074f-6-freview (Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением)
Описание файла
Файл "074f-6-freview" внутри архива находится в папке "Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением". PDF-файл из архива "Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технические науки" из Аспирантура и докторантура, которые можно найти в файловом архиве СПбПУ Петра Великого. Не смотря на прямую связь этого архива с СПбПУ Петра Великого, его также можно найти и в других разделах. , а ещё этот архив представляет собой кандидатскую диссертацию, поэтому ещё представлен в разделе всех диссертаций на соискание учёной степени кандидата технических наук.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
Работа Спепзилоаой Анастасии Борисоанм посаапзена разработке ТСХИОЛОГНН формнроаания "®ертаенных" слоеа фоторезистоа заданной тол~йнйм н с низкой пзерохоаатостьаз поаерхнос*и, ~~ПО~Ь~УВМЫХ для создания на ннх металлинеских мембран злектромеханических акпоаторОВ и В значительной степени Определянипих их характеристики. И СВВЗН с пзироким Внедрением компоненте а мнкросистемнОЙ ~~~ИНКН В устройстаа радиозлектронной прОмьппленйостй ОЮОбО Важнмм станОВйться Вопрос 0 ИОВых методах создания злементОВ зтих устройста, Гаранти~фиэщих качестао и поаторяемость рез~льтатоа, В саази с зтим работа Спещилоаой А.
Б, несомненно Яаляетса актуальной„а полученнме еГО рез~льтатм Востребоаанй~ В промьппленности, В результате Вь$полнения работь$ диссертантом получен и проанализнроаай больпзОЙ 06ьем зкспериментальиОН инфОрмации, позаолиазпни Определить наилучп~ие техиолОГинеские параметрм пропесса плазмохимическОГО ~р~~~~~~~ полтчення поаерхностей с ннзкон пзерохоаатостьаз ~кертаенйоГО Спеп~илоаа А Б. показала, что наиболее подходя~пнм для препизионной подГонкн тол1пииь4 жертаеннОГО слоя фОторезиста яаляется метОЛ ~даленноГО плазмохнминескоГО траалеиия, позаоляй>Гний менЯТЬ В знанительнь~х пределах скорость тршлеиия без с~щестаеннОГО ухудшения шерохоаатости поаерхйости, АдеКВВТИОСТЬ н достоаерность результатоа анализа зкспериментальных ОбразпОВ Обуслоалена испОльзОВаннем Взаимодополнякипйх др~Г дру1 а соаременных метОЛОВ анализа: ВГОмнО-силоВОЙ микрОскОпин.
растроаой .