Отзыв на автореферат Ильичев (Технология разделения на кристаллы сверхвысокочастотных монолитных интегральных схем на гетероструктурах AlGaNGaN)
Описание файла
Файл "Отзыв на автореферат Ильичев" внутри архива находится в следующих папках: Технология разделения на кристаллы сверхвысокочастотных монолитных интегральных схем на гетероструктурах AlGaNGaN, Документы. PDF-файл из архива "Технология разделения на кристаллы сверхвысокочастотных монолитных интегральных схем на гетероструктурах AlGaNGaN", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технические науки" из Аспирантура и докторантура, которые можно найти в файловом архиве РТУ МИРЭА. Не смотря на прямую связь этого архива с РТУ МИРЭА, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "остальное", в предмете "диссертации и авторефераты" в общих файлах, а ещё этот архив представляет собой кандидатскую диссертацию, поэтому ещё представлен в разделе всех диссертаций на соискание учёной степени кандидата технических наук.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
отзыв на автореферат диссертации Трофимова Александра Александровича «Технология разделения на кристаллы сверхвысокочастотных монолитных интегральных схем иа гетероструктурах А!СаХ/Са1~Ь>, представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 — Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники. В мире наблюдается резкий рост количества исследований, посвященных разработке термостойких СВЧ МИС, в том числе МИС на основе гетероструктур А10аМ'баМ. Методы разделения С ВЧ МИС достаточно хорошо изучены на кремнии и арсениде.
Однако, перенести формально разработки этих методов на СВЧ А1(заХ/СаМ МИС не представляется возможным, в силу существенной разницы механических свойств подложечного материала 1сапфира, либо ЯС), да к тому же в условиях применений при изготовлении МИС трехмерных технологий. Повышается риск возникновения дефектов на различных операциях техмаршрута разделения, что усугубляется высокой плотностью размещения элементов, и отрицательно сказывается на выходе годных кристаллов на завершающих этапах производственного цикла. Таким образом диссертация Трофимова А.А., посвященная разработке технологии разделения на кристаллы монолитных интегральных схем на нитридных гетероструктурах со сложными конструктивными особенностями, является чрезвычайно актуальной.
Автореферат написан хорошим языком, оформлен в соответствии с требованиями ВАК и дает полное представление о проделанной работе. Основные результаты работы получены автором впервые, являются новыми, апробированы на различных научных конференциях и семинарах, опубликованы в реферируемых научных журналах. Судя по содержанию автореферата и опубликованных по теме диссертации работ, представленная диссертация выполнена на современном научно-техническом уровне. Она полностью соответствует специальности 05.27.0б, представленные результаты являются научно- и практически значимыми, и работа в целом удовлетворяет требованиям актуальности и новизны. Автореферат диссертационной работы Трофимова А.
А. удовлетворяет требованиям ВАК, предъявляемым к кандидатским диссертациям, а ее автор заслуживает присуждения ему ученой степени кандидата технических наук. Ильичев Эдуард Анатольевич, доктор физико-математических наук, профессор Москва, Зеленоград, площадь им. Шокина, дом 1 тел.89035941858, е-та11 ей144®та1!.гц 18.09.2017 Э.А. Ильичев Должность и подпись Э.А. Ильичева подтверждаю.
Начальник отдела кадров МИЭТ С.В. Заболотный,.' .1,::.-1. .
