Proektirovanie_tekh_protsessov_chast_1 (Шульга В.Г., Данилов И.И. - Проектирование технологических процессов изготовления интегральных микросхем), страница 2

3 в к)ие у*.а укапнвают в >раду ак и о ьатствует оокоро>у ст наблюдатя я, в з "'-" — н наб: д е перед разрезан е .литии на и нс>ю>н осуаео>оплот ег аркен -.— ро а ное наклеивание. цснонристэл> нивский с нтск поименная вякай настиной т Рцавой ков рхиосгью н сазооым ср>ао» к ооиованиз и иодлок е специа ьвоя саранки, а затеи *насте с неа уотннавливат ив дерватзль, рвсн лскенн й на станка. йар атеяь длн ориентировааной резки поевсляе! с в рнуть ограяку *о слитною в горкэонтальнса и вертниальн й плоскостнк на у оа рвзоризнтации. гйзрйзаннй )3)ятдя НЛ )ЦЛСГБББ Сизов а проведя срионтвцию о!Розог раза, о ле ко!арой на торце слитка карандако, твердо* аннин нли однао н ииотруие дал свт трв ку. иот рзя уьазыввет наэраал ни базового среза. Ориентацию >диткоа и пластин днФР ! с грине н иет до проводят на рентгеновской уст,п ооаз УРГ-РПН, об>енениеаввей >о ность кв тюпа ЬОЕ! клэ йр)1 г> зэ н' ьлгтоБал н .

круГон 30-0073 эа >— ниотосгьр> Асц бО)40. Олн Р от в спьз, лосося к. тг, з.о! *т т а о! ... ц., р пеньи>>каприо бааовсз плоскости: рксп б енин. Орнссособленн утв авл мд а «агин н «т .а стаи>ни Ори клвссванки дополнит ного проза слиток рвзворэняпзют на у о. е ду ет «раз базо усганс ливаюг следуюци реалии обработки: кастета врагюнип сто а 3...4 и! , ерт «э ь зл аоьаза О,ООб...0,01 изуми .

Ха станка на б ни долив» превниать дя у слитка. Б вону ияибюнннин подают окяаиденную кидкость. Контролируют !юрину ореион вилли вт раасн линейной или итангенциряулем. Отрезе т гну пластину, которую ээ>он >ия)взр>эют контролю нь сооткетствие ориентвц и е л !«о тг треоув у кр с зл. грай ео. ко у нк равлен ю р нтг н .! н н )Рант » стран етодо . О!»: разсо .е >танин иа ,>л г>,> с! кю ! .> дн* в а на г>еров.д— 1О Б ослвднее еред на бг ьюсе разор.гтраиеьие и уилл особ розки, пр каторон а >ц сегтве реауцега к отру опта ,спольоуют а ок . *вкутреикей аз ц р уцеи кро ноь и сп еоб резни »асора и яства.

Инструинг» )риг. б) представляет бзй тонкий !от О, 1 дс ),)Б ! неталлииосинй дитя )оскопи) с центргдьн озеро >он„ на кромку катер ." льввни- к н >госпои нанесен кл ° и оный с ан нниелекои овнзкои. >'ис. б. Скенв репки слитка дн «а с анутрен>еа .изиной рекудей кромкой! 1 — аоиндель станка) 2 - «лназнир л " , 3 — дерзатель! 4 - плиток; 0 — отрезаннан цэстияо; б - эл. няэовоснэи кроииа иг)а ° дла сг т)оь д.ам тром 200 ыы могут осот е* ) «со "пд:пгь Ьбб ° 254 .

Разм р а) манану. дисков, исаа ьаусмнх ву ) р:а ки л твоа других д а строе, пр) заданы ) ( - нару н пасв метр диеза, с - лиамегр пентрэльцогс тверст(н; с — тол«мыс дкс«а): диа етр слита:„ Реаиер диске .'хс О, мм 422х1сс О,ь2 ь404104х0,0 007х203 г,а) л д аакрсплвпт на «)дь«еле (е . Рис. ь) станки д» реек, таста кмют радиальном напр алании, чтс прива«т му оо ь уэ ис "г сгь. дли гс чтобы при прилааекии рзд ельноц астру.,ки в проц.

оа р):боты исилвч ть пгаатичаскце и асср аци, искакапкие Ф ) у л с ьа . при ода«из к его разрыву, в мачес(ве «)т риала основы исио. ьэ)д ) ет," слн, ыеицне аысоку проч) соль упру ост ( кремы )еауп, ус Ф р сту бермллгеиу срана ), легироне) нуг и тру з) тельну » саркаааац)ч) Ст И).

