Курсовая работа: Малогабаритная вакуумная лабораторная технологическая установка
Описание
РАСЧЕТНО-ПОЯСНИТЕЛЬНАЯ ЗАПИСКА
к курсовому проекту
«Системы автоматического управления технологического оборудования »
на тему:
«Малогабаритная вакуумная технологическая установка»
Москва, 2012г
ЗАДАНИЕ
на курсовой проект по курсу «Основы проектирования систем автоматического управления оборудования электронных технологий».
Тема проекта: Малогабаритная вакуумная технологическая установка
1. Проработать описание работы машины, выбрать и обосновать состав его основных целевых функций, сервисных функций, функций коррекции цели.
2. Разработать комплексную принципиальную схему, как совокупность системы целевых механизмов, системы их энергообеспечения и системы управления, связанных материальными, энергетическими и информационными потоками.
3. Описать механический, энергетический и информационный интерфейс компонентов машины. Дать техническое задание и техническое предложение на САУ и основные элементы машины.
4. Разработать принципиальную электрическую схему элемента САУ или САУ в целом.
Содержание графической части.
- Процессная модель машины..................................................1 л.
- Комплексная принципиальная схема....................................2 л.
- Принципиальная электрическая схема..................................1 л.
Содержание расчетно-пояснительной записки.
- Введение. Описание целевого, механического и энергетического интерфейса спроектированной технологической машины.
- Описание процессной модели. Выбор и обоснование целевых, сервисных функций, и функций коррекции цели.
- Техническое задание и техническое предложение на систему управления машины по приведенной в Приложении 1 форме.
- Описание комплексной принципиальной схемы ФС. Обоснование структурно-компоновочного решения, выбор и согласование уровней потоков элементов.
- Документы, сопровождающие комплексную принципиальную схему:
- перечень элементов ПЭ;
- перечень потоков и сигналов ПС;
- технические задания на основные подсистемы и узлы машины ТЗ.
- Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ, описание целевого, механического, энергетического и информационного интерфейса этих элементов ОЭ.
- Расчет и описание принципиальной электрической схемы.
- Заключение.
Реферат
к расчетно-пояснительной записке по курсовому проекту:
Системы автоматического управления технологического оборудования
Записка содержит 28 страниц, 28 рисунков.
Ключевые слова:
МАЛОГАБАРИТНАЯ, ВАКУУМНАЯ, ЛАБОРАТОРНАЯ, ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЕ, ВЧ МАГНЕТРОН, ИСТОЧНИК ИОНОВ
Графические работы в объеме 5 листов А1 выполнены на ПК с помощью программы AutoCAD Mechanical 2012.
Записка выполнена с использованием среды Word.
Целью данного курсового проекта является разработка системы автоматического управления малогабаритной лабораторной установкой.
Задачей проекта является закрепление знаний и умений, полученных в лекционных курсах, а также приобретение навыков разработки структуры машины, как перечня подсистем и элементов машины, способа их объединения в систему и способа взаимодействия.
Курсовой проект содержит следующие подразделы:
1) Комплексная принципиальная схема (КПС) установки, включающая разработку КПС механической части, КПС системы питания и управления.
2) Процессная модель.
Проведен необходимый анализ подсистем установки, разработан алгоритм рабочего цикла установки.
Содержание
1 Введение. Описание установки..……………………………………………………………..5
2 Процессная модель установки………………………………………………………………..8
3 Описание элементов установки……………………………………………………………..17
4 Система электропитания и управления……………………………………………………..25
5 Мнемосхема…………………………………………………………………………………...26
Заключение……………………………………………………………………………………...27
Список литературы……………………………………………………………………………..28
1. Введение
Вакуумная малогабаритная лабораторная установки сконструирована на кафедре «Электронные технологии в машиностроении» МГТУ им. Н.Э. Баумана. Отличительной чертой данной установки является стеклянная цилиндрическая вакуумная камера обеспечивающая наглядность всех проводимых лабораторных работ, а также особая конфигурация основания вакуумной камеры, за счет которой установка имеет большое количество разъемов для подключения технологических источников при малых габаритах системы. Радиальное расположение позволяет использовать все источники в едином вакуумном цикле. Установка имеет в своем составе автономный источник ионов (АИИ), нейтрализатор поверхностного заряда ионного пучка, магнетрон, электронно-лучевой испаритель. Такая конфигурация системы позволяет получать многослойные тонкопленочные покрытия высокого качества с применением ионного ассистирования. Для высоковакуумной откачки используется турбомолекулярный насос nEXT 240D компании Edwards (Великобритания). Дросселирование откачки не предусмотрено. Контроль напуска рабочего газа осуществляется регуляторами расхода газа на 50 и 20 стандартных мл в минуту производства Bronkhorst. Управление вращением заслонки и подложкодержателя выполняется сервоприводами.
Рис. 1. Вакуумная малогабаритная лабораторная установка
Для размещения всех технологических источников предусмотрены следующие разъемы:
Нижний фланец вакуумной камеры:
- DN63 ISO-KF (2шт.) – источник ионов, магнетрон;
- DN50 ISO-KF (1 шт.) – ввод вращения для привода заслонки;
- DN25 ISO-KF (2 шт.) – нейтрализатор источника ионов и порт подачи газа;
- Фасонное отверстие, которое служит «окном» электронно-лучевого испарителя и одновременно отверстием патрубка откачной системы;
Верхний фланец вакуумной камеры:
Характеристики курсовой работы
Список файлов
- Малогабаритная вакуумная лабораторная технологическая установка
- Презентация.pptx 2,38 Mb
- Прочти меня.txt 141 b
- РПЗ.docx 3,76 Mb
- Чертежи.dwg 640,12 Kb
Начать зарабатывать