074f-orgreview (Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением)
Описание файла
Файл "074f-orgreview" внутри архива находится в папке "Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением". PDF-файл из архива "Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технические науки" из Аспирантура и докторантура, которые можно найти в файловом архиве СПбПУ Петра Великого. Не смотря на прямую связь этого архива с СПбПУ Петра Великого, его также можно найти и в других разделах. , а ещё этот архив представляет собой кандидатскую диссертацию, поэтому ещё представлен в разделе всех диссертаций на соискание учёной степени кандидата технических наук.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
плазмохимическим травлением, которое, 6 Отличие От жидкОстноГО, не при6Одит к необратимому Деформированию мембраны под Действием капиллярных сил, во~никакндих при удалении пос~ед~еЙ капп~ растворителя ив пространства междумембранОЙ и подпожкой. При создании МЭМС устройств, 6 которых требуется достижение прецизионной планариэации основных частей ко~струкции — ~апример, микробалок и элементов микромостиковых конструкций, с~йдестеенно возраста~от требования к Морфоло~и~ поверхности фоторезистивных слоев. Налиние щероховатой поверхности является критичным фактором при создании ГиЭМС устройств, приниипом действия ~о~~ры~ является ибменение положения несущей ~о~с~рукц~~ под действием электростатинеских сил, Нал~~~е ц~ероховатости на .