Отзыв научного руководителя (Технология разделения на кристаллы сверхвысокочастотных монолитных интегральных схем на гетероструктурах AlGaNGaN)
Описание файла
Файл "Отзыв научного руководителя" внутри архива находится в следующих папках: Технология разделения на кристаллы сверхвысокочастотных монолитных интегральных схем на гетероструктурах AlGaNGaN, Документы. PDF-файл из архива "Технология разделения на кристаллы сверхвысокочастотных монолитных интегральных схем на гетероструктурах AlGaNGaN", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технические науки" из Аспирантура и докторантура, которые можно найти в файловом архиве РТУ МИРЭА. Не смотря на прямую связь этого архива с РТУ МИРЭА, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "остальное", в предмете "диссертации и авторефераты" в общих файлах, а ещё этот архив представляет собой кандидатскую диссертацию, поэтому ещё представлен в разделе всех диссертаций на соискание учёной степени кандидата технических наук.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
OT3hIBHayrrHof o pyKoB oAr4Tenrr HaTpoSunaona<<Texnol o rlrqpa3A eJI e HAlerca:r-4paAr4 ccepTarlr{roAlercaH4poBurrakrfl Ha Kp Ir craJrJrbI c BepxBbr co Ko rr a crorHbrxl{HTerpaJrbHbrx cxeM Ha ferepocrpyKTypax AIGaN/GaN>,npeAcraBJreHHylo Ha coklcKaHvre yveuofr crerreHr4 KaHAr4Aara rexHr4r{ecKr4x HayKMOHOJTITTHbIXno cneIII4 aJIbHo crl4 0 5 .27 .0 6 - <<Texno nofLrr4 n o 6 opy4oB aHr4eIn,rr np or43BoAcrBalonynpoB OAHI4 KoB, Marepl4an on u npuSopoB 3neKTpoHnofi rexu vrKtr>>Brtuycr<Hzr Saxyntrera <3rexrpoHrrKr4 rr orrirooJreKrpouHofi TexHr4Kr4))Mocr<oscKoro rocyAapcrBeHHoro v*arprry'ra paAr4orexHuKrr oreKTpoHr4Kr4 uaBroMarr.rKr4(MI4P3A) TpoSvMoB A.A.
pa6oraer BcBepxBblcoKoqacroruofi nonyrlpoBo4Hzroeofi gneKTpoHr4Kr4aKaAeMI4I4 HayK(I4CBr{il3 PAH) c 2005 roAa IrovrucruryrePoccraficr<ofiHacro-rrulee BpeMs. 3anpeir,r.apa6orrr 3apeKoMeHAoBaJI ce5.f, KaK r4ccneAoBareJrb, cuoco6urrfi caruocrorreJrbHopelrrarb cJrolKHble 3a4aqr4, aHanLrcvpoBarb r4 curcreMarLr3r4poBarr zu$opMarlqrc,Aenarb BbrBoAbIvr o6o6rqarr npaKTzr{ecKr4e peKoMeHAHenocpeAcrB eHHO e yqacrr,re B Hayr{Ho-r4arJnkr. llpzuzuanccJreAoBareJrbQKzx paSorax.Hayvurre I4Hrepecbl TpoQznrosa A.A. ne)r(arnpo6levr Iulz$onauzx cnoSo4urrna adpa^:znonr,Bo6rracru zccJreaoBaHr4flrroJrr4poBaHr4n, pa3AeneHr4tnpz6opuux rnacrr4H rr3 pa3nurrHbrx Marepl4aJroB Ha orAenbHbreKpr,rcraJrJrbl14onpeAeneHI4.{ paql4oHarIbHbIX TexHoJrorr4qecKr,rx MeroAoB, odecnequBaroqr4xueo6xo4Iavufi BbIXoA foAHbrxLtrpe6yenarre rexHrrrrecKrre napaMerpbrKpr{cTannoB.Ar<ryalruocrb reMbl Al4caepralIr4rr 3aKrroqaerc-r{ B perxeHr{rr 3a1.a1^,cB-s3aHHbIX c npo6levalrz KarrecrBa pa3neneHzr upzsopHrrx rrJracr1aH HaKpI4oTannbr cBepxBbrcoKorracrorHbrx MoHoJrr4THbrx tr{HTefpaJrbHbrxrerepocrpyKrypax AIGaN/GaN cocJIo)ItHbrMZcxeMHAKoHcrpyKrr4BHbrMrroco6ennoQT.sMl4.