Ча,в ВСЕГО ООНОВУ )ВГОтОИМ т Из Хоя Диац«та од стазьнай деизм марии 121120!От о и пуском ва тслцику «О,ОО Слиток, еакриплеи)чй а дери тело, раароваетса а а с асмой „р.)мхс. враиьп« гс п диска прн пере елани сл) ка ,ла ди а чэ презла и, р анди улярна о и барабана. Отг,зз внэ пластин) "о,адапт з обозник, аа олненгнй нодон, ч удвляптся калугиным . ио .. пачсс ),с:, лились на точность и кас отис повар ности слзсм— )« при розке скизынао) ассзкость круга и рапид ьн а сиен)е Рспуьан )ро « .

нед статочная авгур ость Руга .. оды) к н и вм).)с )к4ч ов госмстричвс ) ; р пластин (дро) иба, ты)онеьг» : т плоскоствсст , раэбрсоа по толцин ), увглич . ип цирки пр пил .. у личан а ради о о вика такие ухуди,)птс ас « гримас« Рак р стим пластин, воанинвпт трез(ин сколы « х поверх« . и .ниваетск отойк ть круга. Оценку вест ост р одят путем аэмеремия сосо)вен))ой част— сы нолебеигй натянутого ) руга с помоцьп нератора низких част) т зиернтыьг г блок Рвдиал нос сменив наисплае точно ис а измерить т))саскии микрос«сао Т гол ич скин при с , поэноляпци уменье т Радиальное осовзс огсз е ау .

Ромин, ааллетса )раь руге аорвэ а ь ...4000 оь):н, .ода«а 40 иуды)н, расход - вэ — ьаадасае ко( * " 4...0 !) .ь. Орвану ор аскат талке е зрд(гсс ' тяпни кр)та о иере потери крсмьой рскуц х .:)ои в. Реками рент' ь бьсвпт а: виси т ст нида полу р я л кона о акаси ла, д а итра слктьа, тслдинн отра аемых н)козин ° тх бсванги качеству . Рч т и) пснеркяостси. С увели е с око Рсотг резки качоствс и точность и аеркчостов улучиая)си до иеьотсрых предолюы. Однако ори з)ьтчнтельних д)простил возраста«4 .иб— ции станка ° гснперзтура а )оне сзади, что выпивает укудпан): )араметрсс обработки.

унсл . си е скорое и палачи . Р) од узап,). е ип са) резки, а з ь т, 4 ослам дебор апжы рвкудар кром;и: сурен«энне пластик О тсь игньае зс «нн о»ть скорости )оцач). «енььие к рост прадо. н ( " да м мазка )васса текле дд рва .е хрупки ауариалаа. Опии р ра) ицуем г измслськ) )одз о пс аз н . з *.. 7. ал з ц . тапсго ван на изменения ода суд тилаатся гидравлическими а электро екс часики» устрскстиам . Схима кдсавлическс"с устройства модам ) супа рта гсьалана иц рмс. б. 0 !ис. '1. Рек «ду. з * е спорсстч подачи при треаании нла типы премкия диаметр м 100 (с)оро ть илибювал нага круга 11 = 20 н)с) Устр йстис, понеценное з ванну с чв см, оостсит из кар уоп, )срема„ мр в , дви )ого к льне с к д ым винтам.

Н ре ец иие ела из одной части гилрацг«индра в Гругуп проис»од т через от- в р тне в поране, котороо .аолиняет кол це е знавца, раппа океь- Уа ЬОО О До 200 1, ОГ 0- б 1-1' частота пряпсню Рдплн б! Яь Ортдгньнкй угы; и н рота слгткз. грю1 н Орнынтйд нса пл с остн л ьсрги1а ьной юосзостя 1О '10 ' 1С 1 10 0.01 ; 0,01 С,ПО Оред льи с тарпоное бязние каоацачм й п верхнаст под С,ОО' йрйц.нн» нруг. н пр.

ла ю-1 лечи, нк, ьй бален нб 1 6 1рсгксап' лг йнмх 'Рсрцйг ~ОР ' . Нй ! ' Кь' «11 пыьп 1Я к» КОЛЬЙН СКГОЛНПЯН К Л ПННЫ6 ВЬСТУНН, НЬ ЮЯЦК ' В Ы ЬРКП Р,ЮРН Вйник и ряия» зякркнзюцкй пглпь~юкчбск 1' 1ЙВРР н'иы О '6' ультй- '1 ВПОГО кнмннлются ЛРООуыыня 'Пособи ать От ОРО!' а~ аьОРО .' 1 гсроивцапнп суОООРРП, квстка лккбнкога с псрй1ым ятака ПОСЛ атййно . 1 НС. 8. СХВИВ УСТРОИСТВй РНГУЛВРОНЛНЬЯ ПО 1Н Ьн1 1 - О ДВКВНО6 КОЛЫ/; 2, 8 - КО *Вк 1 8 " ОРОВ вйнт; -" — рпус Пклиндра; Ь вЂ” асрнйиь йа.трайк ыйха»иэий нй различима д ОЫ1рн сбрнб ТЬОЬ асуцг тнлнагся йеремецпиВ *и калька внутри гипромильнлра с псмацьг ьодаво.

