Курсовая работа: Установка пневмоабразивной резки полупроводниковых дисков на кристаллы
Описание
Расчётно-пояснительная записка к курсовому проекту
по курсу: "Системы автоматического управления оборудования электронных технологий ".
на тему:
“Установка пневмо-абразивной резки полупроводниковых пластин на кристаллы”
ЗАДАНИЕ
на курсовой проект по системам автоматического управления оборудования электронных технологий.
Тема проекта: Установка пневмоабразивной резки полупроводниковых пластин на кристаллы.
Содержание.
Введение.
Установка пневмо-абразивной резки предназначена для разделения кремниевых пластин на цилиндрические кристаллы. Кристаллы используются в производстве выпрямительных низкочастотных диодов.
Исходной заготовкой является кремниевая пластина, наклеенная на стеклянную пластину с нанесённым на неё маскирующим покрытием.
Механические свойства кремния ( высокая твёрдость и хрупкость), а также чрезвычайно высокая стоимость пластин из монокристаллического кремния накладывают ряд ограничений на технологию резки.
Исходными заготовками являются пластмассовые кассеты с закреплёнными в них пластинами по ( 5 шт в кассете ). Технический рисунок готового изделия приведён на рис 1.
Штатные состояния.
- Подготовка.
В этом состоянии машина находится после включения электропитания и открытия вентиля, соединяющего установку с пневмосетью. В процессе подготовки производится нагрев абразива и пневмовибрация днища. Оператор устанавливает кассеты с пластинами на транспортёр. По световому сигналу на пульте управления оператор проверяет работоспособность нагревательных элементов. При запуске установки после длительного простоя оператор осуществляет продув пневмовибратора циклона. Все механизмы при этом выключены.
- Продув пневмовибратора.
После длительного простоя установки абразив из-за своей гигроскопичности слипается в крупные комки и способен забить элементы перекачки абразива. Для предотвращения этого перед работой необходимо произвести продув пневмовибратора циклона. Этот процесс выполняется оператором путём подачи в пневмовибратор повышенного давления на несколько секунд. При этом на слух контролируется работа пневмовибратора. Эта процедура производится только вначале работы и повторяь её во время рабочих циклов нет необходимости.
- Холостой ход.
Характеристики курсовой работы
Список файлов
- Установка пневмоабразивной резки полупроводниковых дисков на кристаллы
- 1.dwg 82,01 Kb
- 2.dwg 177,07 Kb
- 3.dwg 59,91 Kb
- 4.dwg 188,31 Kb
- rpz.doc 327,5 Kb
- ЗАДАНИЕ.doc 35 Kb
- Прочти меня.txt 141 b
- кинематическая схема.dwg 159,12 Kb
Начать зарабатывать