Отзыв на автореферат Коновалов (Технология разделения на кристаллы сверхвысокочастотных монолитных интегральных схем на гетероструктурах AlGaNGaN)

Отзыв на автореферат диссертационной работы Трофимова А.А. «Технология разделения на кристаллы сверхвысокочастотных монолитных интегральных схем на гетероструктурах АИаХ/ОаХ», представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники.

В настоящее время в области СВЧ микроэлектроники активно развиваются электронные компоненты и в частности СВЧ монолитные интегральные схемы (МИС) на базе гетероструктур А1баХ/ОаЫ, Физическая природа данных структур, основанная на эффекте спонтанной и пьезоэлектрической поляризации, определяет параметры и предъявляет особые требования к технологическому процессу формирования СВЧ МИС.

Таким образом разделение пластин с современными СВЧ МИС на кристаллы с сохранением приемлемого процента выхода годных является актуальной задачей. Согласно автореферату диссертация хорошо структурирована, последовательность изложения материала логически обоснована, список использованных источников литературы соответствует объему работы. Представленные в автореферате таблицы и иллюстрации в достаточной степени отражают основные результаты работы. К значимым научным результатам диссертационной работы можно отнести методику определения диапазона конечной толщины подложки СВЧ МИС на гетероструктурах А1ОаХ/баХ, которая позволяет прогнозировать оптимальную толщину с точки зрения тепловыделения и целостности пластины„методы разделения пластины на кристаллы, а также предложенный метод защиты МИС со сложными конструктивными особенностями, благодаря которому исключается физическое повреждение Результаты, полученные расчетным путем с применением известных формул, хорошо согласуются с экспериментальными, кроме того, результаты исследования получили практическое применение при выполнении опытно- конструкторских работ и прикладных научных исследований.

Апробация основных положений и результатов диссертационной работы представлена выступлениями на международных и всероссийских научных конференциях, а также публикациями в научных изданиях, из которых 7 — в научных журналах, входящих в перечень ВАК. В качестве замечаний можно отметить следующее: 1. В тексте автореферата не указано название программной среды, при помощи которой производилось компьютерное моделирование.

2. В автореферате представлен узкий спектр электрофизических параметров СВЧ МИС, на которые может влиять техпроцесс утонения и разделения пластины на кристаллы. Отсутствуют данные влияния техпроцессов на пробивные напряжения, токи утечки, токи насыщения СВЧ транзисторных структур МИС. Указанные замечания не снижают общей высокой оценки диссертации. Автореферат дает представление о работе как о законченном научном исследовании, которое по актуальности, новизне и совокупности полученных результатов удовлетворяет требованиям ВАК, предъявляемым к кандидатским диссертациям. Считаю, что Трофимов А.А. заслуживает присуждения ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 — Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники.

Коновалов Алексей Михайлович, начальник «СКБ по разработке широкозонной СВЧ и силовой ЭКБ, МИС и иодулей» АО «ГЗ «Пульсарж Москва, Окружной проезд, д,27. аз кто. ~Коновалов А.М./ директор по производству АО «ГЗ «Пульсар». Ларкзшкнн А.Су 2 .