отзыв на автореф от Рыжкова (Физические процессы в двухкамерном высокочастотном индуктивном источнике плазмы, помещенном во внешнее магнитное поле)

отзыв на автореферат диссертации Петрова Александра Кирилловича «Физические процессы в двухкамерном высокочастотном индуктивном источнике плазмы, помещенном во внешн~~ магнитное поле». предс~~~~~нной на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук по специальности 01.04.08 — «Физика плазмы». В настоящее время во всем мире бурно развившотся ионно-пучковые и плазменные технологии, прекрасно зарекомендовавшие себя в мнк)зоэлектроиике, оптической промышленности, медицине и при создании новых и изменении свойств хорошо известных материалов. О~об~с внимание в последнее вре~я уделяется ~~~~к~частотным (ВЧ) разрядам, помещенным во внешнее магнитное поле, позволяющим получать высокоплотную плазму при относительно малых затрачиваемых мощностях. Двухкамерная модификация индуктивного ВЧ источника, описанная в данной работе, представляет болыпой интерес в виду возможного использования как в космической промышленности в качестве основы электроревктнвных двигателей нового поколения, так и в различных технологических процессах, в том числе плазменного травления и напыления.

В связи с этим диссертационная работа Петрова А.К., посвященная комплексному сам осогласован ному исследованию физических особенностей индуктивного ВЧ разряда с внешним магнитным полем, представляется актуальной. Несомненным достоинством работы являются полученные фундаментальные результаты. Автором разработана методика измерения компонент ВЧ магнитного поля и тока, проанализированы условия резонансного возбужденна гелнконной и косой ленгмюровской волн, проведено сравнение с результатами математического моделирования, выявлены основные факторы„ оказывшопше влияние на аксиальнос перераспределение концентрации электронов в исследуемом источнике плазмы. Одним из наиболее интересных результатов, полученных Петровьла А.К., являются результаты исследования пространственного распределения продольной компоненты ВЧ магнитного поля в источнике плазмы и сопоставление условий их резонансного возбуждения с закономерностями перераспределения плотности плазмы.

Хочется надеется, по научно-исследовательские работы в этом направлении будут продолжены. К недоситкам автореферата можно отнести отсутствие численных оценок рассматриваемых факторов, влияющих на перераспределение плотности плазмы из газоразрядной камеры источника и~~~мы в технологическую. Сделанное замечание, однако, не снижает достоинств данной работы, выполненной на высоком научном уровне. Автореферат свидетельствует о проведении большой экспериментальной и теоретической работы, результаты которой представляют интерес для специалистов в области физики газовых разрядов, радиофизики и физики плазмы.

Считаю, что автор диссертационной работы Петров Александр Кириллович достоин присуждения ученой степен~ кандидата физико-математических наук по специальности 01.04.08 — «Физика плазмы». $ Й.--В ФМ.~, Доктор физико-математических наук, доцент .~. чк' — — —" ~ Рыжков С.В, уффя4ь" яффйг'квйбяв 'М~'4В Подпись д,ф.-м.н., доцента Рыжкова С.В. з ' " "$»1ту "вфф~БА7КАЯА «.»":.'.' "д»в ьвМмо'«,.-'.:Ъ 3;,:,: .~;"";", . ':"- Ц, КАгви6 Федеральное государственное бюджетфф'--,~фф$91)аЗ,рдвйре«учреждение высшего профессионального образования «Москове~~4. ц~фЗа~зе))1«й)И"," ' ехнический университет имени Н.Э.

Баумана» ФГБОУ ВПО «МГГУ им. Н.Э. Баумана» 105005, Россия, г, Москва, ул, 2-ая Бауманская, д. 5, стр, 1 Кафедратеплофнзнкн(Э-б) Е-та)1:зкг»хЫЫЗЬшзш.гп тел»»71499)265-79-05 .