Proektirovanie_tekh_protsessov_chast_1 (Шульга В.Г., Данилов И.И. - Проектирование технологических процессов изготовления интегральных микросхем)

ВНЬДВ*!И! УДИ бг!.ВОИ ВВИ Зр.бй Репе ты! М.н.!улюов, О.д.Он!лион!в црэ шульга В.г., данюсв и.и. проект.рсванне т кволо!ми!с иих процессов из 'от аления интегральных микросхем. Н. 1. '!охналог н инготавления ппд оивк и«тегратхьнмх микросхем: У бисе пособие пс курсу "Технология приборостроению". - М.: Иед-вс МГГУ им. Н.р.йаупана, !ООΠ— Вб с., нв. Рытнмйтддйпнй оййвл Вйухвйтцтмрлнид тпиьнтдргннесвпхо и!хт!ьх си нйгрьй лвтюбйй .пбдр!Фтйлбднбйтпюьт Иейвпдлн дад проыэдпйхттьта ни!"..гпндхдмв.мньхшыними. Фйюмму!ю 'Фйымшййш юрихлуддйРэхвйьь л пэ тбн «ст' Ныбттткй!ЬРИ:УМВМВВВ,ХРйбйндьйвх ЮВВН!ЦВПЛЦФтМФШОРМ !Ннй!ЛОСГХ ° '-!В!и,бйд!МтнтбиРФ!Лй юхбтлшьМР!М!утЬМВМ!Ой!!сбей!хит*!ьнс иьнивдьх!отхтей, ил, 1'!. Фйол. В, ьнбвмп!ъд: ФОВВФВВ.

УДК о!!1.!!82 ! хв: О. !Ф ~ф„фьй Ми, Ш.О.ваУшд,а, 2000 О ст я нс эер» нстзова . . гиевтнсй о е екгр в! й ю! сара у, ы р .дуг штр !заев и . е ие трсбанан и « ! есметри хе х ! пира отрав соли и тегрвгьннх кросхс ! ИМО 1 н кь !еству их п рх тей, сбуслс и. Ни степень инт грации ИмС. трооуемые нара етрь п длов и ж апт в роцессе их иэгот в. е ил аа спет со тв т твуюв!его ооорудавания и ед с огнпеских ре и оз.

Главни и нробяв а и при из отпилен о упрев дни . а !Ласт н н ля тс автиэвпин праце с в механите ков обработки, в таило н нтр ыарамстрсв ол ти, Разработка прецизгонн га н сохспроизвады! ь!ог сб рудован .. хт„ст » нруглор борм: диа тра т!...ВОО и тслцв!ши ВНО... ...:00 мкм но яро н я, хр ьнх!а гдыне и поутих атер ! в, нв лотары» ввода и планарнд! т х»с ! !ь !юрмипупт зле ит , ! юде Рзэ ер п рядка 1,0...0,1 ы«ы. Ллн соеЛ !ия танхх иие ентов .. оледуюнеьо *р .: ! Функцн нир зэи и лупр волин!свих прибооов ИМС требуется н% д альыаы г е ринеснвв Фариа пласти оьни . по'!!Шы!Мк лпгот енн пла:т«и вьэ ант араон с анитескор, обэ оо!.

!Раэр виня, влиФснани и иго!хан е плнстия! и, х мип сн й обр! рова юл п вупрон дни оиы р о ась: ймс. после их созда !ля . итроли электрин с пара етр в и в ,юы с тот в с!Ру ту. выи рвв лилюот «* тлальннт нрн О у:!Рсводников е »«-»ьл раз и диаметров спин : т резные т,лц и ! бл. !1, волг еи и »!хины пластин у е лпени ь* Лиа стр есбходл о л. «Ранени» .. - ° торнахими !оскол ст' йио ти, так клк тнн г з .

