отзыв вед.орг (Физические процессы в двухкамерном высокочастотном индуктивном источнике плазмы, помещенном во внешнее магнитное поле)

УТВЕРЖДАЮ И.о, проректора по йаучйой работе Федеральйого государствеййого бюджетного образовательного учреждай~'чи~й~ф О образощйй1я Московский авниф~йййй,.':ий»сипут, (национальный йсследофтедьакйййфф~й~ичФф„'.;. +,' ' " АМ 'Ращу)11н «» МЙУ10ь16 г ОТЗЫВ ВЕДУЩЕЙ О1и аййзацйй йа диссертацию Петрова Ллексайдра Кйрйлловйча «Фйзйческие процессы в двухкамерном высокОчастотном нн,'0'ктивном нстОчнике плазмы, помещенном во внешнее магнитное поле», представленную на соискание ученой степейй кандидата фйзйко-математйческйх йаук по спецйальности 01.04.0а — «Фйзйка плазмы» Индуктивный высокочастотный разряд (ИВР) используется для получения плазмы в разнообразных устройствах йоййо-илазмеййой техйопогйй, такйх как источники ионов инертных н химически активных газов, генераторы плазмы, плазмохимические реакторы.

К одному из ваягных применений ИВР относится технология высокочастотных йонньи дви~ателей ~ВЧИД), исследованием и разработкой которых занимается МАИ, Создание зффективиык плазмотехнических устройств и, в частности, ВЧИД требуют глубокого исследования физических процессов в ИВР. Диссертация А.К, Петрова посвягцена зкспериментальиому и теоретйческому исследованию процессов в двухкамерном высокочастотном йндуктйвйом йсточййке плазмы с вне~пины магнйтйым полем. Работа является важйой и актуальной с точки зрения развития плазмотехиических устройств различного назначения, як~~чая ВЧИД. Рассмотренная автором схема двухкамерного йсточийка плазмы с внешним магнитным полем отличается как от ВЧ источника плазмы с индуктивным разрядом «классической» схемы, так и от ВЧ источника плазмы с разрядом гелнконного типа.

Утке выбор объекта исследования предопределил новизну йсследоваййя й полученйе новых Райее йе известных результатов, имеюгцих как фундаментальное, так й прикладное зйачеййе, В зтом Отйопзеинй важйо. что работа йосит зксперймейталйо-теоретическйй характер. Болыиой Ооъем зксперимейтальных исследований позволил получить достоверные зависимости хаактеристик источника плазмы от задаваемых внешних макропараметров.

Использование разнообразных зондовых методик ~зонды Ленгмюра, миниатюрные пояса Роговского, магнитные зонды). что ~в~я~~ся йесомйенйым достойпством работы, позволйло получйть Оольщой Обьем ййформацйй О распределеййй парамезров плазмы в ооьеме Обейх камер источника и их перераспределении на различных режимах работы. Привлечение фйзйкО-магематическОГО мОделирования также способствовало Обоснованию адекватности и достоверности выводов о процессах в источнике в широком диапазоне изменения управляющих параметров.

К числу важнейших новых научных результатов следует отнести установление критических значений индукции магнитного поля, ВЧ мощности и давления, при которых в рабочей камере устанавливается положительный столб плазмы с высоким уровнем концентрации плазмы, получение характеристик волновой структуры, соответствующей резонансу связанных геликонных и косых ленгмюровских волн как основного механизма нагрева электронов и определение порогового для этого явления значения индукции внешнеГО мшнитноГО поля.

К фундаментальным результатам следует отнести объяснение механизма аксйального перераспределения плотности плазмы в камерах с изменением индукции магнитного поля, вызванного возбуждением волн в плазме, и вытекакйпих отсюда величин квазистационарных скачков потенциала в разряде, действия сйлы Миллера, выталкйвагощей электроны и ионы йз об~ас~~ сильного ВЧ поля. Практическую важность имеют результаты измерения паразйтной емкости между антенной и металлическими элементами конструкции источника и ~вязанные с ней потери ВЧ мощности.

Эти результаты несомненно будут учитываться в том числе и разработчиками ВЧИД. Таким образом, результаты диссертации имектг не только академическую важность, но и обладают выраженноЙ практической направленностью, что подчеркивает их значимость. Результаты исследований могут быть полезйы прй разработке й Оптймйзацйй как гелйконных, твк й индуктивных источников, выступающих в качестве функционального узла ВЧИД. Замечания к диссертации вытекают. в оснощюм, в связи с использованием даже хорошо проверенных методик, таких как, например, зонды Ленгмюра в условиях магййтоактйвйоЙ плазмы ййзкоГО давлеййя й ВЧ разряда, коГда допущеййе о максвелловской функции распределения элекгронов по энергиям не достаточно обосновано. В некоторых случаях измерения сзюжйых распределений температуры Отдельных Групп частйц замейяется йа измерение йекой кэффектйвйой» температуры. Обработка зондовых характеристик в ионной ветви позволяет дать представление о плотности ИОННОГО тока в 1эазряде, нО не позволяет, например» разделить компоненту медленных электронов, образованных в первой камере, от быстрых электронов, попадаю1цнх во вторую с энергией более 20 эВ.

Диссертация написана хорошим языком, постановка решаемых задач и выводы по результатам исследования изложены четко, что повышает ннт'ерес к п13оведенным автором исследовавших~. Высокий уровень диссертации пе ~ы~ы~~~~ сомнений. Авторефе1эаг диссе1ггацнн соотв~т~тву~т такс~у диссертации. К сожалению, по автореферату можно сделать замечание о некоторой небрежности представления рисунков, которые не подготовлены к черно-белой печати.

Результаты диссертации про1плн достаточную апробаци~о путем 6 публикаций в статьях н докладах иа конференциях. Вместе с тем» отмеченные выше недостатки не умаляют важных и достоверных результатов, полученных в диссертационной работе. Результаты работы уже нашли применение при разработке технологнческОЙ установки с разработанным автором источником плазмы для ионного ассистирования, использованным в НИИТМ для создания промышленного Образца технологическоЙ установки, н могут быть применены при разработке ВЧИД в МАЙ, НИИ ПМЭ МАИ, АО КБХА.

Диссертация представляет собоЙ законченную работ1», вьпй~~ненную на вы~~к~м научном уровне. Представленные в работе результаты достоверны» выводы и рекомендации обоснованы. Диссертация отвечает требованиям Положения ВАК о порядке присуждения ученых степенеЙ, а ее автор Петров Александр Кириллович заслуживает прнсуждения ученой степени кандидата физико-математических наук по специальности 01.04.03 — физика плазмы, рассмотрен и Одобрен на зле~дании кафедры «Электроракетные двигатели, энергетические и энергофизическне установки» МАИ 1'протокол №8 от 2.06. 16). Д.т.н., дОцент И,П. Н Ренк 'г,,;Зь,г С.А. Картов . »»«» ':,~ В.

А. Обухов !-»- .