Лекция 6 (Лекционный курс)

PDF-файл Лекция 6 (Лекционный курс) Физико-химические основы электронных и нанотехнологий (17606): Лекции - 4 семестрЛекция 6 (Лекционный курс) - PDF (17606) - СтудИзба2018-01-09СтудИзба

Описание файла

Файл "Лекция 6" внутри архива находится в папке "Лекционный курс". PDF-файл из архива "Лекционный курс", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "физико-химические основы электронных и нанотехнологий" из 4 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "лекции и семинары", в предмете "физико-химические основы электронных и нанотехнологий" в общих файлах.

Просмотр PDF-файла онлайн

Текст из PDF

Лекция № 6Образование и гибель заряженных частиц в газеИонизация электронным ударом в постоянном полеСкорость и частота ионизацииИонизация невозбуждённых атомов и молекул ударами электронов – важнейший механизмрождения зарядов в объёме газового разряда. Обозначим n(ε)dε число электронов в 1 см3 сэнергиями от ε до ε+dε; n(ε) – это функция распределения электронов по энергиям, нормированнаяна плотность электронов; пусть σi(ε) – эффективное сечение ионизации атомов, находящихся восновном состоянии, электронами с энергией   mv2 / 2 . Скорость ионизации, т.е. число актовионизации, производимых электронами в 1 см3 в 1 с, равна dne    Nv i ( )n( )d  ki Nne   i ne . dt i 0Коэффициентом ki при плотностях частиц, участвующих в реакции, называетсяконстантой скорости реакции (это относится к любым реакциям);  i  ki N – частота ионизации,т.е.

число ионизаций, которое электрон в среднем производит в 1 с. Интегрирование по энергиямфактически начинается не от ε = 0, а от потенциала ионизации I, так как σi = 0 при ε ≤ I.Ионизирующую способность электронов в данных условиях обычно характеризуютчастотой ионизации.

Она пропорциональна плотности газа и определяется энергетическимспектром электронов: v ( )n( )dii  N0 n( )d N v i  Nki .0Угловыми скобками обозначено усреднение по спектру. В слабоионизованной плазме,находящейся в поле, электронный спектр зависит от многих процессов упругих и неупругихстолкновений. Частоту ионизации для этих условий находят путём решения кинетическогоуравнения для n(ε) по последней формуле с известным экспериментальным сечением ионизацииили же определяют из опыта.

Если ионизация электронами происходит при неизменных условиях,так что νi = const, и гибель электронов можно не учитывать, электроны размножаются во временипо экспоненциальному закону:ne  ne (0) exp( i t ) .Развивается электронная лавина.Ионизационный коэффициент ТаунсендаВ постоянном поле лавина, вызванная первичным электроном, развивается не только вовремени, но и в пространстве вдоль направления дрейфа рождающихся электронов, поэтомуцелесообразнее характеризовать скорость ионизации не частотой νi, а ионизационнымкоэффициентом α – числом ионизаций, совершаемых электроном на пути в 1 см вдоль поля.Тогдаi,  i  vд .vдСледует подчеркнуть, что первичной и всеобъемлющей характеристикой скоростиионизации является не α, а частота ионизации νi.

Именно она, как и скорость дрейфа, вычисляетсяпри помощи функции распределения. Ионизационный коэффициент α – величина производная. Вбыстропеременных полях α вообще особого смысла не имеет. Но, с другой стороны, в опытах спостоянным полем непосредственно измеряют не νi, а α.Интерполяционная формула для αПри теоретических и численных исследованиях разрядов широко пользуются удобнойэмпирической формулой, предложенной Таунсендом,BpE  ApeДля инертных газов более подходит другая формула:1/ 2  Cpe pD EПостоянные A, B, С и D определяют путём аппроксимации экспериментальных кривых(табл. 6.1).Таблица 6.1.Эмпирические константы в формулах для ионизационного коэффициента и областипримененияДля воздуха2E 1,17  10   32,2  [см-1∙торр-1]ppE 44...176 [В/(см∙торр)]p4Оптимальные условия для ионизацииПроходя в однородном поле разность потенциалов 1 В, электрон порождает α/E электронов (парионов).

Для рождения одной пары он должен, следовательно, приобрести от поля энергиюWeEФункция W(E/p) имеет минимумWmin EeeBпри    B ,A p mгде e  2,72 .Даже при этих, наиболее благоприятных для размножения условиях на рождение однойпары ионов затрачивается энергия Wmin (константа Столетова), которая в несколько разпревышает потенциал ионизации. Причина в том, что электрону приходится тратить многоэнергии на возбуждение атомов.

