Вакуумная система установки нанесения тонких пленок

ВУЗ Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана
Семестр 11 семестр
Предмет Системы автоматического управления (САУ) (МТ-11)
Категория Курсовые проекты
Дата 22 декабря 2017 в 09:52 Размер 550,26 Kb
Просмотров 96 Скачиваний 0
Качество Качество не указано Комментариев 0
Рейтинг
0
Автор zzyxel +3653
Цена 800.00 руб. Покупок 0
Жалоб Не было ни одной удовлетворённой жалобы на этот файл.
Файл проверен администрацией в том числе на вирусы с помощью EsetNod32.
Описание файла:
Этот курсовой проект по САУ защищался в 2004-м году

Проект курсовой


На тему: «Вакуумная система установки нанесения тонких пленок

 магнетронным методом»


Расчетно-пояснительная записка


Москва 2004 г.


  

Содержание


  1. Задание на проект……………………………………………………………3
  2. Введение……………………………………………………………………...4
  3. Описание процессной модели. Выбор и обоснование целевых, сервисных функций, и функций коррекции цели………………………………………7
  4. Описание комплексной принципиальной схемы…………………………..14
  5. Технические задания на элементы и узлы машины………………………..16
  6. Описание принципиальной электрической схемы…………………………26
  7. Заключение…………………………………………………………………...29
  8. Список используемых материалов………………………………………….30


Тема проекта:


Многопозиционная установка осаждения тонкопленочных покрытий в вакууме.


  • Проработать описание работы машины, выбрать и обосновать состав ее основных целевых функций, сервисных функций, функций коррекции цели.


2. Разработать комплексную принципиальную схему, как совокупность системы целевых механизмов, системы их энергообеспечения и системы управления, связанных материальными, энергетическими и информационными потоками.


3. Описать механический, энергетический и информационный интерфейс компонентов машины. Составить технические задания на проработку отдельных компонентов.


4. На уровне эскизного и рабочего проекта проработать предложенный компонент САУ.


Содержание графической части.


  • Процессная модель машины                                                                           1 л.
  • Комплексная принципиальная схема

(ресурсная модель)                                                                                           2 л.

  • Принципиальная электрическая…………………………………………….1 л.


Содержание расчетно-пояснительной записки.


  • Введение.
  • Описание процессной модели. Выбор и обоснование целевых, сервисных функций, и функций коррекции цели.
  • Описание комплексной принципиальной схемы.
  • Технические задания на элементы и узлы машины.
  • Описание принципиальной электрической схемы.
  • Заключение.









1. Введение


Автоматизация различного вида оборудования применяется широкомасштабно не только на производстве, но и для лабораторных исследований. И в том, и в другом случае автоматизация позволяет облегчить работу оператора, сделать процессы управления и контроля более удобными и наглядными, а также существенно повысить точность соблюдения параметров проведения технологических процессов.

При проектировании САУ необходимо внимательно изучить и продумать все возможные варианты применения САУ в данной конструкции с целью выбора оптимального из них по нескольким критериям: степень автоматизации, сложность изготовления и эксплуатации, цена. Также при проектировании следует использовать элементы и модули, которые впоследствии можно будет без особых проблем заменить и доработать. Это несколько удорожает систему в целом на первоначальном этапе, но вполне окупается в процессе эксплуатации, поскольку через несколько лет не придётся полностью заменять систему по причине её полного морального или физического старения.

Целью данного курсового проекта является овладение навыками, методами и средствами комплексных разработок механических и электронных компонентов оборудования САУ.

В задачи проекта входят:

  • распределение функций машины между различными компонентами и обоснование этих функций;
  • постановка четких технических заданий перед разработчиками отдельных компонентов;
  • выполнение технической документации на электронные компоненты.


Для упрощения работы оператора и повышения производительности и качества предложен вариант полностью автоматизированной установки вместо существующей установки с ручным управлением.

Курсовой проект выполнен в объеме 4-х листов А3 и расчетно-пояснительной записки. На первом листе приведены алгоритмы работы установки и таблица процессов. На втором и третьем листах - комплексная принципиальная схема установки : механика, энергообеспечение, системы автоматического и ручного управления. На четвертом листе - принципиальная электрическая схема. В расчетно-пояснительной записке приведены необходимые пояснения и расчеты, отражены принципы построения САУ установки, даны описания листов проекта.






Назначение и описание установки для нанесения многослойных покрытий

Данная установка предназначена для нанесения и обработки тонких пленок методами ионного распыления, осаждения дуговым разрядом и ионного осаждения.

В состав установки входят следующие источники:

Магнетрон на постоянном токе;

Дуговой источник;

Автономный источник ионов.


Рис. 1. 1 – рабочая камера; 2 – рама; 3 – диффузионный насос; 4 – механический насос; 5 – азотная ловушка; 6 – затвор 23В9 250; 7 – клапан КВУМ-40; 8 – клапан КВУМ-25; 9 – натекатель; 10 – АИИ; 11 – магнетрон; 12 – ИД; 13 – шкаф управления; 14, 15 – баллоны с рабочими газами.

Установка для нанесения многослойных покрытий имеет технологическую (рабочую) камеру большого объёма. Значительный рабочий объём технологической камеры позволяет обрабатывать образцы больших размеров или обрабатывать несколько образцов одновременно, для чего внутри камеры установлен подложкодржатель, для передачи вращательного движения от двигателя к подложкодержателю и для его поворота на переднем фланце камеры установлены ввод движения в вакуум с сальниковым уплотнением. 

Вакуумная система установки состоит из высоковакуумного диффузионного паромасляного насоса Н-250 с азотной ловушкой и механического насоса НВР-16Д. На форвакуумной магистрали установлен электромагнитный клапан КВУМ-40, на байпасной – КВУМ-25. Диффузионный насос отделён 

Данный файл также доступен в разделе "курсовые/домашние работы", в предмете "системы автоматического управления (сау) (мт-11)" в общих файлах.

Похожие файлы
Развитие глобальной сети Internet
Державна політика регулювання зайнятості: світовий досвід та вітчизняна практика
Материальная культура Москвы в XIV-XV вв.
Дидактичні ігри та їх місце в системі навчальних занять
Дуплексные изображения в Photoshop: взгляд технолога

Для добавления файла нужно быть зарегистрированным пользователем. Зарегистрироваться и авторизоваться можно моментально через социальную сеть "ВКонтакте" по кнопке ниже:

Войти через
или

Вы можете зарегистрироваться стандартным методом и авторизоваться по логину и паролю с помощью формы слева.

Не забывайте, что на публикации файлов можно заработать.