Для студентов МГТУ им. Н.Э.Баумана по предмету Технические наукиГазовые системыГазовые системы
2017-12-212017-12-21СтудИзба
НИР: Газовые системы
Описание
Инженерный практикум. Отчёт: «Газовые системы»
Содержание
Задание..... 3
Реферат..... 4
Введение..... 5
1.Теоретический расчет параметров и характеристик
опалового натекателя..... 6
2. Система подачи газа со сверхнизким расходом..... 12
3. Практическое определение проводимости натекателя..... 16
Заключение..... 21
Список литературы..... 22
Приложение..... 23
Введение
Для подачи рабочего газа в различные камеры и реакторы используются газовые системы. Системы могут состоять из газовых панелей, которые в свою очередь могут быть объединены и установлены в газовые шкафы. Газовые системы могут функционировать как при избыточных давлениях, так и в вакууме. В качестве основного регулятора расхода газа используется выпускаемый предприятием «Элточприбор» РРГ. Но при решении некоторых современных нанотехнологических задач необходима подача рабочего газа, потоком в считанное число молекул, что очень существенно ниже минимального значения, обеспечиваемого стандартным РРГ. Для этих целей ведется разработка натекателя, заполненного опалом, с низким выходным потоком рабочего газа.
Содержание
Задание..... 3
Реферат..... 4
Введение..... 5
1.Теоретический расчет параметров и характеристик
опалового натекателя..... 6
2. Система подачи газа со сверхнизким расходом..... 12
3. Практическое определение проводимости натекателя..... 16
Заключение..... 21
Список литературы..... 22
Приложение..... 23
Введение
Для подачи рабочего газа в различные камеры и реакторы используются газовые системы. Системы могут состоять из газовых панелей, которые в свою очередь могут быть объединены и установлены в газовые шкафы. Газовые системы могут функционировать как при избыточных давлениях, так и в вакууме. В качестве основного регулятора расхода газа используется выпускаемый предприятием «Элточприбор» РРГ. Но при решении некоторых современных нанотехнологических задач необходима подача рабочего газа, потоком в считанное число молекул, что очень существенно ниже минимального значения, обеспечиваемого стандартным РРГ. Для этих целей ведется разработка натекателя, заполненного опалом, с низким выходным потоком рабочего газа.
Характеристики НИР
Предмет
Учебное заведение
МГТУ им. Н.Э.БауманаПросмотров
116
Размер
2,63 Mb
Преподаватели
Список файлов
Газовые системы
отчёт.doc
презентация.ppt
![Картинка-подпись](https://s.studizba.com/z.php?f=/uploads/fotos/podpt_2_43798.png&w=1632&h=400&t=1")
Зарабатывай на студизбе! Просто выкладывай то, что так и так делаешь для своей учёбы: ДЗ, шпаргалки, решённые задачи и всё, что тебе пригодилось.
Начать зарабатывать
Начать зарабатывать
zzyxel
21 декабря 2017 в 16:45
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
