отзыв на автореф от Попова (Физические процессы в двухкамерном высокочастотном индуктивном источнике плазмы, помещенном во внешнее магнитное поле)

Тема днссертаций Петрова А,К. — теоретйческое й зксперйментальное изучение Влйянйя фйзйческйх процессов В плазме ВЧ разряда ййзкОГО даВлсийя В инертных Газах, помсщсннОГО В ПОстОянное маГнйтиое НОлс, на пространственное распределение параметроа плазмы, Исследования п1юводйлйсь В щйроком дйапазойс давлеййй Гслйя й арГОйа 0,07 — 75 МТОрр„ частоты ВЧ поля 2, 4 Й 13,56 МГц, мощностй ВЧ разряда от единиц до 600 Вт й йндукцйй ВйсщнсГО ма ИНГЙОГО пола 0-70 Гс.

Вь|бранйая автором тема дйсссртаций — Вес~~а актуальна, поскольку, начйная с 70-х Годов прощлоГО Века Ведутся успещные разработай зффективных ийдутйвных источнйков плазмы В постОяинОм маГнйтном пОлс, использусмь$х В различных '.ГехнолОГйческйх и плазмо-химйческих процессаХ, как напылеййс тойкйх плейок, аннзотропное травление металлов Н ДИЗЛЕКТРИКОВ И ДР.

Результаты провсдейных А.К. Петровым йсследованйй Обладактт научной новизной Й практической ценностью. Они МОГут быть прйменены прн Оптимйзацин существ)чОщих индуктЙВных источников плазмы й ЙОнных пучков, а также для создаййя йоаых тйпоа зффсктйвйых, с больщйм сроком с~у~бы йсточййкоа оптйчсскОГО йзлучсййя, В которых йспользустся плаз~а индуктйвнОГО разряда низкОГО давлснйя ВО Вйещнем маГнитном поле. Материалы дисссртап;ии доложены на международных конференциях по фйзйке ~ЛЯЗМЫ й Опублйковайы В мсждународнь~х й О*ечествсййых Автореферат днссе1зтации ОТВСЧает требоваинвм, предьЯВЛЯемым автОрефератам кандидатских диссертаций.

Есть лишь несколько замечаний к тексту и к оформлению рисунков. 1) Магнитную индукцию внешнего «В) и высокочастотноГО злектромаГнитого пОля (Вк) автор почему-ТО назьииет «магнитным полем». 2) На вертикальнык осях рис. 7а — 14а не проставлена размерность продольной компоненты ИЧ магнитной индукции Бх, Однако, указанные недо~е~ы не снижают знаЧимости полученнык диссертации результатов н не Влияют на обц1ую положительную Оценку работы.

Полагаю, что диссертационное исследовании~ Петрова А,К. "Физические нроцеееь~ В диукйамерном Высокочастотном индуктивном источнике плазми~ помеизеином ВО Внешнее магии.гное Йоде"' являетсл самостоятельно выполненноЙ науЧНО~валификационной работой, соде~~кац1ей решение задачи, Обладаю Шее научноЙ новизной и имеюгдей сушественнОС значение для физики плазмы и плазменной злектроники. Считаю, что автор диссертации, Петров Александр Кириллович засл~~экивает прис':йкдения ему ученои степени кандидата физико-математических наук по специальности 01.04.03 — физика плазмы. Попов О,А, зл. адрес: о1ейрорО1.'734',~~укос.с1изп )~чза$Й Ф~ЯФ, ";-" Ъ вч$В ЬтА, -' '-'Гз Йа Ф:; .