074f-1-opreview (Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением)
Описание файла
Файл "074f-1-opreview" внутри архива находится в папке "Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением". PDF-файл из архива "Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технические науки" из Аспирантура и докторантура, которые можно найти в файловом архиве СПбПУ Петра Великого. Не смотря на прямую связь этого архива с СПбПУ Петра Великого, его также можно найти и в других разделах. , а ещё этот архив представляет собой кандидатскую диссертацию, поэтому ещё представлен в разделе всех диссертаций на соискание учёной степени кандидата технических наук.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
позиоляют дать Обосноааиные рекомеидапии для Выоора, В зааисимости от реп~аемой задачи, пром~|й~еииых технолопий траиления Б~нрок<йо КЛВССВ фоторезистоа. Доказательстаом практической пенности рез~льтатоВ проаеденных исследоааний яаляе*ся их тспепзное исполь юиание для нз~отоалеиия зле~~ростатических МЭМС переключателей резистниио- емкостнОГО типа В услоаиях промыпиенноео предприятия.
Рез~льтаты, полтченнь|е В работе, могтт быть примеиены и исследоВательских лабораториЯх, занимайипихсЯ разработкой изделии микросистемнОЙ техники, а так~ке на Бром ьппленных предприятиях Вып~'екающих различиые микрозлектрониые изделия. Достоиерность Выаодои, соде~~каптихсЯ В диссертапиоиной работе. Об~слоалена применением соаременноЙ методоло~.ии научных нсследоааний и кОмплекса использоаанных зкспериментальиых метОдик и подтиер)кдается соиок~пиостью при Веденных зкспериментальных данных. Результаты диссертапионнОИ рабОты про$пли надежн~ю апробйпию и Оп~бликоааны В ряде жяйалоа„предстаалены на конференпнях и симпозиумах, Диссертапиониай работа хоропю ОфОрмлена, материал Бзлыкеп Ясно„ Бто ПОЗВОЛЯе~ ~тие~~кдать„что работа ВЫполнена на достатоино Вььсоком на~чпом троане. ВМе~те с тем. сиитаю необходимым по диссертапионной работе сделать след~ющне замечания; 1.
В работе приаодятся некоторые результаты по плазмохимическочу трааленню при атмОсферном даВленйй фоторезистиииых слОСВ. (".". мОей ТОЧКН зрения, ннзкотемперат урные плазмохимическне технолопии, реализтемые при атмосферном даалеиии предстаиллют оеобЫЙ интерес, ОДИВК~ В работе им «делено ЯВИО недостаточно~о Вн~~а~и~. Опе~~а п~фохоаатости поиерхности Остп~есталялась МС~~ДОМ атомно- .