flF.rsscs nepcneKTI4BHbIMr.{ Marepr4anaMr4 conpeueHHofr CBr{3JreKTpOHr4Kr4, OTeqecrBeHHbreI43roraBJII'IBarorc-sHa ocHoBe GaN q&tqe BcefocanSupa u rcap5u1a KpeMHu_s, TexHonorr4f,crpyKTypbrHa rloAnox(KaxoopaoorKl4 Koropblx orrl4qaerc-florrpa.u4qzonnofi KpeMHr{eBofr. Kponae rofo,MI4C oSnaAarcrcoBpeMeHHbre rpexMepHbre cBr{KOHCTpyKTr4BHbrMr4 oco6eHHocT_flMr4,r43BeCTHbIe perxeHr4f,KOTOpbreHecneqzszqecKr,rMrrrro3BoJr.rrroT rrpr4MeHr4Tbrro pa3leneHr4lo IlJracrr4Hbr Ha r(pr4craJrJrbr uaupxvryro 6es[oTeprr Kar{ecTBa.Aeroporra I4ccneAyrorc-t 3aBllcrrMocrr4 TeMneparypbr paSorarorqero CBr{npzSopav ynpyfr{eHanp.rrxeHr4_f,, BO3Hr{KarOqr4e r43-3a paccofnacoBaHr4,Kpr{crallnl4qecKI4x pelxeroK GaN 14 rroAJIo}ItKI4, B pe3yJrbrare rrero oSocnoeaHBbloop AonycrlrMoro Al4ana3oHa r<oneqnofi Tonlrll4Hbr Anfl.
npz6opuux r.rraergHcanQr'Ipa u xap6uga KpeMHI{-a c Iz3roroBJreHHbrMrr Ha Hrzx rpexMepHbrMr4 CBr{l/wc Ha rerepocrpyKrypax AIGaN/GaN, rrplr noropoModecre.ruBaercfleQSercrznHoe rerIJIoorBeAeH:ze npv pa6ore orAenbHoro Kpr4cranrazcoxpaHeHr4eIlenocrHocrl4 rIJIacrI4HbI npl4 nocJreAoBareJrbHocrr,r ouepaqzfi p€BAereHr4.rr HaKpl4crannbl. flpe4loNeu MeroA 3aql4rbl CBr{ }r/.VIC Ha rerepocrpyKrypaxAIGaN/GaN co cJIox{HbIMI4 KoHcrpyKrr4BHbrMz ocodenHocrrMkr npr4 orreparl7,sxurnzSonaHI4t, rroJlr4poBaHtrfl rr pe3Krr upzSopnux rrJracrr.rH canszp auxap6ugaKpeMHI4t Ha orAenbHble Kpl{crannbr, Koroprrfi o6ecuerrr4Baer 3arUr4Ty CBr{ MI4C,I43roroBJIeHHbrxHa IIJIacrI4He, c yqeroM ux ocoSeunoctefi,nJlaHaprr3zpytorqefr rrJloQKocrr{, Heodxo4zMyro craSznrnocrrvoAHopoAHocrbxr4Mr4rrecKyrolrHeprHocrb, o6la4aer rz6rocrrro npI4MeHeHZ-s,a raKxre coorBercrByercoBpeMeHHbIM KJrrorIeBbIM rpeSonaH:zflMaHnfl,lpz6oputrx nJracrr{H[nflnpr4Kner4BHa AhcK-HocI4TeJIb Ans rrocneAyloruzx ouepaqzfi runrz$onaHprfl Lr ilonvpoBaHrz_q.{eralruopaccMarpLrBaerafl onpeAeneHrre pex{r{MoB o/rHocropoHHerouuz0onanvrx u noJllrpoBaHrrr cnoSo4urrrra aSpasunou npzSopnrrx [nacrr4Hcan$zpa u xap6uga KpeMHI4t, coAepx{aql4x cBepxBbrcor(oqacrorHbreMoHoJrr4THbretrHrerpanbHble cxeMbr Ha rerepocrpyKrypax AIGaN/GaN, o6ecne.