На тему: «Малогабаритная установка магнетронного распыления»

Расчетно-пояснительная записка

Москва, 2013 г.

Содержание

Содержание.. 2

Реферат. 3

1. Введение.. 4

2. Описание процессной модели.. 5

2.1 Деление технологии напыления тонких плёнок методом магнетронного распыления на процессы.. 5

2.2 Выбор сервисных функций. 8

2.3 Выбор функций коррекции цели. 8

3. Техническое задание на программу управления технологическим процессом... 9

4.Описание комплексной принципиальной схемы... 12

5. Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ.. 13

6.1 ТЗ на элементы САУ.. 13

6.1 Элементы САУ.. 13

6.1.1 Контроллер ADAM-5510E/TCP. 13

6.1.2 Универсальный модуль дискретного ввода-вывода ADAM-5050. 14

6.1.3 Модуль аналогового ввода ADAM-5017. 14

6.2 ТЗ на элементы вакуумной системы.. 16

6.3 ТЗ на силовой модуль и источники питания. 19

7. Расчет и описание принципиальной электрической схемы... 28

8. Заключение.. 29

Список литературы... 30

Реферат

Целью данного курсового проекта является овладение навыками, методами и средствами комплексных разработок механических и электронных компонентов оборудования САУ, а также правилами и методами составления технического задания на программное обеспечение САУ.

Курсовой проект содержит 4 графических листф, выполненных в пакете КОМРАС -3D V13. Записка по проекту объёмом 30 страниц машинописного текста, выполнена в программе Microsoft Word 2010. Отчёт содержит введение; шесть основных разделов, содержащих 24 рисунка, 5 таблиц; заключение и список использованных источников.

1-й лист (ПМ) содержит процессную модель работы САУ.

2-й и 3-й листы (ФС) содержат комбинированную функциональную схему установки с указанием всех энергетических и управляющих сигналов.

На 4-ом листе (ЭЗ) представлена принципиальная электрическая схема соединений САУ.

Ключевые слова:

ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА, ВВОД ВРАЩЕНИЯ, СИСТЕМА АВТОМАТИЧЕСКОГО УПРАВЛЕНИЯ, КОНТРОЛЛЕР.

1. Введение

Производственное оборудование становится всё более автоматизированным во многих сферах его применения. Без управляющей электроники уже не может обойтись ни одна отрасль промышленности, особенно электронное машиностроение, где необходимо управление множеством технологических параметров при высочайшей точности и жестких требованиях к соблюдению технологии.

При конструировании необходимо:

• внимательно изучить и продумать все возможные варианты применения САУ в данной конструкции и выбрать оптимальный из этих вариантов, как по цене, так и по сложности изготовления и эксплуатации;
• обеспечить проектируемое оборудование более высоким сроком службы, то есть, чтобы его физическое и моральное старение настало как можно позже (для этого в конструкцию изделия заранее закладывают модули, которые легко можно заменить или доработать).

Целью данного курсового проекта является автоматизация процессов нанесения тонкопленочных покрытий на малогабаритной вакуумной установке модульного типа, овладение навыками, методами и средствами комплексных разработок электронных компонентов оборудования САУ.

К механическому интерфейсу установки относятся:

• клапана;
• затворы;
• вентиля;

К энергетическому интерфейсу установки относятся:

• блоки питания;
• контроллеры;
• ПК.

Задачи проекта состоят в:

• распределении функций машины между различными компонентами и обоснование этих функций;
• постановке четких технических заданий перед разработчиками отдельных компонентов;
• выполнении технической документации на электронные компоненты.

Для упрощения работы оператора и повышения производительности предложен вариант полностью автоматизированной установки вместо существующей установки с ручным управлением.

Курсовой проект выполнен в объеме ___и листов А1 и расчетно-пояснительной записки. На первом листе приведены алгоритм протекания процессов работы установки, таблица процессов (процессная модель). На втором, третьем – комплексная принципиальная схема установки: механика, энергообеспечение, системы автоматического управления. На четвертом листе - принципиальная схема электрических соединений. На пятом листе – общий вид экрана монитора с управляющей программой. В расчетно-пояснительной записке приведены необходимые пояснения и расчеты, отражены принципы построения СУ установки, даны описания листов проекта.