Курсовая работа: Установка нанесения износостойких покрытий
Описание
Деление технологии на процессы. 4
Описание комплексной принципиальной схемы. 7
Техническое задание на элементы и узлы машины. 8
Блок управления шаговым двигателем. 9
Выбор и обоснование стандартных компонентов машины. 10
Расчет и описание принципиальной электрической схемы... 15
Блок нормализации сигналов (BNS) 15
Блок управления шаговым двигателем(BDV) 19
Описание автоматизированной работы. 19
Требования к управляющей прогремме. 19
Введение.
Целью данного курсового проекта является разработка системы автоматизированного управления лабораторной установкой вакуумного нанесения тонких пленок фирмы BALZERS. Необходимо автоматизировать напуск газовой смеси в рабочую камеру, перемещение образца из одного рабочего положения в другое и установку проводимости откачного патрубка с помощью заслонки.
Курсовой проект выполнен на четырех листах формата А3 и расчетно-пояснительной записки. На первом листе приведены алгоритмы автоматизированных процессов. На втором и третьем листах – комплексно- принципиальная схема установки: механика, вакуумная система, газовая система, энергообеспечение, системы автоматизированного. На четвертом листе - принципиальная электрическая схема. В расчетно-пояснительной записке приведены необходимые пояснения и расчеты, отражены принципы построения СУ установки, даны описания листов проекта.
Описание установки.
Установка предназначена для обработки материалов потоком ионов, формируемых автономным источником ионов с холодным катодом типа «Радикал» и нанесения тонких пленок различных материалов методом реактивного магнетронного распыления.
Рис 1.Вакуумно-кинематическая схема установки
Образец, на который наносится покрытие, располагается на подложкодержателе (поз.3), закрепленном на валу вакуумного манжетного ввода вращения (поз.6), приводимого в движение реверсивным электродвигателем двигателем типа РД-09 (поз.5). Для обеспечения высокой производительности процесса нанесения и заданной неравномерности толщины пленки конструкция подложкодержателя позволяет одновременно обрабатывать в одном вакуумном цикле до 32 образцов. Конструкция подложкодержателя позволяет наносить покрытие на любое количество образцов от 1 до 32.
Нанесение покрытия осуществляется при помощи магнетронной распылительной системы(поз.9). Водоохлаждаемый магнетронный источник позволяет производить распыление материала с мишени ø76 мм.
Ионная обработка поверхностей образца, а также очистка и активация перед нанесением покрытия проводятся потоком ионов аргона, который формируется автономным источником ионов с холодным катодом типа «Радикал» (поз.2).
Для подвода рабочего газа к АИИ и магнетрону используется газовая система. Регулировка потока натекания газа в вакуумную камеру осуществляется натекателями магистрали газоподачи АИИ и магнетрона (V5 и V6). Контроль параметров газовой среды в камере выполняется по общему давлению.
Так же в конструкции предусмотрено изменение скорости откачки камере путем изменения проводимости откачного патрубка заслонкой (поз.31), которая вращается при помощи привода на основе вакуумного ввода вращения (поз.15) и шагового двигателя(поз.14).
Установка построена на базе вакуумной системы «Balzers-350G».
Описание процессной модели.
В данном курсовом проекте разрабатывается процессная модель автоматизированного управления для лабораторной установки нанесения магнетронного тонких пленок в вакууме методом магнетронного распыления, см. лист. «Процессная модель» .
Деление технологии на процессы.
В работе установки можно выделить следующие основные процессы:
1. Загрузка;
3. Форвакуумная откачка (ФВО);
4. Высоковакуумная откачка (ВВО);
5. Напуск рабочей смеси газов;
6. Технологический процесс (ТП);
6.1 Очистка и активация поверхности образца;
6.2 Перемещение образца из зоны очистки в зону нанесения;
6.3 Нанесение тонкой пленки методом магнетроХарактеристики курсовой работы
Список файлов
- Установка нанесения износостойких покрытий
- sau_1.cdw 96,63 Kb
- sau_2.cdw 160,62 Kb
- sau_3.cdw 162,59 Kb
- sau_4.cdw 226,34 Kb
- Задание.doc 25,5 Kb
- Записка.doc 580 Kb
- Прочти меня.txt 141 b
Начать зарабатывать