{uBaroqr4e, rpr4AocrI4x{eHI4I{ peKoMeHAoBaHHoro Ar4ana3oHa ronulr{HbrBblcoKoe Kar{ecrBo noBepxHocrl{.pa3AeneHheHaBgtx npusopHbrxrrJracrr{rf,4auuofi paSore BnepBbre ocyqecrBJreHoorAenbHble Kpr4cranJrbr TpexMepHbrxcBq MI4cFrarerepocrpyKrypax AIGaN/GaN, rr3roroBJIeHHbIX Ha npra6opusrx rrJracruHaxzv Kap'ul.a KpeMHr{f,, CcanQupacyqecrBylo[]IrM rloKa3arensMcreneHsBbrxoAoM f0AHbrxHeycrynarcrur4MAn.f, nnaHapHbrx r{3Aenr4fi nrzxpoeneKTpoHr4Kr4.oS0cuonaHHocrl4 Hayr{Hbrx uonoxenrafr, BbIBOAOBUpeKoMeHAa4uit, c0opnrynl4poBaHHblx B .4l4cceprar1zrr4, rroATBepx1aercfl rxrrpoKrrMLIctIoJIb3oBaHI4eM Hayr{HbIXBonpocaM pe3KrlTIJTaCTI4Hpa6or orerlecrBeHHbrx u zapydexHbrx aBTopoB rroHa Kpr4craJrJrbr, npoqeccaM MexaHr4.{ecKofi oSpaSorrzrrJIacrI4H vr csoftcreaN{ MarepI4aJIoB,Ino4elefi u KoMrlbrorepHoro[polpaMMaraKxre npIrMeHeHr4eM MareMarI4r{ecKLIXMoAenI4poBaH:utflu Soplryn.
Brrcoxuficr4crroJrb3oBaHrreM r43BecrHbrxypoBeHb odrexrzsHocrr4vrBbIBOAOB TIOATBepX(AAercfl TaK)Ke r4crroJrb3otBaHr4eMaAeKBarHocrr4Ipeur43r4oHHbrxrl3Mepr4TeJrbHbrx npz6 opoe.{ocronepHocrb I4 HoBI43Ha rroJlo)Keuufr u BbrBoAoB, csopvrynr4poBaHHbrxAl4ccepra]!.uu, o6ycJIoBJIeHa'{erKofilorzrofinpeAnafaeMblx perueuzfi rr BbIBoAoB,paSoraxee [ocrpoeHaa raK){te,BoSocHonaHHocrbroacrroJrb3oBaHl4eM L4x B HavrrHbrxI'ICBr{|I3 PAH. ocHosurre pe3ynbrarbrrkraaeprarlr4oHHorozccJleAoBaHVrfl AOKTIaIbIBaJII4Cb Ha MexAyHapoAHbrx 14 oreqecrBeHHbrxHayqHbrxnou$epeHlu4tx' a raKx(e onySrzroBaHbrB 13 reqarHbrx paSorax, sxJiro.{a.f, 7pa6or, ouy6luroBaHHbrx B Hayr{HbIX }KypHanax, BxoA.srrlr4x B neperreHb nz4awuit,peKoMeHAoBaHHbrxBAK MznzcrepcrBao6pa^:onanzx 14 HayKprny1turcaguu ocHoBHbIX Hayr{HbIX pe3ynbraroB Succepr:aquit Hayveuofi crerreHr4 AoKTopa u KaH1vrAara HayK.npaKTI,IqecKyIo 3Haqr4Mocrb.6sttul4crloJrb3oBaHbrrlpIrAnflcor4cKaHr{e[ucceptaryux Tposzuona A.A.
