074f-5-freview (1143786)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

~АО ~1ФЙ Ф~фРж'аюФ л „„ц,~~.,)~ П,~у,д Л ф П~я~яья Ел Мцфб'- Ф~'Й 1ФФ'$2а~пл ЛФ е1 Вв4М%$)67%66аю966й Ф О%~у 6ью 6 $ йъж! а ежа~ %теедже * сьев~-"мвебуо м'с ю Фееп~%сФжммВЛФ: $ФЖ 6446%7м тм $а32~6%2ь$е4ж.еа;*46%2нб,ажпвижме ежебюева Дпссертаппл Спептйловой А.Б. послан~сна патлен~~ основпмк аакопомерпостей процессов плаамохимкческщ.о травления (ПХГ) фоторезистнвкмх (ФР) <оксртвеппмхэ слодв ллй ралработкй йа атой основе текполОГйй ПрепнЗНОПНО~'О тРавлеййл, прпГОДноЙ Длл соалаппл мнкромос ~~колик структур в паделплк мпкроспстемпой телппкп, Автором бмлн виполпенм аксперпмейталвпме Йсследоваййл процессов ПХ Г фоторезйстйвййк слодв, ос)чпесталлеммл в реакпйойнмл камерак ршлнчнил констрткппй и прп раапмк способак соадвппл высокочастотп~$л 1ВЧ) саловмл ралрлдов, полтченм лавпмс о алнлпнн рс~кймов термообработкн ФР плй~к па скороста травленнлй п~ероловатоста поверкпостй прн ПХГ, продемопстрйровано успешное прйменеййе ратработанпото йовото Способа ПХ'Г в )становкал с тлалепйой кпслородпой плаамой па прймсре нлтотовленйл МЭМИ.'-переклй>чателя реапстйапо-Ймкостносо тйпа электростатпческйм прийОдОм.

Найболее аа'кйммй рез~лататамн, полулейнимп лнссертаптом. Лвллкттсл слелующие: 1. Установлено, что морфология п пкрохоиатость поверхностк ФР слобв:ивис~т от вх состава й ре:кйма термообработкп„йапменмпал ~~сроловатоста поверлностп лостптается для фотореанста маркй ФП-4-04, полверпт~"~йо двткступеппатой термообработке прй 90'"С и 120"С п составляет 03 нч, 2. Вмлалепо„лто пайболыпее алйянйе на п~ероковатоств поверлностп окалывает ее бомбарднровка аарл®еннммн ластнпамн плаами, прп лтом ЛУпп~нй контрола скоростн трааленпй и мйппмалайу® п~ероковатоста поверлностп обеспелнвает ПХ 1' в установкал с ~лалеппой кислОродной плазмОЙ.

3. Покааано, что улаленпе обрабативаемил обршцов с нанесенной ФР пленкой сп областн ~ейерацпп ВЧ ралрлда сопроао®лается мопотоннм м ) меныпснпем скоростн травления прп сокранснйй нй~кой 1нсрокоаатостн йоасркно~~й (0„2 - 0.3 йм)„ойрслслсйы Онтймааьймс услоайл йроаслснйЯ йройсссоа *раалснйл, Обсс11счйаакиййс скорость траалснйл Лйаиазоис 4 - 10 йм1мйн й ИОЯВОЛЯкилйс с Высокой гочйость1О Лостнгать зааанной ТОЛПН1Н$4 ФР НЛСНКИ . 4. Ус*айоалсйо.

что йамсйсййЯ В скорости траалсйиЯ ФР слоаа ирй Варьйроааййй тскйологйчсскймй нар амстрамй коррслиру1от с соотастстауниаймй йзмсйсййями ОТНОСИТСЛЬИЫХ НИТСИСИВ11ОСТСЙ 'ЗМИССИОННМХ Лйййй ВТОМВРНОГО КНСЛОРОЛВ, ЧТО НОЗВОЛЯСТ йрслположмть Оирслсля1ощу1о роль Этого компоис1гга йрн траалсйнй. Солсраганйс лйсссртаинй лостаточйо иолйо раскрмааст исль работм, суть, мстолйку аксисрймсйтОВ и анализ получсййь1к ~мзультатоа. Оригйнальйый матсриал солсрягится Во Всск чстмрйк глааак лйсссртанйй, ирслстаачсй Обзор 1грсл1лсстаун11лйк йсслсл11ВВИ11Й й иоказайо мссто лнсссртаниоййой Работм В РЯлу трулоа ИО нлаамокймйчсскому траалснй1О ТОНКНК ФР ИЛСНОК. ЧсТКО СфОРМуЛйрОВВйМ ВЫВОЛЫ. По работс ймаготся слслу1О1исс замсчанйс: В Вйторсфсратс 1ГВ Рйсуйкс 1 и В тсксгс на страйн11ак 9 й 10 отсутстау1от ИОЯснснйЯ ЛЛя МНКРОМОСТИКОВМК СТруКТур В1 й б).

(=лслаи11ос замсчаийс ис Носит йрйи11йпиальиОГО характсра и нс снйжа1От В$йсокой ОНСНКИ ЛИСССРТВННН. Осйоанмс рсаультатм лйсссрта11Н11 отраягсйм В 5 Оиублнкоааннь1к работал В ВСЛуй1НК йауЧНМК ягурйВЛВК (ЧЖурНВЛ НРИКЛВЛНОЙ КйМйй», ЧФНЗНКВ й ТСКННКВ иочуироаолийкоа» й лр.1 й локлалмаались на чстыр»к российскйк й мслглунаролнмк КОйфСРСНЦИЯХ. В нслом лйсссРтаийоййВЯ Работа 1"'йс1ВИЛОВОЙ А,Б.

солсР®йт йсобколймь1Й обьсм йссчслоаанйй. ВВИ1олисйа йа Высоком научйом уроайс й улоалстаоряст трсбоВВ11йям. нрслъЯВЛЯсмьгм к канлйлатскйм лисссртаниЯм, В сс Катар заол1ужнайст прйсаосниЯ 5'чаиОЙ стснсйй кайлйлата тскййчсскйк наук но снснйальйостй 05.27.06 — '1"скнологйя й Оборулоаанйс лля 11ройааолстаа иолуироаолнйкоа, матсрйалоа й ирйбороа ЭЛСКТРОНИОЙ ТСКййКН. Николайчук Галина Александроана АО к1 1ИН ФФСррйт-Домон» 196006 г. Санкг-Петербург, ул, Цаеточиая 25 кори. 3 Тсч,: 1812)6762939, с-пи11: в11-оф4отсп.га .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации