Автореферат (Информационная система поддержки принятия решений при проектировании процесса ультрафиолетовой литографии), страница 6
Описание файла
Файл "Автореферат" внутри архива находится в папке "Информационная система поддержки принятия решений при проектировании процесса ультрафиолетовой литографии". PDF-файл из архива "Информационная система поддержки принятия решений при проектировании процесса ультрафиолетовой литографии", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технические науки" из Аспирантура и докторантура, которые можно найти в файловом архиве НИУ ВШЭ. Не смотря на прямую связь этого архива с НИУ ВШЭ, его также можно найти и в других разделах. , а ещё этот архив представляет собой кандидатскую диссертацию, поэтому ещё представлен в разделе всех диссертаций на соискание учёной степени кандидата технических наук.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст 6 страницы из PDF
М. : МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012. С. 126131.27.Корпачев М.Ю. Пути снижения размерности изображения топологии в УФ –литографическом процессе производства СБИС [Текст] / Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю.,Костомаров П. С., Ланцев А. Н., Лучников П. А. // В кн.: Фундаментальные проблемырадиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-техническойконференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., Москва / Отв. ред.: А.
С. Сигов. Ч.3: Материалы и технологии. М. : МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012. С. 66-73.28.Корпачев М.Ю. Устройство формирования топологической структурымикрочипа для снабжения организма лекарственными препаратами [Текст] / Ивашов Е. Н.,Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., Лучников П. А. // В кн.: Фундаментальные проблемырадиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-техническойконференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., Москва / Отв.
ред.: А. С. Сигов. Ч.4. [б.и.], 2012. С. 164-165.2229.Корпачев М.Ю. Формирование топологии в экстремальном ультрафиолетовомдиапазоне [Текст] / Корпачев М. Ю. // В кн.: Научно-техническая конференция студентов,аспирантов и молодых специалистов МИЭМ, посвященная 50-летию МИЭМ / Под общ. ред.:В. Н. Азаров, Л. Н. Кечиев, Ю. Л.
Леохин, С. Н. Никольский, И. Смирнов, Н. С. Титкова, В.М. Четвериков. М. : Московский государственный институт электроники и математики,2012. С. 295-296.30.Корпачев М.Ю. Фотомозаика чипа для фракционирования ДНК на основелитографических технологий [Текст] / Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С. // Вкн.: Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. МатериалыМеждународной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря2012 г., Москва / Отв. ред.: А. С.
Сигов. Ч. 2. М. : МГТУ МИРЭА, 2012. С. 112-113.31.Корпачев М.Ю. Формирование изображения в вакуумном ультрафиолете[Текст] / Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., Лучников П. А. // В кн.:INTERMATIC - 2010. Материалы Международной научно-технической конференции«Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 23-27 ноября 2010 г.,Москва / Под общ. ред.: А. С. Сигов; науч. ред.: А. С. Сигов.
Ч. 1. М. : Энергоатомиздат,2010. С. 303-305.32.Корпачев М.Ю. Формирование изображения на подложке в иммерсионнойлитографии [Текст] / Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., Лучников П. А. // Вкн.: INTERMATIC - 2010. Материалы Международной научно-технической конференции«Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 23-27 ноября 2010 г.,Москва / Под общ. ред.: А. С. Сигов; науч.
ред.: А. С. Сигов. Ч. 1. М. : Энергоатомиздат,2010. С. 306-307.33.Корпачев М.Ю. Формирование нанообъектов литографическим методом[Текст] / Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С // В кн.: INTERMATIC - 2010.Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальныепроблемы радиоэлектронного приборостроения», 23-27 ноября 2010 г., Москва / Отв. ред.: А.С. Сигов. Ч. 2.
М. : Энергоатомиздат, 2010. С. 302-303.34.Корпачев М.Ю. Применение лазерного излучения в технологииформирования наноструктур [Текст] / Ефимов И. А., Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю.,Костомаров П. С., Лучников П. А. // В кн.: INTERMATIC - 2009. Материалы Международнойнаучно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронногоприборостроения», 7 - 11 декабря 2009 г., Москва / Отв. ред.: А. С. Сигов. Ч. 2.
М. :Энергоатомиздат, 2009. С. 227-230.35.Корпачев М.Ю. Патент РФ на полезную модель №104508. Устройство дляформирования нанодорожек на подложке / Ивашов Е.Н., Корпачев М.Ю., Костомаров П.С.,Степанчиков С.В., Якункин М.М. – № 2010146414/07. Заявл. 15.11.2010; опубл. 20.05.2011,Бюл. № 14.36.Корпачев М.Ю. Патент РФ на полезную модель №104772. Устройство дляформирования изображения / Ивашов Е.Н., Корпачев М.Ю., Костомаров П.С., СтепанчиковС.
В., Якункин М.М. -№ 2010146416/07. Заявл. 15.11.2010; опубл. 20.05.2011, Бюл. № 14.37.Корпачев М.Ю. Патент РФ на полезную модель №104771. Устройство дляформирования квантовых ям на подложке / Ивашов Е.Н.; Корпачев М.Ю.; Костомаров П.С. № 2010149690/07. Заявл. 07.12.2010; опубл. 20.05.2011, Бюл.
№ 14.38.Корпачев М.Ю.ПатентРФ наполезнуюмодель№102430.Нанотехнологическое устройство для выполнения операций / Ивашов Е.Н., Корпачев М.Ю.,Костомаров П.С., Якункин М.М. - № 2010119552/07; заявл. 17.05.2010; опубл. 27.02.2011,Бюл. № 6.39.Корпачев М.Ю. Свидетельство РФ 2014611501 об официальной регистрациипрограммы для ЭВМ. Расчет основных характеристик ультрафиолетовой литографическойсистемы / Ивашов Е.Н., Корпачев М.Ю.; Костомаров П.С.
- № 2013661642. Заявл. 13.12.2013;зарег. 04.02.2014.23.