В воздухе, например, Wmin = 66 эВ на пару ионов при(E/p)m = 365 В/(см∙торр).Очень сильные поляЭмпирическая формула Таунсенда не применима к очень сильным полям. Она приводит кмонотонному нарастанию α от E/p и при E/p→беск. даёт α/p→A. Между тем, в очень сильныхполях электрон приобретает большую энергию, которая переваливает за максимум кривой сеченияионизации σi(ε), и тогда ионизационная способность с ростом поля падает.

Максимумы α на опытенаблюдаются при E/p ≈ 1000 В/(см∙торр). Конечно, столь большие значения E/p для разрядов нетипичны, но в некоторых условиях (например, в катодном слое аномального тлеющего разряда идр.) встречаются.Ступенчатая ионизацияВ слабоионизованном газе атомы ионизуются преимущественно из основного состояния.При значительной степени ионизации образуется много возбуждённых атомов и молекул и можетпреобладать ступенчатая ионизация.

Атомы сначала возбуждаются электронным ударом, а потомионизуются последующими. Большую роль при этом играют долгоживущие метастабильныевозбуждённые частицы. Сечения ионизации их довольно велики. Вклад ступенчатой ионизациизависит от концентрации присутствующих в газе метастабильных частиц. Концентрацияопределяется не только скоростью их рождения, но и скоростью гибели за счёт дезактивацииударами электронов, молекул и атомов, диффузионного ухода на стенки.

Надо сказать, чтоступенчатая ионизация чаще всего преобладает над ионизаций из основного состояния всильноионизованной плазме. Но в этом случае степень ионизации обычно бывает близкой ктермодинамически равновесной величине, и вопрос о кинетике ионизации не столь актуален.Другие механизмы ионизацииФотоионизацияКонкурировать с ионизацией электронным ударом в условиях разрядов фотоионизация не всостоянии. Но иногда она служит источником затравочных электронов, от которых начинаютсяэлектронные лавины, в частности при распространении стримеров. Сечения фотоионизации упорога довольно велики, но обычно в газе бывает мало квантов с энергиями hν > I, способныхпроизвести фотоэффект.Ионизация возбуждёнными атомамиДаже большая кинетическая энергия медленных тяжёлых частиц не эффективна вотношении ионизации.

Для ионизации нужны скорости атомов и ионов, сравнимые со скоростьюэлектрона в атоме 108 см/с, чему соответсвуют не реализующиеся в разрядах энергии 10…100 кэВ.Напротив, энергия возбуждения E* атома легко затрачивается на отрыв электрона от другогоатома, если, конечно, она превышает его потенциал ионизации I.

Особенно эффективны в этомотношении резонансно-возбуждённые атомы. Так, сечения ионизации Ar, Kr, Xe, N2, O2 атомамиHe(21P) c E* = 21,2 эВ (σ ≈ 2∙10-14 см2) гораздо больше газокинетических. Меньше сеченияионизации метастабильными атомами также с E > I (эффект Пеннинга), но зато метастабильныеатомы присутствуют в газе в гораздо большем количестве, чем быстровысвечивающиесярезонансные. Сечения ионизации Ar, Xe, N2, CO2 метастабильными атомами He(23S) cE* = 19,8 эВ достигают значений 10-15 см2, а сечение ионизации Hg исключительно большое –1,4∙10-14 см2.Ассоциативная ионизацияПроцесс типа А + А* → А2+ + e, обнаруженный Хорнбеком и Молнаром в 1951 году,иногда играет заметную роль в инертных газах.

Отрыву электрона от возбуждённого атомаспособствует выделение небольшой энергии связи порядка 1 эВ при объединении иона и атома вмолекулярный ион.Ассоциативная ионизация иногда играет роль при распространении волн ионизации иискровых разрядов в местах, где электронов ещё очень мало. Возбуждённые атомы образуются тамв результате поглощения фотонов, излучаемых в уже ионизованных областях.Пробой газов в полях различных частотных диапазоновНесамостоятельный ток в разрядном промежуткеРассмотрим, что происходит в плоском газовом промежутке, включённом в цепь систочником питания, если постепенно повышать напряжение U на электродах.

Приложенноеэлектрическое поле будем считать однородным:E = U/d,где d – расстояние между электродами.Время от времени у катода появляются случайные электроны. Поле движет их к аноду.Электрон может и не достичь анода: попасть на боковые стенки разрядного сосуда, прилипнуть кэлектроотрицательной молекуле. Ионы могут рекомбинировать.

