Курсовая работа: САУ установки плазмохимического осаждения тонких плёнок методом CVD
Описание
РАСЧЕТНО-ПОЯСНИТЕЛЬНАЯ ЗАПИСКА
к курсовому проекту по ОПР САУ
на тему :
СИСТЕМА АВТОМАТИЧЕСКОГО УПРАВЛЕНИЯ УСТАНОВКИ
ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК МЕТОДОМ CVD.
2004г.
ЗАДАНИЕ
на курсовой проект по системам автоматического управления оборудования электронных технологий.
(подпись)
Тема проекта: Система автоматического управления установки плазмохимического осаждения тонких пленок в вакууме.
1. Проработать описание работы машины, выбрать и обосновать состав его основных целевых функций, сервисных функций и функций коррекции цели. Разработать ТЗ на программное обеспечение.
2. Разработать комплексную принципиальную схему, как совокупность системы целевых механизмов, системы их энергообеспечения и системы управления, связанных материальными, энергетическими и информационными потоками.
3. Описать целевой, механический, энергетический и информационный интерфейс компонентов машины. Выбрать стандартные компоненты и поставить технические задания на оригинальные. Уточнить КПС.
4. Разработать принципиальную электрическую схему оригинального компонента машины.
Содержание графической части.
- Процессная модель машины..................................................1 л.
- Комплексная принципиальная схема....................................2 л.
- Принципиальная электрическая схема.................................1 л.
Содержание расчетно-пояснительной записки.
- Введение.
- Описание процессной модели. Выбор и обоснование целевых, сервисных функций и функций коррекции цели. ТЗ на управляющую программу.
- Описание комплексной принципиальной схемы.
- Технические задания на оригинальные элементы и узлы машины.
- Выбор и обоснование стандартных компонентов машины: информационный поиск датчиков и исполнительных элементов, описание целевого, механического, энергетического и информационного интерфейса этих элементов.
- Расчет и описание принципиальной электрической схемы.
- Заключение.
- Источники информации.
1. Введение.
Производственное оборудование становится всё более автоматизированным во многих сферах его применения. Без управляющей электроники уже не может обойтись ни одна отрасль промышленности, особенно электронное машиностроение, где необходимо управление множеством технологических параметров при высочайшей точности и жестких требованиях к соблюдению технологии.
При конструировании необходимо :
- внимательно изучить и продумать все возможные варианты применения САУ в данной конструкции и выбрать оптимальный из этих вариантов, как по цене, так и по сложности изготовления и эксплуатации;
- обеспечить проектируемое оборудование более высоким сроком службы, то есть, чтобы его физическое и моральное старение настало как можно позже (для этого в конструкцию изделия заранее закладывают модули, которые легко можно заменить или доработать).
Целью данного курсового проекта является овладение навыками, методами и средствами комплексных разработок механических и электронных компонентов оборудования САУ.
Задачи проекта состоят в:
- распределении функций машины между различными компонентами и обоснование этих функций;
- постановке четких технических заданий перед разработчиками отдельных компонентов;
- выполнении технической документации на электронные компоненты.
Для упрощения работы оператора и повышения производительности предложен вариант полностью автоматизированной установки вместо существующей установки с ручным управлением.
Курсовой проект выполнен в объеме 4-х листов А3 и расчетно-пояснительной записки. На первом листе приведены алгоритм работы регулятора напряжения разряда и тока термокатода, таблица процессов. На втором и третьем листах - комплексная принципиальная схема установки : механика, энергообеспечение, системы автоматического и ручного управления. На четвертом листе - принципиальная электрическая схема регулятора давления. В расчетно-пояснительной записке приведены необходимые пояснения и расчеты, отражены принципы построения СУ установки, даны описания листов проекта.
2. Описание процессной модели.
В данном курсовом проекте разрабатывается процессная модель автоматического управления для лабораторной установки осаждения нанокомпозитных тонких пленок в вакууме CDV методом и использованием пылевой плазмы(см. лист «Процессная модель» ).
Деление технологии на процессы
В работе установки можно выделить следующие основные процессы:
1. Загрузка подложки и микро частиц;
2. Откачка:
- Механическим насосом;
3. Технологический процесс (ТП):
- Зажигание разряда;
- Напуск рабочих газов;
Начало цикла (повторяется 3 раза)
- Подвешивание объёмного кристалла;
- Поворот подложкодержателя
- Нагрев рабочих газов (Нанесение пленки)
- Поворот подложкодержателя
- Прекращение нагрева
Конец цикла
4. Завершение технологического процесса;
5. Выключение;
6. Выгрузка.
На листе «Процессная модель » приведена подробная последовательность действий при проведении каждого из процессов.
Автоматизируются все процессы кроме загрузки и выгрузки
Характеристики курсовой работы
Список файлов
- САУ установки плазмохимического осаждения тонких плёнок методом CVD
- Лист2CDW.CDW 106,13 Kb
- Лист3.CDW 104,78 Kb
- Прочти меня.txt 141 b
- РПЗ к САУ ..doc 289,5 Kb
- лист11.FRW 172,72 Kb
- лист4.CDW 181,52 Kb
Начать зарабатывать