором, третьем – комплексная принципиальная схема установки: механика, энергообеспечение, системы автоматического управления. На четвертом листе - принципиальная схема электрических соединений. На пятом листе – общий вид экрана монитора с управляющей программой. В расчетно-пояснительной записке приведены необходимые пояснения и отражены принципы построения СУ установки, даны описания листов проекта.

2. Описание процессной модели

В данном курсовом проекте разработана процессная модель автоматического управления малогабаритной вакуумной установкой модульного типа (см. Лист 1 – «Процессная модель» ).

Перед нанесением тонкопленочного покрытия методом дугового разряда очищенная подложка закрепляется на подложкодержатель внутри камеры установки. Затем производится предварительная откачка камеры до низкого давления, дальнейшая откачка камеры до высокого вакуума (10^-3 Па) и получение покрытия путем распыления углерода, содержащегося в угольных стержнях. В момент начала и в процессе осаждения одновременно с подачей напряжения и тока производится замер давления в камере.

Давление в камере определяется обработкой сигналов ac_WRG от вакуумметра WRG