Гибнет по пути тем меньшая долязарядов, чем быстрее они проходят промежуток, т.е. чем сильнее поле. Поэтому электрический токi в цепи, который определяется числом зарядов, достигающих электродов в 1 с, растёт сповышением U. Начиная с какого-то напряжения, практически все заряды, электроны и ионы,рождающиеся в объёме, попадают на электроды. Ток достигает насыщения и перестаёт зависеть отU. Он определяется скоростью появления зарядов под действием посторонних источников,космического излучения или искусственного ионизатора.Разряд этот называется несамостоятельным. Его статическая вольтампернаяхарактеристика изображена на рис.

Свежие статьи
Популярно сейчас
Почему делать на заказ в разы дороже, чем купить готовую учебную работу на СтудИзбе? Наши учебные работы продаются каждый год, тогда как большинство заказов выполняются с нуля. Найдите подходящий учебный материал на СтудИзбе!
Ответы на популярные вопросы
Да! Наши авторы собирают и выкладывают те работы, которые сдаются в Вашем учебном заведении ежегодно и уже проверены преподавателями.
Да! У нас любой человек может выложить любую учебную работу и зарабатывать на её продажах! Но каждый учебный материал публикуется только после тщательной проверки администрацией.
Вернём деньги! А если быть более точными, то автору даётся немного времени на исправление, а если не исправит или выйдет время, то вернём деньги в полном объёме!
Да! На равне с готовыми студенческими работами у нас продаются услуги. Цены на услуги видны сразу, то есть Вам нужно только указать параметры и сразу можно оплачивать.
Отзывы студентов
Ставлю 10/10
Все нравится, очень удобный сайт, помогает в учебе. Кроме этого, можно заработать самому, выставляя готовые учебные материалы на продажу здесь. Рейтинги и отзывы на преподавателей очень помогают сориентироваться в начале нового семестра. Спасибо за такую функцию. Ставлю максимальную оценку.
Лучшая платформа для успешной сдачи сессии
Познакомился со СтудИзбой благодаря своему другу, очень нравится интерфейс, количество доступных файлов, цена, в общем, все прекрасно. Даже сам продаю какие-то свои работы.
Студизба ван лав ❤
Очень офигенный сайт для студентов. Много полезных учебных материалов. Пользуюсь студизбой с октября 2021 года. Серьёзных нареканий нет. Хотелось бы, что бы ввели подписочную модель и сделали материалы дешевле 300 рублей в рамках подписки бесплатными.
Отличный сайт
Лично меня всё устраивает - и покупка, и продажа; и цены, и возможность предпросмотра куска файла, и обилие бесплатных файлов (в подборках по авторам, читай, ВУЗам и факультетам). Есть определённые баги, но всё решаемо, да и администраторы реагируют в течение суток.
Маленький отзыв о большом помощнике!
Студизба спасает в те моменты, когда сроки горят, а работ накопилось достаточно. Довольно удобный сайт с простой навигацией и огромным количеством материалов.
Студ. Изба как крупнейший сборник работ для студентов
Тут дофига бывает всего полезного. Печально, что бывают предметы по которым даже одного бесплатного решения нет, но это скорее вопрос к студентам. В остальном всё здорово.
Спасательный островок
Если уже не успеваешь разобраться или застрял на каком-то задание поможет тебе быстро и недорого решить твою проблему.
Всё и так отлично
Всё очень удобно. Особенно круто, что есть система бонусов и можно выводить остатки денег. Очень много качественных бесплатных файлов.
Отзыв о системе "Студизба"
Отличная платформа для распространения работ, востребованных студентами. Хорошо налаженная и качественная работа сайта, огромная база заданий и аудитория.
Отличный помощник
Отличный сайт с кучей полезных файлов, позволяющий найти много методичек / учебников / отзывов о вузах и преподователях.
Отлично помогает студентам в любой момент для решения трудных и незамедлительных задач
Хотелось бы больше конкретной информации о преподавателях. А так в принципе хороший сайт, всегда им пользуюсь и ни разу не было желания прекратить. Хороший сайт для помощи студентам, удобный и приятный интерфейс. Из недостатков можно выделить только отсутствия небольшого количества файлов.
Спасибо за шикарный сайт
Великолепный сайт на котором студент за не большие деньги может найти помощь с дз, проектами курсовыми, лабораторными, а также узнать отзывы на преподавателей и бесплатно скачать пособия.
Популярные преподаватели
Добавляйте материалы
и зарабатывайте!
Продажи идут автоматически
5183
Авторов
на СтудИзбе
435
Средний доход
с одного платного файла
Обучение Подробнее