074f-5-freview (Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением)

~АО ~1ФЙ Ф~фРж'аюФ л „„ц,~~.,)~ П,~у,д Л ф П~я~яья Ел Мцфб'- Ф~'Й 1ФФ'$2а~пл ЛФ е1 Вв4М%$)67%66аю966й Ф О%~у 6ью 6 $ йъж! а ежа~ %теедже * сьев~-"мвебуо м'с ю Фееп~%сФжммВЛФ: $ФЖ 6446%7м тм $а32~6%2ь$е4ж.еа;*46%2нб,ажпвижме ежебюева Дпссертаппл Спептйловой А.Б. послан~сна патлен~~ основпмк аакопомерпостей процессов плаамохимкческщ.о травления (ПХГ) фоторезистнвкмх (ФР) <оксртвеппмхэ слодв ллй ралработкй йа атой основе текполОГйй ПрепнЗНОПНО~'О тРавлеййл, прпГОДноЙ Длл соалаппл мнкромос ~~колик структур в паделплк мпкроспстемпой телппкп, Автором бмлн виполпенм аксперпмейталвпме Йсследоваййл процессов ПХ Г фоторезйстйвййк слодв, ос)чпесталлеммл в реакпйойнмл камерак ршлнчнил констрткппй и прп раапмк способак соадвппл высокочастотп~$л 1ВЧ) саловмл ралрлдов, полтченм лавпмс о алнлпнн рс~кймов термообработкн ФР плй~к па скороста травленнлй п~ероловатоста поверкпостй прн ПХГ, продемопстрйровано успешное прйменеййе ратработанпото йовото Способа ПХ'Г в )становкал с тлалепйой кпслородпой плаамой па прймсре нлтотовленйл МЭМИ.'-переклй>чателя реапстйапо-Ймкостносо тйпа электростатпческйм прийОдОм.

Найболее аа'кйммй рез~лататамн, полулейнимп лнссертаптом. Лвллкттсл слелующие: 1. Установлено, что морфология п пкрохоиатость поверхностк ФР слобв:ивис~т от вх состава й ре:кйма термообработкп„йапменмпал ~~сроловатоста поверлностп лостптается для фотореанста маркй ФП-4-04, полверпт~"~йо двткступеппатой термообработке прй 90'"С и 120"С п составляет 03 нч, 2. Вмлалепо„лто пайболыпее алйянйе на п~ероковатоств поверлностп окалывает ее бомбарднровка аарл®еннммн ластнпамн плаами, прп лтом ЛУпп~нй контрола скоростн трааленпй и мйппмалайу® п~ероковатоста поверлностп обеспелнвает ПХ 1' в установкал с ~лалеппой кислОродной плазмОЙ.

3. Покааано, что улаленпе обрабативаемил обршцов с нанесенной ФР пленкой сп областн ~ейерацпп ВЧ ралрлда сопроао®лается мопотоннм м ) меныпснпем скоростн травления прп сокранснйй нй~кой 1нсрокоаатостн йоасркно~~й (0„2 - 0.3 йм)„ойрслслсйы Онтймааьймс услоайл йроаслснйЯ йройсссоа *раалснйл, Обсс11счйаакиййс скорость траалснйл Лйаиазоис 4 - 10 йм1мйн й ИОЯВОЛЯкилйс с Высокой гочйость1О Лостнгать зааанной ТОЛПН1Н$4 ФР НЛСНКИ . 4. Ус*айоалсйо.

что йамсйсййЯ В скорости траалсйиЯ ФР слоаа ирй Варьйроааййй тскйологйчсскймй нар амстрамй коррслиру1от с соотастстауниаймй йзмсйсййями ОТНОСИТСЛЬИЫХ НИТСИСИВ11ОСТСЙ 'ЗМИССИОННМХ Лйййй ВТОМВРНОГО КНСЛОРОЛВ, ЧТО НОЗВОЛЯСТ йрслположмть Оирслсля1ощу1о роль Этого компоис1гга йрн траалсйнй. Солсраганйс лйсссртаинй лостаточйо иолйо раскрмааст исль работм, суть, мстолйку аксисрймсйтОВ и анализ получсййь1к ~мзультатоа. Оригйнальйый матсриал солсрягится Во Всск чстмрйк глааак лйсссртанйй, ирслстаачсй Обзор 1грсл1лсстаун11лйк йсслсл11ВВИ11Й й иоказайо мссто лнсссртаниоййой Работм В РЯлу трулоа ИО нлаамокймйчсскому траалснй1О ТОНКНК ФР ИЛСНОК. ЧсТКО СфОРМуЛйрОВВйМ ВЫВОЛЫ. По работс ймаготся слслу1О1исс замсчанйс: В Вйторсфсратс 1ГВ Рйсуйкс 1 и В тсксгс на страйн11ак 9 й 10 отсутстау1от ИОЯснснйЯ ЛЛя МНКРОМОСТИКОВМК СТруКТур В1 й б).

(=лслаи11ос замсчаийс ис Носит йрйи11йпиальиОГО характсра и нс снйжа1От В$йсокой ОНСНКИ ЛИСССРТВННН. Осйоанмс рсаультатм лйсссрта11Н11 отраягсйм В 5 Оиублнкоааннь1к работал В ВСЛуй1НК йауЧНМК ягурйВЛВК (ЧЖурНВЛ НРИКЛВЛНОЙ КйМйй», ЧФНЗНКВ й ТСКННКВ иочуироаолийкоа» й лр.1 й локлалмаались на чстыр»к российскйк й мслглунаролнмк КОйфСРСНЦИЯХ. В нслом лйсссРтаийоййВЯ Работа 1"'йс1ВИЛОВОЙ А,Б.

солсР®йт йсобколймь1Й обьсм йссчслоаанйй. ВВИ1олисйа йа Высоком научйом уроайс й улоалстаоряст трсбоВВ11йям. нрслъЯВЛЯсмьгм к канлйлатскйм лисссртаниЯм, В сс Катар заол1ужнайст прйсаосниЯ 5'чаиОЙ стснсйй кайлйлата тскййчсскйк наук но снснйальйостй 05.27.06 — '1"скнологйя й Оборулоаанйс лля 11ройааолстаа иолуироаолнйкоа, матсрйалоа й ирйбороа ЭЛСКТРОНИОЙ ТСКййКН. Николайчук Галина Александроана АО к1 1ИН ФФСррйт-Домон» 196006 г. Санкг-Петербург, ул, Цаеточиая 25 кори. 3 Тсч,: 1812)6762939, с-пи11: в11-оф4отсп.га .