074f-1-opbiblio (Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением)
Описание файла
Файл "074f-1-opbiblio" внутри архива находится в папке "Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением". PDF-файл из архива "Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технические науки" из Аспирантура и докторантура, которые можно найти в файловом архиве СПбПУ Петра Великого. Не смотря на прямую связь этого архива с СПбПУ Петра Великого, его также можно найти и в других разделах. , а ещё этот архив представляет собой кандидатскую диссертацию, поэтому ещё представлен в разделе всех диссертаций на соискание учёной степени кандидата технических наук.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
Предеедател$О сОВета НО "ищнте ДнеееРтйнйй нз сОиекзнне т'чейОН стененн кзндндзта на~к, НЙ еннскзнне учейОЙ е'тенейн дОктОрй наук Д 212.229.02 на бане федерал ьиОГО ГОс~даретаеннОГО ЗВТОНО~4ЙО1 "О ОбрззОаателййОГО ~чреаГДейнз ЙыеГне~ О ОбрайОЙайна ЙСзйкт-Петерб~~текйн НОлнтекинческнй унййерентет Петра ВелйкОГОЙ, дОктОру кймнческнх нзтк, прОфеееОръ С.Е. АлекезйдрОау ! Фамилия Имя Отчество» оппойейта ' Ейй»вский 1Опйй Койс1а»ггййовйн : Ийфр и йайменОВанйе 1 ! '. СПС1и1альйос»ей.
ОО к0тор1ям ' 02.00.21 Химия твердого тела ,' Загцйцгсна »1йссс1»тацйя , У 1сйая СЪТЕПЕИЬ й 1»ТОВСЛЬ йаККй ', ДОК11»Р ХИЫИЧЕСКПХ йаТК ' УИСИ1»е»ванне ~ 111нъфессор * 11олйое йайчеиОВапйс 1 Феде)ъальйОС Госуда1»сгасйное Ок»11»кег1цье 1 Ор анйзацпй. ЯВ»1янъгцейся 1 объраз1»ватт»льй1»с учреждение Вь»ел1ГОГО :', осйоайым местом работь1 1 Об»раас»Ванна 11(.айкг-ПС1ербъурГский ( оппонента 1 госуцарстаеййь1й Гехй1»л1»гическйй ййсппът 1 01ехййческий уйнасрсй тгг) . Зайпма1.мая лол»к»н~-п~ 1 И1»офсссо1» кафедры хпмйпескг»Й йайгг1ехйолгйий 1 и мате1»налОВ "1»1ек»роыи1»й техййгп1 1111»нгоаый ппцекс, адрес 1 190013, СВГ1к»-Иегербург, Московский 11Р. 26 1 ; '1'елефои 1 РВ64й12)494 93 86 моб.
8 911 99й 33 52 ' Адрес ълек~Р~йи1»й пгъчття 1 еа1ыъкяк11111':пъа11ьгц , '1. Ржевский К).К. Реакционная сп1»собй1ость 1 пОВерхи1ылн Оксйпйых мат1ъйц В про1гсссах Ьпъпекуля1»ЙОГО наслаивания. Матерйал1»ас;.1сййе,- 1 , '2015 % 6. С. 26-30. ! , "'. Е»К1»вский К).К. Модйфйцироааийе ~ ПОВерхй1»сгы силикатных чат1ъйц Оксйдамн '; хрома. Журн, Фпзпч. Химий.-21)15.'1'.89. № 8. С, 1 1 1313-1318, 1 Список ОСИ1ий1ых пубълйкацйй 1 3. 1»ж1»вский Н).К. Реакционная с1цъсобыост ь , ,'оф»ециальио1'о Опц1»не1па пО тече 1 поаерхйостй тве1»дь1х тел а процессах , дйссе1»п1цйи В реце11ап1»успех 1 хймйнеской йайотехй1»ло1.йй ИЪГ»к~ъраамсрйых ., Иаучйых и»даййях аа послсдййе 5 * ' ' " ~ сйсгем.
11оверхность, Рейпсйоаскйс. : лгг1 (ис более 15 публикаций) '; сийх1нъг1кй1пыс й йейт)ътпп1ые йсследоваййя,- ', 2015. % 5. С.43-4й. 1 4, 1.ковский 1О.К., Захарова 11.13, Формирование ~ н йек1»торь$е сйОЙ(. Гаа йайослОСВ халькогснйдоа 1 цинка йа пОл)*п)ыжО»ц1йк1»аь$х мат1»йцах. 1 Микро.»лскгропнка.- 2016, 1,45. №1, ъ.,'.21-28. ~ 5. Екоаа~йй К).К. Молекуллрйоо йаолаййлййе 1 окойдой крФчния и злммйнйя йл бййлрймх йод йроиолййклх..Кязи. Физий.
кйчйй.-2017. ~ Х.91. №4, С, 691-695, 1 6. Е)кмккйй 1О,К. Молокйллрное ййоллййлййо ~ йййоо:й~й йй~рйлй кройййл, К~рй. Фйлйч, 1 хймйй." ~ ~2017. 1', 91. № 7. С. 1207-1210. ~ 7. 1".лкаккйй Ю.К. Мйхайлококйй С.В, ~ Молок~ллрйоо йлоллйллййо йлйоол~",л й1йрйлл ~ крсйййя и йктийлцйой хлскйпий рллрллой, Кури ~ Фйлйч. хйчйй.- 2018. 1'.92, №3. С, 439-443. ,:', 8. 1окойокйй 1О,К. Форййроллййо 1лйммщ)йчоокйх йййоол~жл окойдол ллйкййнпя й ~ кройййл йл йолъйройолййккк Л 'В, ~ Мйк1йкиектроййка.- ' 2019„'1'.
4К № 2. о. 106-110, .