н й говниной л сор Ру э * ~!л!антс» пр пр ве1ени те неских ! раций„ транспортир в.* оа.ри !и на вакху шх сталина уст своя л!хто!да!ми, ри ииеснхн обр.б тт !ц. Нн р .. 1 ивен нид кре ни вой пластины. Он ест округлений "Раи пернбернн, катор Р релотврадае павел ние колов госнии пр удар » б у р н кра ст в свиснет ир ээ х них транспортиров«и. Охруглоньый край ! н и т тюкке збевють тглца) Вол«рой) В туб 100 нара атры (Ь ЬО О,Оо 20 60 0,0 О,Ь 0,08 О,ОЬ нО 42О ЬОО )»'( !ПЮ кремнии , 'ЗЬО ЬОО ЬВО б00 Рнс. 1. Цертск нр нневои и т н г требонанил л х-е ара трам Рабо ал сторона пластины долина Флть проза пой, выс ;аи сте оин структурно о сслер енота , бсп асхата ного нэрузенн г* м х нихеские еруиении (риски, царапины, змкслм, икротреин.

н) приводит н нз енениы характеоистгк ВЗС и ах дагрдтации. Верабоэал стороне. ыопет бить ылмфонаннс-трзпле В и и полнрснаннхм Но оверхносты плаотинн не долин б т еагризнений, и " и, оотэти ~ олцих зтцоств. 0)пыанани т лци( ° прогибы нластма дслкгы нпходх)тьсл а ,ро— длвх 10...20 мкм н 15...40 мим соответственно.

Неплоскссткас ь рпбспэп ссиерхн т, рн е креплении п аст ни на налуумвсы ст л „:а литографии, а окала ап не лоск ст сть и нр д лах г онагхи, оазис. 1 оы, дспус еетса ие бол ! мох. Ослона е требозеагл а плаотл— ла кр ах и резных дгагетрсн предстзнганн тебл. 2. Таслица (спустимне знамении нараметроь креиниен.х пле ти, и О оиение диан тра г номи«а ххюй ( сар н) От слепые толнины от кони о ьэоо но а исто)оо .осг ниии Отклон зне от хохос остиос Ыерохозагастх рабомай сторанм Ф- й р онзтость нераоопей с ор ~хы алифсз нпа-трааленисй .ировэннсй длл з зуальнсгс определенна ориентация, »ипа н,ситро ран днсоти и удельнсгс со ротиалеиии кремниенмк пластин нз них вып пх басонна дополнительные срезы (рлс. 2). Базовый рез слуаит длп бэ провами» нкао иа е установках ли сгрэфи .

Целаст его э оп реда е хасэ кристаллсгрлфическом напр«монин . В дальнейаем нр, х к. ьрол к сл «ка оо пиаме Ру О слаииаюс ьюбтроа от* сл ка сомо~ гадин 1Н Оо иктор алино« нкатгиеанк , итк. при«ото~с»юо:ыскк«х али ского круга т е ьуастиьн тине есс . о»кюка:ластик слит а ыа пласт ни У. Пр со» аеаиввгс расее«юлснал бааса го и лс:анни»аль«ьл «юынй бором с кр тт л графи»ескай сриентапьей 1П к уде ю«ьи осер ти 'еники 10 Ра с; б ° к% 1011001 уреьнир дир дыр 1д - и ~1, легироьаь ый серо» . кристю л грабы»ескси орнен'«апд й !ОО и удельим» сспротиае.

10 О ы, ь — КУМ 0,21Ш) — кри ниЙ алеатроююр 1. --«п1. легарольииый ОссФ:рпм о «ристе огра»сл»ссьсьт орина-ап«ея ранний электрон«ма 1'«-тип д котированный сурьмой с 0 итои калиоруют ко л,а стоу, ориентиру«т ~о терку к на«ос»- ление бласко с среоа, коготка валют баа Р : лопсгиитсуюныо срае, наглеиньют ° опрвы у лли ориент роллиной р, ки ь затеи ран«ю .

бают иа пластики. КО1заптфуь ГЭНЦНОН Ь слнгхс язлпорупт Галету з» с дн пю.пу я посла энраььивания вн о ут иметь.пну п. "О 4 г .вите, и допустимое анино ие. Взнфсва не выполняют нзруин му лд тру ыа уяун реаль цх «ругловлифзвал»« « т аиах типа 2412, эьг д г на ссгднвтисированнык стеня . Ксгн пои иалибровие с, . а я.

