Курсовая работа: Малогабаритная вакуумная установка реактивно-ионного травления
Описание
«Системы автоматического управления технологического оборудования »
на тему:
«Установка Реактивно-ионного травления МВУ РИТ150»
Москва, 2011 г.
Введение. 5
1 Описание процессной модели установки. 7
1.1 Откачка рабочей камеры. 7
1.2 Напуск рабочего газа. 8
1.3 Регулирование потока газонатекания. 8
1.4 Процесс травления. 8
1.5 Процесс завершения работы установки. 9
1.6 Процесс аварийного отключения. 9
1.6 Таблица процессов. 9
1.7 Выбор сервисных функций. 10
1.8 Выбор функций коррекции цели. 11
1.9 Программа управления технологическим процессом. 11
2 Функциональная схема установки. 13
2.1 Система питания и энергообеспечения. 16
3 Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ 20
3.1 Контроллер PLC.. 20
3.2 Исполнительные элементы.. 21
3.3 Источники питания. 27
4 Электрическая схема соединений. 28
Заключение. 29
Литература. 30
Реферат
В курсе разработка системы автоматического управления была разработана система автоматического управления установки реактивно ионного травления.
Графическую часть проекта составляют 5 листов формата A1, выполненных в среде 2D/3D компьютерного моделирования AutodeskAutoCad 2010 и AdobeIllustratorCS5.
Расчетно-пояснительная записка выполнена в среде MicrosoftWord 2007 и содержит 30 страниц, 4 таблиц и 13 рисунков.
Целью данного курсового проекта является овладение навыками, методами и средствами комплексных разработок механических и электронных компонентов оборудования САУ, а также правилами и методами составления технического задания на программное обеспечение САУ.
Введение
В курсовом проекте была проведена автоматизация установки МВУ РИТ. В ходе работы была разработана комплексная принципиальная схема, процессная модель установки, а так же была разработана схема соединений.
Установки предназначена для травления тонких диэлектрических (SiO2, Si3N4) и металлических слоев (Мо, Ta, W и др.), а также Si, для проведения научных исследований, отработки технологических процессов и мелкосерийного производства.
Рис. 1. МВУ РИТ
1 –– газовый блок; 2 –– рабочая камера; 3 –– шкаф управления; 4 –– крепление газового блока; 5 ––рама; 6 –– монитор; 7 –– насос пластинчато-роторный; 8 –– плита.
Технические характеристики:
·Диаметр пластин - 60÷150 мм
·Количество одновременно загружаемых пластин: Ø 150 – 1шт;Ø 100 – 1шт;Ø 75 – 2шт;Ø 60 – 4шт.
·Технологические газы – SF6, СF4, C3F8, O2, Ar.
·Остаточное давление в камере реактора, не хуже, 5*10-3 мм.рт.ст.
·Регулируемое натекание рабочих газов в объем реактора в диапазоне расходов, 0,36÷9л/час.
·Рабочее давление в реакторе поддерживается в диапазоне, 2·10-2÷8·10-2 мм.рт.ст.
·Мощность ВЧ генератора в диапазоне, от 30 до 200 Вт (±5%).
Характеристики курсовой работы
Список файлов
- Малогабаритная вакуумная установка реактивно-ионного травления
- List1.jpg 2,27 Mb
- List1.pdf 198,63 Kb
- List2.ai 170,22 Kb
- List2.pdf 167,82 Kb
- List3.jpg 3,58 Mb
- List3.pdf 129,65 Kb
- List4.jpg 1,91 Mb
- List4.pdf 40,27 Kb
- List5.jpg 2,5 Mb
- List5.pdf 198,35 Kb
- Pril
- 264_2VEE.pdf 469,87 Kb
- 426811.pdf 1,31 Mb
- 925cman.pdf 688,44 Kb
- ADAM.pdf 4,89 Mb
- BMD-pasp.pdf 168,67 Kb
- BMD.pdf 235,9 Kb
- Comdel CX600.pdf 5,8 Mb
- S-150-spec.pdf 411,82 Kb
- T-60-spec.pdf 382,9 Kb
- pf2d5.pdf 489,81 Kb
- vxz.pdf 1,16 Mb
- xsa.pdf 124,13 Kb
- Релешка.pdf 619,14 Kb
- ЗАДАНИЕ_.doc 27,5 Kb
- Презентация.ppt 2,49 Mb
- Прочти меня.txt 141 b
- САУ.docx 1,18 Mb
- Чертежи.dwg 344,01 Kb
Начать зарабатывать