Этот курсовой проект по САУ был выполнен и защищён в 2006-м году

Расчетно-пояснительная записка

к курсовому проекту по САУ на тему:

«Система автоматического управления установки травления и напыления тонких пленок в вакууме »

2006

Содержание

Задание на проект….……………………………………………………………2

1. Введение……………………………………………………………………...4

2. Описание процессной модели. Выбор и обоснование целевых, сервисных функций, и функций коррекции цели……………………………………….…6

3. Описание комплексной принципиальной схемы…………………………..11

4. Технические задания на элементы и узлы машины………………………..12

5. Описание принципиальной электрической схемы…………………………19

6.Заключение…………………………………………………………………...24

Список используемых материалов…………………………………………….25

ЗАДАНИЕ

на курсовой проект по системам автоматического управления оборудования электронных технологий.

Тема проекта: Система автоматического управления установки травления и напыления тонких пленок в вакууме.

1. Проработать описание работы машины, выбрать и обосновать состав его основных целевых функций, сервисных функций и функций коррекции цели. Разработать ТЗ на программное обеспечение.

2. Разработать комплексную принципиальную схему, как совокупность системы целевых механизмов, системы их энергообеспечения и системы управления, связанных материальными, энергетическими и информационными потоками.

3. Описать целевой, механический, энергетический и информационный интерфейс компонентов машины. Выбрать стандартные компоненты и поставить технические задания на оригинальные компоненты. Уточнить КПС.

4. Разработать принципиальную электрическую схему оригинального компонента машины.

Содержание графической части.

1. Процессная модель машины..................................................1 л.
2. Комплексная принципиальная схема....................................2 л.
3. Принципиальная электрическая схема.................................1 л.

Содержание расчетно-пояснительной записки.

1. Введение.
2. Описание процессной модели. Выбор и обоснование целевых, сервисных функций и функций коррекции цели. ТЗ на управляющую программу.
3. Описание комплексной принципиальной схемы.
4. Технические задания на оригинальные элементы и узлы машины.
5. Выбор и обоснование стандартных компонентов машины: информационный поиск датчиков и исполнительных элементов, описание целевого, механического, энергетического и информационного интерфейса этих элементов.
6. Расчет и описание принципиальной электрической схемы.
7. Заключение.
8. Источники информации.

1. Введение

Автоматизация различного вида оборудования применяется широкомасштабно не только на производстве, но и для лабораторных исследований. И в том, и в другом случае автоматизация позволяет облегчить работу оператора, сделать процессы управления и контроля более удобными и наглядными, а также существенно повысить точность соблюдения параметров проведения технологических процессов.

При проектировании САУ необходимо внимательно изучить и продумать все возможные варианты применения САУ в данной конструкции с целью выбора оптимального из них по нескольким критериям: степень автоматизации, сложность изготовления и эксплуатации, цена. Также при проектировании следует использовать элементы и модули, которые впоследствии можно будет без особых проблем заменить и доработать. Это несколько удорожает систему в целом на первоначальном этапе, но вполне окупается в процессе эксплуатации, поскольку через несколько лет не придётся полностью заменять систему по причине её полного морального или физического старения.

Целью данного курсового проекта является овладение навыками, методами и средствами комплексных разработок механических и электронных компонентов оборудования САУ.

В задачи проекта входят:

• распределение функций машины между различными компонентами и обоснование этих функций;
• постановка четких технических заданий перед разработчиками отдельных компонентов;
• выполнение технической документации на электронные компоненты.

Для упрощения работы оператора и повышения производительности и качества предложен вариант автоматизированной установки вместо существующей установки с ручным управлением.

Курсовой проект выполнен в объеме 4-х листов А3 и расчетно-пояснительной записки. На первом листе приведены алгоритмы работы установки и таблица процессов. На втором и третьем листах - комплексная принципиальная схема установки : механика, энергообеспечение, системы автоматического и ручного управления. На четвертом листе - принципиальная электрическая схема. В расчетно-пояснительной записке приведены необходимые пояснения и расчеты, отражены принципы построения САУ установки, даны описания листов проекта.

Назначение и описание установки для травления и нанесения покрытий

Данная установка предназначена для нанесения тонких пленок методом магнетронного распыления.

В состав установки входят следующие источники:

Магнетрон на постоянном токе;

Автономный источник ионов.