СОДЕРЖАНИЕ

АННОТАЦИЯ............................................................................................. 2

ОПИСАНИЕ РАБОТЫ УСТАНОВКИ.................................................... 3

КОМПЛЕКСНАЯ ПРИНЦИПИАЛЬНАЯ СХЕМА................................ 5

1. Комплексная схема установки............................................................ 5

2. Электрическая схема........................................................................... 5

2.1 Основные характеристики платы PCL 711.................................. 6

2.2 Технические данные платы PCL 711.............................................. 6

2.3 Основные характеристики платы РСА-6144S.............................. 7

2.4 Технические данные платы РСА-6144S.......................................... 7

2.5 Блоки питания................................................................................. 8

2.6 Техническое задание на элементы и узлы машины....................... 8

ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ПРИНЦИПИАЛЬНАЯ СХЕМА........................... 13

1. ЭПС управление клапанами........................................................... 13

2. ЭПС управления шаговым двигателем......................................... 13

РАБОЧЕЕ МЕСТО................................................................................... 15

АННОТАЦИЯ

В настоящее время все больше производств переходят на автоматизированное оборудование. Без компьютера уже не может обойтись ни одна отрасль промышленности, особенно электронное машиностроение.

Целью проекта является разработка системы автоматического управления для установки нанесения тонких пленок в вакууме, предназначенной для изготовления медного чувствительного элемента термодатчика сопротивления с заданными габаритами 3х5 мм и толщиной 0,5 мм. Для упрощения работы оператора и повышения производительности предложен вариант полностью автоматизированной установки вместо имеющейся установки ручного управления.

В процессе работы были проработаны следующие пункты:

• выбраны основная целевая функция и функция коррекции цели
• разработана комплексная принципиальная схема, как совокупность системы целевых механизмов, системы их энергообеспечения и системы управления, связанных материальными, энергетическими и информационными потоками
• составлено техническое задание на элементы и узлы машины
• на уровне рабочего проекта проработаны выбранные компоненты САУ и произведен соответствующий расчет.

ОПИСАНИЕ РАБОТЫ УСТАНОВКИ

Основной функцией машины (целевой) является нанесение покрытия на подложку при изготовлении тонкопленочного термодатчика сопротивления с заданными характеристиками.

Функция коррекции цели осуществляется в диалоговом режиме, т.е. программирование всего процесса напыления ведется при помощи компьютера путем вопросов и ответов.

Для реализации основной функции необходимо провести ряд процессов.

1. Загрузка подложки в шлюз.

Загрузка осуществляется вручную, это одна из немногих операций, которая не автоматизирована.

1. Форвакуумная откачка шлюза и камеры.

При выходе установки на основной режим работы необходима форвакуумная откачка камеры, но она делается только один раз. Далее все время будет работать только высоковакуумный насос для откачки камеры, и периодически будет производиться форвакуумная откачка шлюза.

1. Высоковакуумная откачка камеры.

Высоковакуумная откачка проводится в течении всего времени работы установки.

1. Напыление подложки.

Выгрузка подложки из камеры осуществляется автоматически после открытия шлюза, который затем закрывают. Непосредственно перед напылением происходит включение нагревателя, а через некоторое время испарителя и пушки. Как только температура в камере достигнет определенного значения подложка поворачивается вниз и происходит напыление. Далее подложка поворачивается в исходное положение, выключается нагреватель, испаритель и пушка. Выгрузка подложки из камеры происходит при открытии заслонки.

1. Выгрузка подложки из шлюза.

В шлюз напускается воздух и только после этого происходит выгрузка подложки из шлюза.