074f-3-freview (Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением)
Описание файла
Файл "074f-3-freview" внутри архива находится в папке "Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением". PDF-файл из архива "Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технические науки" из Аспирантура и докторантура, которые можно найти в файловом архиве СПбПУ Петра Великого. Не смотря на прямую связь этого архива с СПбПУ Петра Великого, его также можно найти и в других разделах. , а ещё этот архив представляет собой кандидатскую диссертацию, поэтому ещё представлен в разделе всех диссертаций на соискание учёной степени кандидата технических наук.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
Вктуячьньь йх ЛОетонериоеть подтне~Уждиетея еерьеЗным Объемом Вкеперймеитоя. Прй Выподйеййй рябот Янтор йейольтоняя йяоор еонремейных методнк койтрояя пнряметрон й ХВРВКТЕРНЕ~йк ПОДУЧВЕМОГО МВТЕРйяйй, ВКЕПЕРНМЕНТЫ ВЫНОДНЯЛНЕЬ Е йеподьтоянййем иирокОГО ннборя ЙЯВЗмохнмйчеекОГО ОборудОВВйня.
Иеобходнмо Отметйть Вперяые подучейньке яятором тьеперймейтндьйые ляййые О хяряктере Вднянйя технодотйчеькйх пн1иметроя пройеееоя плйзмохнмйчеекОГО т1ФЙжййя, ОЕУЩЕЕТВДЯЕМЫХ В КВМЕРВХ *Ехйояотйчнекйх РЕЯКТОРОВ РНТЛНЧНЫХ КОНЕТРУКННЙ й ВРй рятйых епоеобях Ооядяййя Выеокочй~тотйых Гнхоных рнтрялон, йя екороеть тряняення й морфодОГйю пйнерхйоетй фотореЗйетняных едоея. Полученные ддййые будут беяуедонйо Воетребоннйы В мнкротдектройной промьнняеййоетн. По Годер;няййнт Вятореферятн мо®но едеяять едедукндее тямечянйе: В рнтледе ь 1еоретйчеиия н Щиктнчеекяя Зиячнмоетья (п.2) Отмечяетея Вйжйоеть пОяученйых кяяййььх о Влйяййй ре®ймон термообряботкй фото~~~йетйнтнях пчейок ня екороеть тртнчейня и нтерохояятоеть пояерхйоетй Врй пдятмохймнчееком трняяенййя.
Олняко В еодеряяятедьйой чяетй Вятореферятя ~тй днййые йе прйнодятея. Укнтннйьй йедоетяток йе енйняет об~йеГО пояожй едьнОГО Вйечятяейня О дйееертннйоййой рябо~~. Дйееертянноййня ряботя Спетнйяояой Айяетнеяй Ьорйеонйы кряяряботкя технодокйн формйроняння фоторетйетн нных пяенок преннтйонной толнтййы МННЙМЙЧЬНОЙ ПГЕ РОХОВВТОЕТЬЮ ПОВЕРХЙОЕТН ПДЙЗМОХНМИЧЕЕКНМ ТРВВЯЕНИЕМЯ ЯВЯЯЕТЕЯ тячконченной йя~чно-княчнфйкянйоййой ряботой, Выпояйенйой дйчйо янтором, еодержйт йояья; ннучйые ретуяьтяты, ймеет пряктнчеекуто Неййоеть й еоотнететнует требояяййям ЬПояожейия о порядке прнеуждейня ученых степенейь, утнержденйоГО Поетяйовдеййем прайи Гедьи Ва Роееийекой Федернцнй от 24 еейтября 2О13 Годн % 342 1ред.
от О1.1О.2018 14 11631, Аятор днееертянйойной рябокы Спентйдоня Айяетяейя Борйеонйя тяеду~кйяяет прнеу®деййя учейой етепейй кяйлнднтя техййчеекнх йнук по ейепнняьноетй О5.27.О6— ХехнодОГНВ и оборудонзнне дяя пронЗВОДОГВВ НОяупрОВОдййкОВ, митерйядоя н ВрйбОРОВ ъяектропной техннкй. Вдеен Нйкояяй Айнтояьеяйч кййлйдйт техййчеекнх йяук ь-Гяртнйй ияучйый еотрудййк яяборяторня фйяйкй яодупроноднйкояых Гетероетрухтур ФелерйчьйОе Гоеудяретненйое бкол)кеп40е учреж%енне няукн Фнтнкть Гехнйчеекйй йнетйтут нм. А,Ф. Иофф~ Роеенйекой Вкялемйй йяух : т2 дД~ 1~,~,„чя„~~, 194021. Санкт-11етербург.
Полнтехнн Геекяя ул.. 26 тел,1812)292735О е-пи11: п1В1ееънт10еятп,10йе.тн Ь11 ЦДААФ'К, '«6' „'"4,,'~' .