уьннессьсльнсм отанлв Грие. 4в1 глубина нврувгнногс слоя лозунга т гьс...уьо им, то нряменениз сленнзлгзнгьузав ~ых стаььсз Грлс. 4О1 Оеспс:ииот сннвоние глубины язрупеиногс сися до Вс...ьр ун. мнет озснногз ари у г ь ыаенмип кругами о зприистостьв ОО... ...22 0 ь из, остом о .уцпотз »пт ч .с зуп ор о тпу ах аэьым эу .с . ка сроал слитка ьруглпм илифованмем серарср круга Гзь и т рца иру а ГО1: 1 - центр станиа; 2 — геастслитсвал овравиа 2 — мастика; 4 - с; итон: б — влировальннй круг НаРвА олифсванием я танну дитяа илеявей мастикой прииле н .- ют ссривин Гоы.

рас 41. Пр т необходимо внд рдеть ооосность сиитяа л центро, чтобы припуси на обрнботиу был р арно оаспреде еч но сируднсоти ечвння слмтла. Алн нр л ивааив испол суют оленнзльное цептрируюпее арисысссбление. Прочность креол и юран слитку провернпт вручную. П1 обрпбстие лмтиа частота враценин ванфсвм ьн го исуса со отползет збсс ЬОО со н, ас ь р ннн д ля серали й оасии †: эсдос оь гни , «орсоть : р" оцен: столе - ...4 гуния, ртнмзльнся дача их ф ого круга - С,ОСЬ...',ОЕ июглв. д. Вроде нс иере п не стола ста а ы рен ,застоя упорзнн и д лино 1з 4 и осваивать сунну данин слит«п н внринн влнфовзл гс прута.

С р сть ~ еремеценчн стола иорре«тирупт с записи . н ст марии *бр бзтнвае ого матер в. В «анас с* охлаьд вцей лидиооти иснс..ьзунт иоду В ьролнруют диаметр слитив втангенцирнулем. По," »*. . л~ оронььн рави стдиезьюот н подалнбоаыяивг торцы . Уда нолд 'спа,ивая его длн ориентацию. ОРНКНТАОЯЯ Н 12ГОТОВАВННД ВАВОВОГО СРКВА НА О'.ИТ112 ПРОВЕ.КА ОГНВВТАЦВН 210 ТОРЦА ф редсгенне рнстал. -.р цмчесиогс наирав ения, ддлг ноьороо А л з» быть рассол аен оаопныВ срез, а такие значения и напр левин отис е«ия плоскости торце слитка от седана и крис а ЮсПп с ион плосиости эыпгчниит рентгеновсиим Аифраитомето сесины нетоцсд. О: основан на особ ннссти отрапенин садапц регтгеновсаи лу зев дони от ирноталлнч спой ренаты . Схе а р « геновси и ориентации торца слитна поназана нв 1'ис.

а. с ем. ориаитацнп с нтха рентгеновся дифраятометри- чесяич мст Ло 1 - окучил Геигерв; 2, 4 - стрзаавьаьй л папа- юцнй лучи;  — рец слитке; ь — рентгенозоипн трубво криста я граФиоесксй плоскостью, > пр >р !)!)), г, агат зн. у оаить зе пол углрн с и за >и > у Рент!' исков у ' уз гу, !' с> сиаипоть отракенно)о от гюоск т )1)!) лунка, юцгр ниса з а Геигера, д ле ивксннзаьк»го зна н. Р затон а! лограбизеоиси плоск ' н уиеотвует озон угол ', з> ни>и ! о> рого приз дится в осравонникак. Нри тюснэкии торца т о р д *.; е он уравнением Брегг к сти ! 1)!) на угол 0 слит к ве окодино вернуть на этот угол, г.е.

Установить пиаскссть ! 1П ) в отРаяаюдев полоаеиие. Гтитои ппвораоикзют э плоскости, перяендиаулярной его оси, и й ту отраве>нога сузив рзсполс е е ьригталлсснайизеской пло«каст: ир д >лнегсн углями 1 > б неллу орцо с . т а пад лциг, в равлен я рвэ р з т ц. ° .