га ыинга. Рои маядуютсн следуюнив р н мы рабин: чпотата нраяйни и деля 1000...2200 обх ч, скорость полвчк 8...10 кнгиич пхя рйаыР ер ааин и арапнида гял ин н ОО...ЬО игмнн для ранки йр и ив. Оопарсчяую пода 1У на анг устанавливйют аванса у нс тояйиан отсапаОмых гынстин прсдпслагсемсй ир ны прап ла и и ррыюируот по и— парению талцин ннрйых пробных пла т. Ори наклеивании сннткй ня Оправку обы нс нспм ьзуют нсллнк нлг апоисндную амолу. Всллзи - это прир дно орган еаков ван1 нс, имеюцее плйстин втой стрсенио. Он плавится при температуре 7Ь ..00 'с и растворяется этнловом соиртн.

Онрайку нагро ают ла те перйтурн плнвленин ннллака и наносвт пго тонкий слой. Натн Сильно прини юот слиток к Опрзнк, йнпайлий я зли ки кйлляиа, и Охлаидмат. Опоксидннн смола — йта синтетичвскоО в ц стпо. Сладзюцсо в ыордом состоянии йысоксй Пха июокаи пр ь . поста ПНЙКН- онр кг,, ринюНаат 1,ай олито,,ымпцнют нх в гврмостны г р. мсс а пьлнку О: шнткс нмл Р КВВП ОР11 тй*асгютурс 120...1О1, Н тсчс' ' 6 1,Ь ... ч, ООСЯН НВГ ' 'РП Ьйлйот.

О Рйд Вй Р ~В' Нг ' Ьар лг ть ы10йюы к ТОПОК ю кгкз *ббзпнррпйюй' ООГЗККП ' ".юа Ряс гв рийслг ° 1 протирают. РВСРППВКНН моночриств РугВ к ЛЬН' ОР нслят нй нссь т'"1— ннх и НЬ'н т Птич сккч Стйнйзх 16бл. 21. С 'йаы МН ' ' ча из Йгракстрн стйыый дли РОПЫ! йл аг-бк ' Ы,,йн-11 !л Ььа 1211 дн магр разрайав О а слытоиы до 10Н д- 102 101нкн Рсзрн 6 ° ГО лкткй 166 Ого араьзння 80 ЬОО Риа аз н .Ра Лацбккя д рннтн- О.Э 1ачность аеоймйцпнин дсрнат6- 7 чя на ОПг, 81,611ЗП к рпгусгр наний олач, Рхиткй, иыгюы: ойз нго арнаейия -206 , 10-100 Ьс-1Д рва ни к 6-10 1000 ' 'СО' 10 2600 Ь С-л С ' + у Фц (ча 3 ( 422хузб ЬСО(20( ЬРФГОЗ ЬЬСк.'7С зСУхг:(Ь Ьбсхуа(4 м Охвд даосе, «г 2000 2400 '" ,ВО Увар " (ь е нристал( ов оолупрснолниковых соедин нил, «реы~(лл, к арця « , суцестлллетсв сталь имо пол тн ми (рис. я ц гис.

1. Слон:4 рм ки с нека с(ыьзыми полатнамю 4 — полотна( Ь - рв а Стюь . олстна, чгр ду раадьленниии прокладка(и, соанрают и (мкех, истопил вакрепл(мт нз раме. Рвзрелвемюй сл то, при,(гесн; ми аодл кне, с заданной силой принимает н полцгнан. Раин с аслотлами совернаат возвратно-поступательное Лвивение : аыанитудсе, равнои свободной дание полотен вв вычетом диаметра цитаа.

'а слиток (одаит асразивнуп оуооенаиа, которая попадает меаду ик. И Псвсты,(ми, ВинаЛЫзлд ИККРОЧаотИЦЫ ПО. УПРОВПДНИКОВСГО ИатВРИа и постное о Ф риирув орореаь. на прм;тине болью. льс палате нс пааиреют. Сто ограничен:е , от1НУ1М Ьсо Ьв ' 'Ы 'Я ' ( ОГ! 'СЬ. Г "Ьсо И ЦП лтн ' ( ОЛО' НЬ Л ЦООГПГ- в в рспвссе ра:«и, увеличи(,вв илрнну гр с .ла, в аспгтвнутнв (,— ( 'ре выходит и: ст1мя. ((з-ы( ссазовввиз про илаь разной ыир стра внв о и аотивь значительно рлзлк(ватна по толчи,ц. Полотна допогьхм оыстро нз аа( алгол, ввоистрв ае тс, что нх изготавливают иа высскспро и У терзооореб тв(1ног апулии й ставк.