Акт использования в пни (Технология разделения на кристаллы сверхвысокочастотных монолитных интегральных схем на гетероструктурах AlGaNGaN)
Описание файла
Файл "Акт использования в пни" внутри архива находится в следующих папках: Технология разделения на кристаллы сверхвысокочастотных монолитных интегральных схем на гетероструктурах AlGaNGaN, Документы. PDF-файл из архива "Технология разделения на кристаллы сверхвысокочастотных монолитных интегральных схем на гетероструктурах AlGaNGaN", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технические науки" из Аспирантура и докторантура, которые можно найти в файловом архиве РТУ МИРЭА. Не смотря на прямую связь этого архива с РТУ МИРЭА, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "остальное", в предмете "диссертации и авторефераты" в общих файлах, а ещё этот архив представляет собой кандидатскую диссертацию, поэтому ещё представлен в разделе всех диссертаций на соискание учёной степени кандидата технических наук.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
I,ICBTtrI9oEAEPAnbHOE A|EHTCTBOHAYT{HbIX OPf AHI43AUI4IZOe4epanrHoe rocyAapcrBeHHoe6rorxernoe yqpelr(AeHrre HayKrrllncruryrepxBbrcorco'racrornofirroJryrrpoBoAHrrKoBoft elercrpoHrrKrrPoccuficrcofi arca4eururr HayKcB(r4cBrr[3 PAH)117105, r. Mocxta, HaropHuft npoe3A t.7, crp. 5rer./Qarc 8 (499) 123-44-64e-mail: iuhfseras2O I 0@),andex.ru, isvch(Eisvch.ruwww.isvch.ruOKIIO 58725825, OlpH 1027126000 I 80I,IHH/K|II(_)_Ns77263 t80 50 I 7 7 260 100 |20- r.NeorHaAKTo6 zcnolrgoBaHr{rz pe3ynbraroB Ar{cceprarluoHHofi pa6orhrTpo(f r,ruona AlercaH4pa AlercanApoBr4rraKolaI4cczs B cocraBe: npeAcenarerfl.3aMecrr4TeJrrrro Hayquofi pa6oreAr.rpeKTopaI,ICBT{I3 PAH x.S.-nr.n.
llouoruapena- ,{lrrzrpux Cepreenzva; qJreHoBKoMr4ccr,ru:sas. ra6. 101 a.Q.-v.H. faruesafum6a Bapraenu.ra; san. na6. 106 r.r.n. llanrosa AlexcaH4paIOpreezua, .H.c., K.T.H. Illaepyr<a Hurcona.s Bacznresr4qa cocraBr4Jrr4 HacrorilIufi. axr o roM, rrrope3yJlbrarbl Al{ccepralluouuofi pa6or6l A.A. Tpo(fr.rnrona <<TexHoJrorlr-f, pa3.4eneHr,rs HaKpr4cTaJInbI cBepxBblcoKorlacTorHbrx MoHoJrrrTHbrx r.rHTerpiurbHbrx cxeM Ha reTepocTpyKTypaxAIGaN/GaN) [peAcraBrennofi Ha corrcKaHrze yreuofi crerreHrl KaHAr.rAara rexHnqecKr{x HayK,rIcrIoJIb3oBaHbI B Ha) IHbIX parpa6orrax @e4epanHroro rocyAapcrBeHHoro 6ro4NerHoroyqpexAeHl,Ifl. Ij^ayKr4 l4Ycruryra cBepxBblcoKoqacrorHoft nonynpoeo4nnrorofi gneKTpoHr4Kr.rPoccr,Ificr<ofi ara4err.rull HayK (I4CBr{[3 PAH) npr4 BbrrronHeHr4r{ IIHI4 <<Paspa6orxa 6asoeofiTexHoJIorlII{ co3AaHLIt MI4C ycururerefi MorrlHocrr.r vt ManomyMsllr,rx yczlarelefi HaHI,IrpIaAHbx HaHoferepocrpyKrypax Ars nprreMo-flepeAarorlr4x rrno4ylefr Ha qacrory 8-12 ffq)(couameukre o rpelocraBJreHr{Lr cy6cuguu Np14.607 .21.001 1 or (05) t4roHr 2OI4 r.).B yrcasannofi IIHITI npz6opnue rrJracrr4Hbr rcap6uga KpeMHrirr c r{3roroBJreHHbrMr.r Ha Hr4xMOHOJII4THbIMI4 I,IHTelpanbHbrMr{ cxeMaMr,r yroH.rrnrrcb I{ pa3Aentrnucb Ha orAenbHbre Kpr,rcraJrnbrrro rexHonofr4qecKoMy rrpoqeccy, paspa6oranHoMy B Ar4cceprarluoHHofi pa6ore.llpe4ce4areJrb KoMaccr4rz,3aM.
ALrpeKropa ro nayrHofi pa6ore , r.$.-u.n9renrrKoMt4ccrrr,r:sar, ra6. J\! 101, a.@.-u.rr.gas. ra6. Jrc 106, K.r.H.nay.rnsrfi corpyAHrrK, K.T.H.[.C.llouoMapeB.