,rBfif,erc-f, gar<o'.{eHuofirlccneAoBareJlbcKoft pa6orofi, nocB,f,uleHa perxeHr4rop@Hayr{Ho-saxHofi 3a/iallv pr HecerPe:ynrraru, nonyrleHHbre B xoAeuccJIeAoB aHzrfl)BbIrIonHeHr4r4 rrpr4r(naAHofr uayvuo-hccneAonarelrcr<ofrvsKcnepl4Meuranrnofi pa6orrr: <PaspaSorra Sasoeofi TexHoJrorr4r4 co3naHzrflMI'IC ycururelefi MoqHocrlz v ManorxyMrrru{x ycutru,.enefi Ha Hr4rpzAHbrxHaHoferepocrpyKrypax AIrfl tlplIeMo-rrepeAaroulr4x uo4ynefi Ha qacroryB-12ffp ro 3aKa3y Muno6puaytzr Pocczz (Cornarueuze o npeAocraBJreHr4r4cy6cnguu JE 14.607.21.0011 or 05 uroH-s 2014 r., yHuKanrurrfi ra4eurzsrzKarop?npoeKra RFMEFI607 I4X001 1).TaKXe nplrBbIIIOJIHEHI4I4 OIIbITHO-KoHcrpyKTopcKofi paSoru : <Pa":paSorKa KoMrrJreKTa MoHoJrr,rrHbrx rrHTefpaJrbHbrxcxeM )MMrr{arra3oHa Anr4H BOJrH), rrrr4op <Muoroqneruux_22>>,f ocy4apcrseHHufi KoHrpaKri\b 13411.1400099.
I 1 .01 8or 02 arpen-rr 2013 r.,BbIrIoJIHeHuHfr s paMKax pearII{3aIII4Iz rocy.qapcrBeHHoro oSopoHHoro3aKa3a.Or4elrHo cneAyer orMerl{Tb [I4qHbre KarrecrBacor4cKareJr;t.3a BpeMtpa6orrr HaA Alzacepraqzefi TpoSrzuoe A.A" npoAeMoHcrpzpoBar cuocodHocrbKTBOpqecKoMy MbrrrrJIeHI4IO, I{eJreycrpeMJreHHOCTb,BnpeAMere rrccneAoBaHLrfl,xopouyrcopkreHTarlr4roa raKxe cuoco6nocm BbrrroJrH.f,Tb rnydorzeTeoperl'IqecKlre uccJreAoBaHlrfl,, [po.rrBr{Bcuoco6nrrfi peruarb crlor{HbleHayqHbrece6q KaK vHur\uarvreHrrfi yveurrfi,sa1auve oSracrz CBrI oJreKTpoHZKr4.Crpyr<rypa 14 coAep)KaH'4e [peAcraBJleHHoro Ar4cceprarlkroHHoror4ccJreAoB aHLrflcBr4AerenbcrByer ono:eonxrorqefiuayvuofi 3penocrrr ArrccepraHTa,caMocTo-sTeJIbHO yqacTBoBaTb B perxeHr4I4 HayrlHo-TeopeTr4r{ecKr,IxunpaKTI4qecKIz3Haqr4Mbrx npo6nevr CB r{ oneKTpoHr4Krl.B3aKJrroqeHl4e cneAyer [oAqepKHyrb,qrorrpeAcraBJreHHa.rrK 3ailIr4Tepa6ora TpoSznaosa A.A. orJrl4qaercr HoBr{3nofi, upaKTr4qecKofi sua-rraN{ocrbro,KOMTIJTeKCHOATbTO AHAITIZ3Lsaeeprueunrrft nayuurrfirlpeAblfiBn.fleMblMocHoBaHI4eMnOrz.{ecKofi crpofinocrrro Lr [peAcTaBJr.rreT co6ofirplA, orneuarorqzfiBAK P(D r< lr.a:uALTAaTcKLIMAnflrexHI4rIecKI4x HayKueo6xo4r,rMbrM rpe5onanLrfl.y.)AzcceprarlLrflM, rz Mo)Ker cnyxfl4rbrrpl4cBoeHI4t ArlccepraHTyrlo cneIII4€uIbHocrI4 05,27 .06 -yveuofi crerreHr4<<TexnoJrorr4,rrAn-f, npoI43BoAcTBa IIoJIynpoBoAHI4KoB, MaTepLIaJroBKaHALrAuraz o6opy4oBaHr{evI upu6opon eler<rponnofiTEXHI4KI4)).HayuHrrfi pyKoBonvrenb{vrperrop ZCBr{lI3 PAHA.r.H., npoSeccopfavxpenz4:e4.
